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その他

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大気開放弁付真空バルブ XLJ

    ・チャンバ内への粗引きポンプ(ロータリポンプ)の油の逆流防止
    ・大気開放弁一体構造による配管工数削減
  • 大気開放弁付真空バルブ XLJ
    取扱説明書
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    XLJ検索結果を表示
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式
フランジ
サイズ
XLJ電磁式常時閉・真空パイロットOリングシール25,40

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