圧力制御機器
・コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ。
・禁油。
・2種類のダイヤフラム材質:PTFE、フッ素ゴム。
【シリーズバリエーション】 SRH SRH
・接液部材質
 ボディ:New PFA
 ダイヤフラム:PTFE
・推奨量大流量:20L/min(SRF50)
 (入口圧力:0.3MPa、流体:水)
【シリーズバリエーション】 SRF SRF SRF