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高真空バルブ

アルミ製高真空L型バルブ XL□

    ・フッ素に強い。
    ・アウトガスが少ない。
    ・重金属汚染が少ない。

    ※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16~80は2017年9月に
      モデルチェンジしました。

      XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式
用途フランジ
サイズ
XLAエア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~160
XLAV(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~160
XLCエア
オペレート
複動ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~160
XLCV(電磁弁付)エア
オペレート
複動ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~80
XLFエア
オペレート
単動
(N.C.)
Oリングシール高速作動
高作動回数
16~160
XLFV(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
Oリングシール高速作動
高作動回数
16~160
XLGエア
オペレート
複動Oリングシール高速作動
高作動回数
16~160
XLGV(電磁弁付)エア
オペレート
複動Oリングシール高速作動
高作動回数
16~80
XLDエア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシール
Oリングシール
ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止
25~160
XLDV(電磁弁付)エア
オペレート
単動
(N.C.)
ベローズシール
Oリングシール
ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止
25~160
XLH手動手動ベローズシールダストフリー
クリーン化
16~50
XLS電磁式単動
(N.C.)
(ベローズバランス)エア不要
可搬装置用
16,25

製品特長

■アルミ製高真空L 型バルブ
■アルミボディ採用

均一なベーキング温度

熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します。


軽量・コンパクト

小さなボディで大きなコンダクタンス。フッ素に対する耐食性に優れています。(ボディ)

アウトガスが少ない

アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます。

重金属汚染が少ない

Ni(ニッケル)、Cr(クロム)等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます。

■ベローズ交換が可能(ベローズシールタイプ)

ベローズAss'y での交換が可能になりメンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れます。

■電磁弁付追加 New



■ヒータ付に耐熱型2 色表示式無接点オートスイッチ選択可(オプション)New

・周囲温度:Max. 150℃(センサ部)
・2 色表示式

■ヒータ付の選択可能(オプション)

100/120℃用

■オートスイッチ4方向から取付可能


■高真空L型バルブ シリーズバリエーション

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