スリットバルブ
300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
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・長寿命:300万回(常温時)
・発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
・メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
・安全対策
メカ式エンドロック機構採用
シリーズ | 使用環境圧力 Pa(abs) | 使用流体 | 開口窓寸法 (高さ×幅)mm | 作動圧力 MPa(G) |
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XGTP | 大気圧~10-6 | 不活性ガス | 50×336 | 0.45~0.6 |
スリットバルブ XGT

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・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
シリーズ | 使用環境圧力 Pa(abs) | 使用流体 | 開口窓寸法 (高さ×幅)mm | 作動圧力 MPa(G) |
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XGT | 大気圧~10-6 | 不活性ガス系の真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45~0.6 |