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高真空バルブ

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アルミニウム製高真空L型バルブ  XLA/C/F/G

製品特長
    ・アルミボディ採用
    　均一なベーキング温度
    　軽量・コンパクト
    　アウトガスが少ない
    　重金属汚染が少ない
    ・ベローズ交換が可能
安全上のご注意　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLA-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLAV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLC-2エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLF-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLFV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLG-2エア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80

アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160（-1）-X152

製品特長
    ・ベローズ耐久性向上（フランジサイズ100、160）
    ・寿命：200万回
    ・装置の省スペース化が可能
    　排気方向制限なし（弁体側←→ベローズ側 両方向可能）
    　取付姿勢の自由度アップ
    ・軽量・コンパクト
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

安全上のご注意　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLA-100・160-X152エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		100，160
XLC-100・160-1-X152エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		100，160

アルミ製高真空L型バルブ XL□

製品特長
    ・フッ素に強い。
    ・アウトガスが少ない。
    ・重金属汚染が少ない。

    ※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16～80は2017年9月に
    　 モデルチェンジしました。
    　 XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。
安全上のご注意　システム構成/バリエーション　特定開発品情報　オートスイッチ仕様
グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLAエア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～160
XLAV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～160
XLCエア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～160
XLCV（電磁弁付）エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLFエア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～160
XLFV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～160
XLGエア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		16～160
XLGV（電磁弁付）エア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLDエア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシール
Oリングシール		ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止		25～160
XLDV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシール
Oリングシール		ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止		25～160
XLH手動手動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～50
XLS電磁式単動
（N.C.）		(ベローズバランス)エア不要
可搬装置用		16，25

アルミ製ワンタッチ着脱 高真空L型バルブ XLAQ・XLDQ

    ・ワンタッチ着脱（工具レス）
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
    2D CADデータはこちら
安全上のご注意　システム構成/バリエーション　特定開発品情報　オートスイッチ仕様
グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式軸シール
方式		弁形式材質フランジ
サイズ
XLAQエア
オペレート		ベローズシール単動
（N.C.）		ボディ：アルミ
ベローズ：SUS316L		16～50
XLDQエア
オペレート		ベローズシール
Oリングシール		単動
（N.C.）		ボディ：アルミ
ベローズ：SUS316L		40，50

ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY

    ・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造。
    ・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）

    注）ストレート型にサイズ16はありません。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XMA/XYA検索結果を表示
    XMC/XYC検索結果を表示
    XMD/XYD検索結果を表示
    XMH/XYH検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成/バリエーション　特定開発品情報　オートスイッチ仕様
グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式軸シール
方式		弁形式材質フランジ
サイズ
XMA/XYAエア
オペレート		ベローズシール単動
（N.C.）		ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～80 注）
XMC/XYCエア
オペレート		ベローズシール複動ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～80 注）
XMD/XYDエア
オペレート		ベローズシール
Oリングシール		単動
（N.C.）		ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		25～80
XMH/XYH手動ベローズシール手動ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～50 注）

常時閉型高真空電磁弁 XSA

製品特長
    ・最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
    ・リーク量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
    ・2種の継手、めねじを用意
    ・消費電力：最大25％削減
    ・質量：最大18％削減　0.5kg→0.41kg
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • 常時閉型高真空電磁弁 XSA
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
  • 常時閉型高真空電磁弁 XSA
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
安全上のご注意　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ弁形式使用流体配管接続方式配管サイズ
XSA常時閉空気
不活性ガス		フェースシール継手
コンプレッション継手		1/4, 3/8
XSA常時閉空気
不活性ガス		Rc, NPTめねじ1/8, 1/4, 3/8

スムーズベントバルブ XVD

    ・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4（従来比）
    ・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
    ・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • スムーズベントバルブ XVD
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XVD検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成/バリエーション　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ弁形式使用流体配管接続方式配管サイズ
XVD常時閉
（加圧開・スプリングシール）		窒素、空気、
不活性ガス等		VCR®
Swagelok®		1/4B

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