サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ
欧州Fガス規制対応サーモチラー HRZ-F
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・DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。
・省エネ
冷凍機、ポンプのモータ回転数をお客様装置側負荷に
応じてインバータ制御
消費電力:Max65%削減
放熱水量:Max67%削減
・高性能
温度安定性:±0.1℃(負荷安定時)
冷却時間:Max46%短縮(当社比)
・使用冷媒:R410A(HFC)/R448A(HFC/HFO)
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRZ-F | -20~40℃ 10~60℃ -20~90℃ | 2kW, 4kW 8kW, 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液 清水・脱イオン水(純水) |
水冷却式サーモチラー/高機能タイプ HRW

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・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロセス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRW | 20~90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷却式 (冷凍機なし) | フッ素化液 清水 脱イオン水(純水) エチレングリコール水溶液(60%) |