クリーンエキゾーストクリーナ・フィルタ
クリーンルーム用エキゾーストクリーナ AMP
シリーズ | ろ過度(μm) | 最大処理流量 L/min(ANR) | 管接続口径 |
---|---|---|---|
AMP | 0.01(捕集効率95%) | 200~1000 | 1/4,3/8,1/2,3/4 |
クリーンルーム用エキゾーストフィルタ SFE
シリーズ | ろ過度(μm) | 最大処理流量 L/min(ANR) | 管接続口径 |
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SFE | 0.01(捕集効率99.99%) | 3,30,65,130,200 | M5×0.8,R1/8,R1/4 φ4,φ6,φ8,φ10 |