高真空バルブ
・最低使用圧力:1×10-6Pa(abs)
・リーク量:内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
・2種の継手、めねじを用意
・消費電力:最大25%削減
・質量:最大18%削減 0.5kg→0.41kg
【シリーズバリエーション】 XSA XSA
・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4(従来比)
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
【シリーズバリエーション】 XVD