クリーンガスフィルタ・エアフィルタ
クリーンガスフィルタ SF
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・エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
(SFA100・200・300，SFB100)
・半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
(SFB300，SFC100)
| タイプ | シリーズ | 使用圧力 | ろ過度 |
|---|---|---|---|
| カートリッジタイプ ディスク形 | SFA100・200・300 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| カートリッジタイプ ストレート形 | SFB100 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| カートリッジタイプ ストレート形 | SFB200 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 120μm |
| ディスポーザブルタイプ ストレート形 | SFB300 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
| ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 | SFC100 | Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕集効率99.99％） |
クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
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・中空糸エレメント内蔵。
・圧力降下：0.03MPa（1次圧0.7MPa、最大流量時）
・環境負荷化学物質削減RoHS対応。
・金属ケースタイプ(オーダーメイド)
ステンレスケース、アルミケース
| シリーズ | 種類 | 処理流量(ANR) （一次圧0.7MPa時） | 使用圧力 | ろ過度 |
|---|---|---|---|---|
| SFD100 | ディスポーザブル （エレメント交換不可） | ～100L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm （捕集効率：99.99%） |
| SFD110 | ディスポーザブル （エレメント交換不可） | ～120L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm （捕集効率：99.99%） |
| SFD200 | カートリッジ型 （エレメント交換可） | ～500L/min | MAX.1.0MPa | 0.01μm （捕集効率：99.99%） |
クリーンエアモジュール LLB
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・クリーン機器をモジュール化（配管工数削減／省スペース）。
手軽にクリーンエアが得られます。
・ろ過度：0.01μm（捕集効率99.99％）。
・流体接触部：ノングリース、シリコーンフリー。
・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
・24種類の組合せが可能。
注）入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1～1.6.1相当
| シリーズ | 使用流体 | 設定圧力 | 流量範囲 L/min（ANR） |
|---|---|---|---|
| LLB3 | クリーンエア N2ガス 注） | 0.05～0.4MPa | 5～100 |
| LLB4 | クリーンエア N2ガス 注） | 0.05～0.4MPa | 50～500 |
