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スリットバルブ

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300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP

    ・長寿命:300万回(常温時)
    ・発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
    ・メンテナンス性向上
     容易なベローズ交換
     トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
    ・安全対策
     メカ式エンドロック機構採用
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XGTP検索結果を表示
シリーズ使用環境圧力 Pa(abs)使用流体開口窓寸法
(高さ×幅)mm
作動圧力
MPa(G)
XGTP大気圧~10-6不活性ガス50×3360.45~0.6

スリットバルブ XGT

    ・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • スリットバルブ XGT
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XGT検索結果を表示
シリーズ使用環境圧力 Pa(abs)使用流体開口窓寸法
(高さ×幅)mm
作動圧力
MPa(G)
XGT大気圧~10-6不活性ガス系の真空32×222
46×236
50×336
0.45~0.6

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