圧縮空気清浄化フィルタ
・使用圧力範囲:-100kPa~1.0MPa
 1台で正圧・真空圧の使用が可能
・回り止め機構採用
 正圧使用の際、緩みにより部品飛散を防止
・パッキン(FKM+禁油処理):-X05(オーダーメイド)

注)供給圧力0.1MPa、差圧30kPa
【シリーズバリエーション】 ZFC5□-X05 ZFC7□-X05
・エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
 (SFA100・200・300,SFB100)
・半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
 (SFB300,SFC100)
【シリーズバリエーション】 SFA100・200・300 SFB100 SFB200 SFB300 SFC100
・中空糸エレメント内蔵。
・圧力降下:0.03MPa(1次圧0.7MPa、最大流量時)
・環境負荷化学物質削減RoHS対応。
【シリーズバリエーション】 SFD100 SFD200
・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。
 手軽にクリーンエアが得られます。
・ろ過度:0.01μm(捕集効率99.99%)。
・流体接触部:ノングリース、シリコーンフリー。
・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
・24種類の組合せが可能。

注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1~1.6.1相当
【シリーズバリエーション】 LLB3 LLB4
・一体型ユニットにより小型&施工工数削減
・流量100L/minまでの小型ワークのクリーンエアブローに対応
【シリーズバリエーション】 LLB1-525 LLB1-550 LLB1-511