コントローラ
空気用フローコントローラ PFCA7
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・1台で流量を自動調整
・乾燥空気, N₂, Ar, CO₂
・カラー表示・2画面表示対応
瞬時流量、流量指令値、積算流量などを一目で確認
・IO-Linkに対応
・レンジアビリティ 100：1
・1台で幅広い流量の制御が可能
| シリーズ | 定格制御流量範囲(L/min) （乾燥空気、N₂、Arの場合） | 設定制御流量範囲(L/min) （乾燥空気、N₂、Arの場合） | 設定制御流量 最小単位［L/min］ |
|---|---|---|---|
| PFCA710 | 0.1〜10 | 0.04〜10.3 | 0.01 |
| PFCA725 | 0.2〜25 | 0.1〜25.8 | 0.1 |
| PFCA750 | 0.5〜50 | 0.2〜51.5 | 0.1 |
| PFCA711 | 1〜100 | 0.4〜103 | 0.1 |
空気用フローコントローラ PFCQ
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・9～300L/minでの流量制御が可能
※動作差圧範囲：0.05～0.5MPa
・設定流量への到達時間：0.5秒以下
（動作差圧0.3MPa、流量設定300L/min時）
・制御精度：±3%F.S.
・ノングリース
・軽量850g
・3画面デジタルフローモニタ PFG310-X105
| シリーズ | 定格制御流量範囲(L/min) | 設定制御流量範囲(L/min) |
|---|---|---|
| PFCQ | 9～300 | 3〜300 |
空気用フローコントローラ IN502-44/45/46
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・定格制御流量範囲：200～2000L/minを追加 New
・流量の自動調整が可能
・乾燥空気、N₂
・制御精度：±5%F.S.
・応答性：0.5s以下
・省スペース／省配管／省配線／導入工数を削減
・グリースの選択が可能
低露点グリース、白色ワセリン、食品用グリースに対応
・IO-Linkに対応
| シリーズ | 定格制御流量範囲(L/min) | 設定制御流量範囲(L/min) |
|---|---|---|
| IN502-44/45/46 | 50～500 100～1000 200～2000 | 25～525 50～1050 100～2100 |
水用フローコントローラ FC3W
| シリーズ | 定格制御流量範囲(L/min) | 流量測定範囲(L/min) |
|---|---|---|
| FC3W504 | 0.5～4.0 | 0.4～4.2 |
| FC3W520 | 2.0～16.0 | 1.6～16.8 |
水用流量コントローラ FC2W-X110
| シリーズ | 流量制御範囲(L/min) | 流量測定範囲(L/min) |
|---|---|---|
| FC2W-X110 | 0.5～4.0 2.0～16.0 | 0.4～4.2 1.6～16.8 |
