2・3ポートソレノイドバルブ
・空気・中真空・水用。
・ボディ材質:Al、樹脂(PPS)、黄銅、SUS
・ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。
・IP65
【シリーズバリエーション】 VDW10/20
※VDW10/20シリーズは2012年12月生産終了しました。
 NewVDW10/20シリーズをご選定願います。
※ただし、VDW10/20シリーズのマニホールドは除きます。
※VDW30シリーズは2015年7月生産終了しました。
 VX21シリーズをご選定願います。
※3ポート弁VDW200/300は生産を継続しております。
【シリーズバリエーション】 VDW10/20/30 VDW200/300
・小型、軽量樹脂ボディ(PPS)
・IP65
・消費電力:3W(標準)、0.5W(節電回路付)
【シリーズバリエーション】 VDW30/40-XF
・高速応答:ON時 0.45ms、OFF時 0.4ms(±0.05ms)
・長寿命 50億回以上
・高頻度 1200Hz
・薄型 9mm
・低消費電力 4W
【シリーズバリエーション】 SX10 SX10 SX10
・コンパクト
 全長:約38mm(2ポート)、54mm(3ポート)
 バルブ幅・高さ:10mm
 質量:10g(2ポート)、20g(3ポート)
・大流量
 C[dm3/(s·bar)]:0.25(2ポート)、0.5(3ポート)
 流量[L/min(ANR)]:45(2ポート)、90(3ポート) (0.2MPa時)
【シリーズバリエーション】 SX91 SX92 SX090
・高頻度追従
 高速応答7ms以下(VQ20)、20ms以下(VQ30)
・ワンタッチ管継手内蔵で簡単な配管作業
・DINコネクタタイプ 耐塵、防噴流形(IP65)対応可能
・ワークのエアブロー、吹き飛ばし
・マニホールド型式:VV2Q22,VV2Q32
【シリーズバリエーション】 VQ20 VQ30
・高いピーク圧力で衝撃力増大。
 空気消費量、作業時間を大幅削減
 高ピーク圧力:3倍以上(従来比)
 空気消費量:93%削減
・狭いスペースに設置可能なコンパクト設計
【シリーズバリエーション】 IBV1□-X5
L形プラグコネクタ仕様
IBV1□-X7
M8コネクタ仕様
・繰り返し衝突するエアのピーク圧力により
 効率的なエアブローが可能
・空気消費量50%以上削減
・パルス発生用の制御不要
 エアを供給するだけでパルスブローが可能!
【シリーズバリエーション】 AXTS040□-2□-X2 AXTS040□-3□-X2
・低発塵、禁油、メタルフリー ※接液部
・アイソレイト構造
 ダイヤフラムにより使用流体領域からソレノイド駆動部を隔離。
・消費電力:1.0W以下(省電力回路付)
・容積変化量(ポンピングボリューム):0.01μL以下
【シリーズバリエーション】 LVM07
ベース配管形
LVM09
直接配管形
ベース配管形
LVM10
直接配管形
ベース配管形
LVM15
直接配管形
ベース配管形
LVM20
直接配管形
ベース配管形
LVM1□
直接配管形
ベース配管形
・低発塵、禁油、メタルフリー
・使用流体:空気、水、脱イオン水(純水)、希釈液、洗浄液
・アイソレイト構造
 仕切りパッキンにより使用流体領域からソレノイド駆動部を隔離。
・簡単配管
・液溜り防止
・流量調整不要
【シリーズバリエーション】 LVMK
・コンタミの侵入に強く、バルブトラブル低減
・適応チューブ
 シリコーン、PharMed®BPT
・消費電力:2.0W
・小型:バルブ幅20mm
・チューブ交換(脱着)が容易
【シリーズバリエーション】 LPV
・精密洗浄およびクリーンルーム組立
・全品ヘリウムリーク検査済
・SEMI規格準拠
・作業者に優しい鍛造ボディ
【シリーズバリエーション】 AZ AZ
・最低使用圧力:1×10-6Pa(abs)
・リーク量:内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
・2種の継手、めねじを用意
・消費電力:最大25%削減
・質量:最大18%削減 0.5kg→0.41kg
【シリーズバリエーション】 XSA XSA