直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
3ポートソレノイドバルブ／ユニットマニホールドバルブ VV061
| シリーズ | タイプ | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|
| VV061 | 標準 大流量 | 有効断面積：0.11mm2 有効断面積：0.21mm2 | 0.55（標準） 0.23（省電力回路付） | －100kPa |
3ポートソレノイドバルブ／高集積型ユニットマニホールド VV100
| シリーズ | 流量特性 2a/2b→3（E） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2a/2b→3（E） b | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|
| VV100 | 0.05 | 0.29 | 0.4（標準） 0.15（節電回路付） | －100kPa |
3ポートソレノイドバルブ V100
| シリーズ | タイプ | 流量特性 2→3 C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3 b | 流量特性 2→3 Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| V100 | 標準 | 0.037 | 0.11 | 0.008 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） | －100kPa |
| V100 | 大流量 | 0.076 | 0.07 | 0.016 | 1 | －100kPa |
| V100 | 大流量：Uタイプ | 0.16 | 0.18 | 0.038 | 0.35（節電回路付） | －100kPa |
3ポートソレノイドバルブ SY100
| シリーズ | タイプ | 有効断面積 | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|
| SY100 | 標準 大流量 | 0.14mm2 0.22mm2 | 0.5 | -100kPa |
3ポートソレノイドバルブ S070
-
・7mm幅小形電磁弁マニホールド。
・バルブ単体の質量5g
・単体仕様、ベース配管形マニホールド、直接配管形マニホールド選択可能。
・マニホールド型式：SS073
| シリーズ | 流量特性 C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 b | 流量特性 Cv | 消費電力（W） | 最高作動圧力：MPa |
|---|---|---|---|---|---|
| S070 | 0.042 0.060 0.042 0.060 0.021 0.042 | 0.27 0.28 0.27 0.28 0.27 0.28 | 0.011 0.016 0.011 0.016 0.006 0.011 | 0.5 0.5 0.35 0.35 0.1（節電回路付） 0.1（節電回路付） | 0.5 0.3 0.3 0.1 0.3 0.1 |
3ポートソレノイドバルブ VQ100
| シリーズ | タイプ | 流量特性 2→3 (2→1) C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3 (2→1) b | 流量特性 2→3 (2→1) Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| VQ100 | 標準 大流量 | 0.083 0.14 | 0.28 0.25 | 0.021 0.036 | 1.0 0.5 (低ワットタイプ) | -100kPa |
4ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VQD1000
-
・主弁に摺動パッキンがない構造により、禁油処理仕様（特注品）が可能。
外部への排気もなし。
・高速で安定した応答性。
・真空使用可能。
・マニホールド型式：VV4QD12，VV4QD15
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| VQD1000 | 0.27 | 0.28 | 0.07 | φ25 | 2.0 |
真空・破壊ユニット VQD1000-V
-
・0603チップ対応。
・応答速度：13msec（500mm時※）/18.5msec（1000mm時※）
・オーバーシュートのない滑らかなワークの離脱。
・真空・正圧の切換タイミングの調整不要。
・破壊エアの絞り回路不要。
・サクションフィルタ：ZFC050（オーダーメイド）
※ユニットからワークまでの距離。
3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VK300
| シリーズ | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|
| VK300 | 0.80 | 0.27 | 0.19 | 4 | －101.2kPa |
5ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VK3000
-
・低消費電力タイプ（2W DC 低ワットタイプ）
・圧力は0MPaから使用可能。
・VK300を混合取付け可能。
・マニホールド型式：VV3K3
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→R1/R2） Cv | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|
| VK3000 | 0.54 | 0.12 | 0.12 | 4.0 |
3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VT307
-
・低消費電力形：1.8W
・1つのバルブでさまざまなバルブ機能
（ユニバーサルポーティングタイプ）
・低濃度オゾン対策品
ゴム材質：主弁部にHNBR採用
・従来品との取付寸法互換性あり
・マニホールド型式：VV307
| シリーズ | 流量特性 2→3 (A→R) C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3 (A→R) b | 流量特性 2→3 (A→R) Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|
| VT307 | 0.71 | 0.25 | 0.17 | 4 (標準) 1.8 (低消費電力形) | -101.2kPa |
3ポートソレノイドバルブ／直動ポペットタイプ VT317/325
-
・直動式ソレノイドバルブ。
・ユニバーサルポーティングタイプ。
・真空使用可能。
・マニホールド型式：VV317，VVT340，VVT341
| シリーズ | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b | 流量特性 2→3（A→R） Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|
| VT317 | 2.6 | 0.34 | 0.67 | 6.0 | －101.2kPa |
| VT325 | 6.1 | 0.37 | 1.6 | 12 | －101.2kPa |
3ポートソレノイドバルブ VT315
| シリーズ | 流量特性 2→1 (A→P) C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2→1 (A→P) b | 流量特性 2→1 (A→P) Cv | 消費電力（W） | 真空使用可能 |
|---|---|---|---|---|---|
| VT315 | 1.7 | 0.36 | 0.45 | 6～7 | -100kPa |
5ポートソレノイドバルブ／直動タイプ VS4□10
-
・直動式ソレノイドバルブ。
・圧力は0MPaから使用可能。
・主弁構造はメタルシール方式。
・マニホールド型式：VVS410，VVS411
| シリーズ | 流量特性 A/B→EA/EB C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 A/B→EA/EB b | 流量特性 A/B→EA/EB Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| VS4□10 | 3.9 | 0.35 | 1.0 | φ80 | 5.5 |
3ポートソレノイドバルブ／直動タイプ VS3115/3110/3135/3145
-
・直動式ソレノイドバルブ。
・主弁構造はメタルシール方式。
・圧力は0MPaから使用可能。
・異種圧力の供給が可能。
・マニホールド型式：VVS310，VVS311
| シリーズ | 流量特性 A→E C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 A→E b | 流量特性 A→E Cv | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|
| VS3115 | 3.6 | 0.34 | 0.88 | 5.5 |
| VS3110 | 3.6 | 0.18 | 0.82 | 5.5 |
| VS3135 | 9.0 | 0.3 | 2.4 | 13.2 |
| VS3145 | 15 | 0.46 | 4.5 | 24.0 |
