フロースイッチ
・乾燥空気、N2、Ar、CO2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、軽量、省スペース。
【シリーズバリエーション】 PFM
・乾燥空気、N2
・ノングリース仕様。
・流量調整弁一体化。
・小型、省スペース。

※PFMB7201シリーズは2021年9月に生産終了しました。
 PF2M721シリーズをご選定願います。
【シリーズバリエーション】 PFMB
・低発塵仕様
 クリーンルーム環境下でのクリーンエアブローの流量管理
・接流体部金属材質:SUS304
【シリーズバリエーション】 PFM7-X300 PFMB7-X300
・乾燥空気, N2
・3色表示 2画面対応
・流量レンジ拡大:1台で幅広い流量範囲の計測が可能
・小型&省スペース
・IO-Link対応
【シリーズバリエーション】 PFMC
・適用流体:空気, N2
・流量レンジ:最大12,000L/min
・レンジアビリティ 100:1
 1台で幅広い流量の計測が可能
・耐ドレン・異物性能向上
・圧力損失75%低減(20kPa→5kPa)
・スルーボア構造
・IO-Link対応
・エアコンビネーションに接続可能(モジュラタイプ)
・4画面圧力/温度センサ付デジタルフロースイッチ(モジュラタイプ)を用意。
 (積算)流量/圧力/温度の同時計測が可能。

 ▶IO-Linkマスタ
【シリーズバリエーション】 PF3A□H(-L)
・微小ワークの吸着確認。
・繰返し精度±2%F.S.
・応答速度5ms以下、耐圧500kPa
・ノングリース、RoHS対応。
・電圧モニタ 一つで全レンジ対応。
・関連機器:サクションフィルタ ZFC050シリーズ
【シリーズバリエーション】 PFMV
・一体型、モニタ分離型を用意。
・スイッチ出力、積算パルス出力、アナログ出力。
・積算流量、瞬時流量切換可能。
・IP65
・4チャンネルフローモニタ。
 異なる4つの流量レンジを1つのコントローラに接続可能。

※PF2A7□Hシリーズは2018年1月にモデルチェンジしました。
  PF3A7□Hシリーズをご選定願います。
【シリーズバリエーション】 PF2A