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クリーンガスフィルタ・エアフィルタ


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クリーンガスフィルタ SF

    ・エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
    　(SFA100・200・300，SFB100)
    ・半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
    　(SFB300，SFC100)
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
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  • クリーンガスフィルタ SF
    取扱説明書
    タイプ シリーズ 検索結果を表示
    カートリッジタイプ
    ディスク形    		SFA100・200・300検索結果を表示
    カートリッジタイプ
    ストレート形    		SFB100検索結果を表示
    カートリッジタイプ
    ストレート形    		SFB200検索結果を表示
    ディスポーザブルタイプ
    ストレート形    		SFB300検索結果を表示
    ディスポーザブルタイプ
    多段ディスク形    		SFC100検索結果を表示
安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
タイプシリーズ使用圧力ろ過度
カートリッジタイプ
ディスク形		SFA100・200・300Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）
カートリッジタイプ
ストレート形		SFB100Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）
カートリッジタイプ
ストレート形		SFB200Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		120μm
ディスポーザブルタイプ
ストレート形		SFB300Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）
ディスポーザブルタイプ
多段ディスク形		SFC100Max.0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕集効率99.99％）

クリーンエアフィルタ　中空糸エレメント SFD

    ・中空糸エレメント内蔵。
    ・圧力降下：0.03MPa（1次圧0.7MPa、最大流量時）
    ・環境負荷化学物質削減RoHS対応。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • クリーンエアフィルタ　中空糸エレメント SFD
    取扱説明書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    SFD100ディスポーザブル
    （エレメント交換不可）    		検索結果を表示
    SFD200カートリッジ型
    （エレメント交換可）    		検索結果を表示
安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項　機種選定・技術資料　特定開発品情報
グリーン対応（RoHS）
シリーズ種類使用圧力ろ過度
SFD100ディスポーザブル
（エレメント交換不可）		MAX.1.0MPa0.01μm
（捕集効率：99.99%）
SFD200カートリッジ型
（エレメント交換可）		MAX.1.0MPa0.01μm
（捕集効率：99.99%）

クリーンエアモジュール LLB

製品特長
    ・クリーン機器をモジュール化（配管工数削減／省スペース）。
    　手軽にクリーンエアが得られます。
    ・ろ過度：0.01μm（捕集効率99.99％）。
    ・流体接触部：ノングリース、シリコーンフリー。
    ・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
    ・24種類の組合せが可能。

    注）入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1～1.6.1相当
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
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    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • クリーンエアモジュール LLB
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    LLB3検索結果を表示
    LLB4検索結果を表示
  • クリーンエアモジュール LLB
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    LLB3検索結果を表示
    LLB4検索結果を表示
安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項　機種選定・技術資料　特定開発品情報
グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用流体設定圧力流量範囲 L/min（ANR）
LLB3クリーンエア
N2ガス 注）		0.05～0.4MPa5～100
LLB4クリーンエア
N2ガス 注）		0.05～0.4MPa50～500

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