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排気ライン


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アルミニウム製高真空L型バルブ  XLA/C/F/G

製品特長
    ・アルミボディ採用
    　均一なベーキング温度
    　軽量・コンパクト
    　アウトガスが少ない
    　重金属汚染が少ない
    ・ベローズ交換が可能
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLA-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLAV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLC-2エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLF-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLFV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLG-2エア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80

アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160（-1）-X152

製品特長
    ・ベローズ耐久性向上（フランジサイズ100、160）
    ・寿命：200万回
    ・装置の省スペース化が可能
    　排気方向制限なし（弁体側←→ベローズ側 両方向可能）
    　取付姿勢の自由度アップ
    ・軽量・コンパクト
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

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シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLA-100・160-X152エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		100，160
XLC-100・160-1-X152エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		100，160

アルミ製高真空L型バルブ XL□

製品特長
    ・フッ素に強い。
    ・アウトガスが少ない。
    ・重金属汚染が少ない。

    ※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16～80は2017年9月に
    　 モデルチェンジしました。
    　 XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。
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シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLAエア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		100・160
XLAV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		100・160
XLCエア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		100・160
XLCV（電磁弁付）エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		100・160
XLFエア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		（80）・100・160
XLFV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		（80）・100・160
XLGエア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		100・160
XLGV（電磁弁付）エア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		100・160
XLDエア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシール
Oリングシール		ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止		25～160
XLDV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシール
Oリングシール		ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止		25～160
XLH手動手動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～50
XLS電磁式単動
（N.C.）		(ベローズバランス)エア不要
可搬装置用		16，25

アルミ製ワンタッチ着脱 高真空L型バルブ XLAQ・XLDQ

    ・ワンタッチ着脱（工具レス）
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

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    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
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シリーズ操作方式軸シール
方式		弁形式材質フランジ
サイズ
XLAQエア
オペレート		ベローズシール単動
（N.C.）		ボディ：アルミ
ベローズ：SUS316L		16～50
XLDQエア
オペレート		ベローズシール
Oリングシール		単動
（N.C.）		ボディ：アルミ
ベローズ：SUS316L		40，50

ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY

    ・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造。
    ・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）

    注）ストレート型にサイズ16はありません。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XMA/XYA検索結果を表示
    XMC/XYC検索結果を表示
    XMD/XYD検索結果を表示
    XMH/XYH検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式軸シール
方式		弁形式材質フランジ
サイズ
XMA/XYAエア
オペレート		ベローズシール単動
（N.C.）		ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～80 注）
XMC/XYCエア
オペレート		ベローズシール複動ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～80 注）
XMD/XYDエア
オペレート		ベローズシール
Oリングシール		単動
（N.C.）		ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		25～80
XMH/XYH手動ベローズシール手動ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～50 注）

コンパクト5ポートソレノイドバルブ プラグインタイプ JSY1000/3000/5000

製品特長
    ・JSY1000用スペーサ形エジェクタの高消音サイレンサ追加 [New]
    ・流量UPでサイズダウン可能。
    　省スペース・軽量化・大流量化に貢献します。
    ・消費電力：0.1W(節電回路付)、0.4W(標準)
    ・コネクタ接続マニホールド
    ・4位置デュアル3ポート弁を準備
    ・マニホールド型式：JJ5SY1，JJ5SY3，JJ5SY5
    ・真空ユニットZK2 Seriesとの連結が可能
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • コンパクト5ポートソレノイドバルブ プラグインタイプ JSY1000/3000/5000
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    JSY1000検索結果を表示
    JSY3000検索結果を表示
    JSY5000検索結果を表示
  • コンパクト5ポートソレノイドバルブ プラグインタイプ JSY1000/3000/5000
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    JSY1000検索結果を表示
    JSY3000検索結果を表示
    JSY5000検索結果を表示
  • コンパクト5ポートソレノイドバルブ プラグインタイプ JSY1000/3000/5000
    マニホールド仕様書
    シリーズ 検索結果を表示
    JSY1000検索結果を表示
    JSY3000検索結果を表示
    JSY5000検索結果を表示
安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　リード線資料
シリーズ流量特性
4/2→3/5（A/B→E）
C［dm3/（s・bar）］		流量特性
4/2→3/5（A/B→E）
b		シリンダ駆動
サイズ		消費電力（W）
JSY10000.910.48φ400.2（節電回路付）
JSY30002.770.27φ500.4（標準）
0.1（節電回路付）
JSY50006.590.22φ800.4（標準）
0.1（節電回路付）

コンパクト5ポートソレノイドバルブ ノンプラグイン JSY1000/3000/5000

製品特長
    ・直接配管形 単体形（P.Eプレート搭載)に3 位置追加 [New]
    ・流量UPでサイズダウン可能。
    　省スペース・軽量化・大流量化に貢献します。
    ・消費電力：0.1W（節電回路付）、0.4W(標準)
    ・4位置デュアル3ポート弁を準備
    ・裏配管を用意（A,Bポート）
    ・マニホールド型式：JJ5SY1、JJ5SY3、JJ5SY5
    ・M12コネクタ対応（JSY5000）
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

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    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • コンパクト5ポートソレノイドバルブ ノンプラグイン JSY1000/3000/5000
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    JSY1000検索結果を表示
    JSY3000検索結果を表示
    JSY5000検索結果を表示
  • コンパクト5ポートソレノイドバルブ ノンプラグイン JSY1000/3000/5000
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    JSY1000検索結果を表示
    JSY3000検索結果を表示
    JSY5000検索結果を表示
  • コンパクト5ポートソレノイドバルブ ノンプラグイン JSY1000/3000/5000
    マニホールド仕様書
    シリーズ 検索結果を表示
    JSY1000検索結果を表示
    JSY3000検索結果を表示
    JSY5000検索結果を表示
安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　リード線資料
シリーズ流量特性
4/2→3/5（A/B→E）
C［dm3/（s・bar）］		流量特性
4/2→3/5（A/B→E）
b		シリンダ駆動
サイズ		消費電力（W）
JSY10000.630.28φ320.2（節電回路付）
JSY30001.810.27φ500.4（標準）
0.1（節電回路付）
JSY50003.720.18φ800.4（標準）
0.1（節電回路付）

4ポートソレノイドバルブ／カセットタイプマニホールド SJ1000/2000/3000/4000

製品特長

60JD、60GD型マニホールド
（フラットケーブル PCワイヤリング対応）
掲載カタログはこちら

    ・ベースレス構造の低背形カセットタイプ。
    ・ボディ幅6.5mm（SJ1000）、7.5mm（SJ2000）、
    　10mm（SJ3000A）、15mm（SJ4000）による省スペースタイプ。
    ・SJシリーズ5サイズのバルブ混載を実現
    ・コネクタ接続により連数の増減、バルブの交換が容易。
    ・ワンサイドソレノイド。
    ・4位置デュアル3ポート弁仕様あり。
    ・マニホールド型式：SS5J1, SS5J2, SS5J3, SS5J4

    ※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
    　新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
    　使用をご検討ください。
安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ流量特性
4/2→3/5
（A/B→E）
C［dm3/
（s・bar）］		流量特性
4/2→3/5
（A/B→E）
b		流量特性
4/2→3/5
（A/B→E）
Cv		シリンダ駆動
サイズ
速度：
100㎜/sの時		消費電力（W）
SJ10000.320.330.08ø320.55（標準）
0.23（節電回路付）
SJ20000.360.130.08ø400.55（標準）
0.23（節電回路付）
SJ30000.560.110.12ø500.4（標準）
0.15（節電回路付）
SJ3000A
大流量タイプ		0.760.190.21ø630.4（標準）
0.15（節電回路付）
SJ40002.610.200.68ø800.4（標準）
0.15（節電回路付）

5ポートソレノイドバルブ SY3000/5000/7000/9000

45G型マニホールド
（フラットケーブル PCワイヤリング対応）
掲載カタログはこちら

    ・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。
    ・消費電力：0.1W（節電回路付）
    ・アルミ一体型マニホールド、DINレール、分割形マニホールドなど豊富なマニホールドオプション。
    ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7，SS5Y9
    ・スペーサ形減圧弁に対応

    ※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
    　新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
    　使用をご検討ください。
安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　リード線資料
シリーズ流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
C［dm3/（s・bar）］		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
b		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
Cv		シリンダ駆動
サイズ		消費電力（W）
SY30001.10.300.26φ400.35（標準）
0.1（節電回路付）
SY50002.80.290.66φ630.35（標準）
0.1（節電回路付）
SY70004.50.271.1φ800.35（標準）
0.1（節電回路付）
SY9000100.292.5φ1000.35（標準）
0.1（節電回路付）
SY3001.10.300.26φ400.35（標準）
0.1（節電回路付）
SY5002.80.290.66φ630.35（標準）
0.1（節電回路付）

4位置デュアル3ポート弁 直接配管形／ベース配管形 SY5000/7000-X701

製品特長
    1つのボディに2つの3ポート弁内蔵
    ・外形寸法はダブルソレノイドと同じ
    ・Ａ側、Ｂ側の3ポート弁がそれぞれ独立して作動可能
    ・3ポート弁で使用する場合、今までの半分の連数で済みます。
    ・標準SY5000/7000シリーズ 5ポートソレノイドバルブのマニホールドベース
    　に混載可能
安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　リード線資料
配管形シリーズ4位置デュアル3ポート
切換方式
直接配管形
ベース配管形		SY5000
SY7000		N.C./N.C.
N.O./N.O.
N.C./N.O.

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