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高真空バルブ

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アルミニウム製高真空L型バルブ  XLA/C/F/G

    ・アルミボディ採用
     均一なベーキング温度
     軽量・コンパクト
     アウトガスが少ない
     重金属汚染が少ない
    ・ベローズ交換が可能
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式
用途フランジ
サイズ
XLA-2エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~80
XLAV-2(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~80
XLC-2エア
オペレート
複動ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~80
XLF-2エア
オペレート
単動
(N.C.)
Oリングシール高速作動
高作動回数
16~80
XLFV-2(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
Oリングシール高速作動
高作動回数
16~80
XLG-2エア
オペレート
複動Oリングシール高速作動
高作動回数
16~80

アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160(-1)-X152

    ・ベローズ耐久性向上(フランジサイズ100、160)
    ・寿命:200万回
    ・装置の省スペース化が可能
     排気方向制限なし(弁体側←→ベローズ側 両方向可能)
     取付姿勢の自由度アップ
    ・軽量・コンパクト
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式
用途フランジ
サイズ
XLA-100・160-X152エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
100,160
XLC-100・160-1-X152エア
オペレート
複動ベローズシールダストフリー
クリーン化
100,160

アルミ製高真空L型バルブ XL□

    ・フッ素に強い。
    ・アウトガスが少ない。
    ・重金属汚染が少ない。

    ※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16~80は2017年9月に
      モデルチェンジしました。

      XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式
用途フランジ
サイズ
XLAエア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~160
XLAV(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~160
XLCエア
オペレート
複動ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~160
XLCV(電磁弁付)エア
オペレート
複動ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~80
XLFエア
オペレート
単動
(N.C.)
Oリングシール高速作動
高作動回数
16~160
XLFV(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
Oリングシール高速作動
高作動回数
16~160
XLGエア
オペレート
複動Oリングシール高速作動
高作動回数
16~160
XLGV(電磁弁付)エア
オペレート
複動Oリングシール高速作動
高作動回数
16~80
XLDエア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシール
Oリングシール
ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止
25~160
XLDV(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシール
Oリングシール
ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止
25~160
XLH手動手動ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~50
XLS電磁式単動
(N.C.)
(ベローズバランス)エア不要
可搬装置用
16,25

アルミ製ワンタッチ着脱 高真空L型バルブ XLAQ・XLDQ

  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

シリーズ操作方式軸シール
方式
弁形式材質フランジ
サイズ
XLAQエア
オペレート
ベローズシール単動
(N.C.)
ボディ:アルミ
ベローズ:SUS316L
16~50
XLDQエア
オペレート
ベローズシール
Oリングシール
単動
(N.C.)
ボディ:アルミ
ベローズ:SUS316L
40,50

ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ XM/XY

    ・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造。
    ・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)

    注)ストレート型にサイズ16はありません。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ XM/XY
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XMA/XYA検索結果を表示
    XMC/XYC検索結果を表示
    XMD/XYD検索結果を表示
    XMH/XYH検索結果を表示
シリーズ操作方式軸シール
方式
弁形式材質フランジ
サイズ
XMA/XYAエア
オペレート
ベローズシール単動
(N.C.)
ボディ:SCS13(SUS304相当)
ベローズ:SUS316L
16~80 注)
XMC/XYCエア
オペレート
ベローズシール複動ボディ:SCS13(SUS304相当)
ベローズ:SUS316L
16~80 注)
XMD/XYDエア
オペレート
ベローズシール
Oリングシール
単動
(N.C.)
ボディ:SCS13(SUS304相当)
ベローズ:SUS316L
25~80
XMH/XYH手動ベローズシール手動ボディ:SCS13(SUS304相当)
ベローズ:SUS316L
16~50 注)

常時閉型高真空電磁弁 XSA

    ・最低使用圧力:1×10-6Pa(abs)
    ・リーク量:内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
    ・2種の継手、めねじを用意
    ・消費電力:最大25%削減
    ・質量:最大18%削減 0.5kg→0.41kg
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
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  • 常時閉型高真空電磁弁 XSA
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
  • 常時閉型高真空電磁弁 XSA-2
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
シリーズ弁形式使用流体配管接続方式配管サイズ
XSA常時閉空気
不活性ガス
フェースシール継手
コンプレッション継手
1/4, 3/8
XSA常時閉空気
不活性ガス
Rc, NPTめねじ1/8, 1/4, 3/8

スムーズベントバルブ XVD

    ・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4(従来比)
    ・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
    ・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

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  • スムーズベントバルブ XVD
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XVD検索結果を表示
シリーズ弁形式使用流体配管接続方式配管サイズ
XVD常時閉
(加圧開・スプリングシール)
窒素、空気、
不活性ガス等
VCR®
Swagelok®
1/4B

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