真空レギュレータ
真空レギュレータ IRV
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・真空ラインの圧力制御が可能。
・一面配管仕様をシリーズ化。
・質量20％減（従来比）
・ワンタッチ管継手内蔵。
・クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易。
・圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能（標準配管仕様のみ）
・圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度（60°刻み）変更が容易。
| シリーズ | 接続口径 | 設定圧力範囲（kPa） |
|---|---|---|
| IRV10 | φ6，φ8，φ1/4，φ5/16 | －100～－1.3 |
| IRV20 | φ6，φ8，φ10，φ1/4，φ5/16，φ3/8 | －100～－1.3 |
電子式真空レギュレータ ITV
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・電気信号に比例して真空圧力を無段階に制御。
・通信：CC-Link, DeviceNet™, PROFIBUS DP, RS-232C
| シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力（kPa） |
|---|---|---|
| ITV009□ | ワンタッチ管継手内蔵 φ4，φ5/32 | －1～－100 |
| ITV209□ | 1/4 | －1.3～－80 |
