真空システム用関連機器
吸着プレート SP
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・薄いシート・ガラス基板・柔らかいワーク等の吸着固定に適応。
吸着部表面にあいている多数の微細な空孔より吸引するため吸着時ワークの変形がありません。
・高い加工精度。
・大きな吸着力。
| シリーズ | 外形 | 吸着部サイズ | 焼結金属エレメント粒径 | 吸引ポート |
|---|---|---|---|---|
| SP | 長方形、正方形 | □50×50mm 、□100×100mｍ、□150×150mm □200×200mm、□250×250mm、□300×300mm | φ0.3（球体） | 1/8 |
真空用フリーマウントシリンダ ZCUK
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・コンパクトで取付精度の高い角形小形シリンダCUシリーズに真空用通路をロッドに設け真空パッドの取付けを容易にし、省スペースを実現します。
・標準真空パッド（ø2～ø50）取付可能。
| シリーズ | チューブ内径 （mm） | 真空パッド経 | ストローク （mm） |
|---|---|---|---|
| ZCUK | 10，16，20，25，30 | φ2～φ50 | 5～50 |
真空用フィルタ AFJ
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・真空機器のトラブルを未然に防止！
・ろ過度：5,40,80μm
・大流量：max.660L/min（ANR）
・エレメントの洗浄による繰り返し利用が可能
・水滴除去が可能
・透明ケースガードでケース全周をカバー
| シリーズ | 接続口径 | 推奨流量L/min （ANR） | ろ過度 |
|---|---|---|---|
| AFJ | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 180，380，660 | 5，40，80 |
真空用ドレンセパレータ AMJ
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・真空機器接続ラインに取付けるだけで空気中の水滴を除去。
・真空ポンプやエジェクタ等、吸込み空気中の水滴を除去したいなどといった場合に効果的です。
| シリーズ | 接続口径 | 推奨流量L/min （ANR） | 最高使用圧力 （MPa） | 水滴除去率 |
|---|---|---|---|---|
| AMJ | 1/4，3/8，1/2，3/4，1 | 200，300，500 | 1.0 | 90％ |
真空ポンプ用エキゾーストクリーナ AMV
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・真空ポンプから排気される油煙を99.5%捕捉。
・油煙のない快適な作業環境を実現。
・小流量で高濃度の油煙でも99.5%捕捉分離。
・真空ポンプからの排気ダクトが不要。
| シリーズ | 接続口径 | 最大処理流量 【L/min（ANR）】 | オイルミスト分解率 | ろ過度 |
|---|---|---|---|---|
| AMV | 1，11/2，2，3BJIS 10K FFフランジ 4BJIS 10K FFフランジ | 360～16000 | 99.5％以上 | 0.3μm （捕集効率95％） |
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