クリーンガスフィルタ・エアフィルタ
クリーンガスフィルタ SF

タイプ | シリーズ | 使用圧力 | ろ過度 |
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カートリッジタイプ ディスク形 | SFA100・200・300 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕集効率99.99%) |
カートリッジタイプ ストレート形 | SFB100 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕集効率99.99%) |
カートリッジタイプ ストレート形 | SFB200 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 120μm |
ディスポーザブルタイプ ストレート形 | SFB300 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕集効率99.99%) |
ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 | SFC100 | Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) | 0.01μm (捕集効率99.99%) |
クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
シリーズ | 種類 | 使用圧力 | ろ過度 |
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SFD100 | ディスポーザブル (エレメント交換不可) | MAX.1.0MPa | 0.01μm (捕集効率:99.99%) |
SFD200 | カートリッジ型 (エレメント交換可) | MAX.1.0MPa | 0.01μm (捕集効率:99.99%) |
クリーンエアモジュール LLB
シリーズ | 使用流体 | 設定圧力 | 流量範囲 L/min(ANR) |
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LLB3 | クリーンエア N2ガス 注) | 0.05~0.4MPa | 5~100 |
LLB4 | クリーンエア N2ガス 注) | 0.05~0.4MPa | 50~500 |