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高真空バルブ

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常時閉型高真空電磁弁 XSA

    ・最低使用圧力:1×10-6Pa(abs)
    ・リーク量:内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
    ・2種の継手、めねじを用意
    ・消費電力:最大25%削減
    ・質量:最大18%削減 0.5kg→0.41kg
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • 常時閉型高真空電磁弁 XSA
    取扱説明書
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  • 常時閉型高真空電磁弁 XSA-2
    自己宣言書
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シリーズ弁形式使用流体配管接続方式配管サイズ
XSA常時閉空気
不活性ガス
フェースシール継手
コンプレッション継手
1/4, 3/8
XSA常時閉空気
不活性ガス
Rc, NPTめねじ1/8, 1/4, 3/8

スムーズベントバルブ XVD

    ・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4(従来比)
    ・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
    ・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
  • 2D/3D CAD

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    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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  • スムーズベントバルブ XVD
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XVD検索結果を表示
シリーズ弁形式使用流体配管接続方式配管サイズ
XVD常時閉
(加圧開・スプリングシール)
窒素、空気、
不活性ガス等
VCR®
Swagelok®
1/4B

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