プロセスガス用機器
減圧弁（圧力調整器） 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP
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・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
・接ガス部電解研磨処理。
・外部メタルシール構造。
| シリーズ | 名称 | 形式 | ボディ材質 |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス | 二段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| SL | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AZ | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L |
| AK | 一般ガス用 | 一段式減圧弁 | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | 二段式減圧弁 | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | エアオペレート式減圧弁 | SUS316 |
| BP | 高純度用 | 背圧弁 | SUS316 |
| BP | 一般ガス用 | 背圧弁 | SUS316 |
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP
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・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ガスの遮断弁として使用。
・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
| シリーズ | 名称 | 形式 | ボディ材質 |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L |
| AK | 一般ガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | メータリングバルブ | SUS316 |
チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP/AZ 一般ガス用/AK
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［チェック弁］
・背圧による流体の逆流を防止。
・内部可動部品はOリングのみのシンプル構造。
・スプリングレス構造により振動、チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。
［バキュームジェネレータ］
・真空発生機器。
・ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。
［フロースイッチ］
・配管の破断等による過剰流量の検出。
| シリーズ | 名称 | ボディ材質 |
|---|---|---|
| AP | チェック弁 | SUS316Lダブルメルト |
| AP | バキュームジェネレータ | SUS316Lダブルメルト |
| AP | フロースイッチ | SUS316Lダブルメルト |
