スリットバルブ
・長寿命:300万回(常温時)
・発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
・メンテナンス性向上
 容易なベローズ交換
 トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
・安全対策
 メカ式エンドロック機構採用
【シリーズバリエーション】 XGTP
・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバー
 およびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適して
 います。
【シリーズバリエーション】 XGT