電空レギュレータ
・電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。
・感度:0.2kPa(100kPa仕様)
・リニアリティ:±1%以内(F.S.)
・ヒステリシス:0.5%以内(F.S.)
・通信:CC-Link, DeviceNet™, PROFIBUS DP, RS-232C, IO-Link

 ▶IO-Linkマスタ
【シリーズバリエーション】 ITV0000 ITV1000 ITV2000 ITV3000
・電気信号に比例して真空圧力を無段階に制御。
・通信:CC-Link, DeviceNet™, PROFIBUS DP, RS-232C
【シリーズバリエーション】 ITV009□ ITV209□
・表示機能のないITV0000シリーズとの組合せが主な用途。
・デジタル信号をアナログ信号に変換。
・10bitパラレル入力(最大)
 ・210=1024点の圧力設定が可能
・4点プリセット出力。
 ・20ステッププログラミング
・電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。
・最高供給圧力:5.0MPa
・設定圧力範囲:0.01~3.0MPa
・最大流量:3000L/min(ANR)
・使用流体:空気,N2,O2,Ar
・接流体部:フッ素系グリース使用。
【シリーズバリエーション】 ITVX
・最高供給圧力:3.0MPa
・設定圧力範囲:0.2~2.0MPa
 2.0MPaまでの空気圧力を無段階に制御
・安定性:±1%F.S.以下
・消費電力:3W以下
・最大流量:3,000L/min(ANR)
・接流体部:フッ素系グリース使用
【シリーズバリエーション】 ITVH