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スリットバルブ
300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
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・長寿命：300万回（常温時）
・発塵量：1/5以下に低減（従来品比） ・メンテナンス性向上 容易なベローズ交換 トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド） ・安全対策 メカ式エンドロック機構採用 |
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| その他資料 |
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| シリーズ | 使用環境圧力 Pa（abs） | 使用流体 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm |
作動圧力 MPa（G） |
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| XGTP | 大気圧～10-6 | 不活性ガス | 50×336 | 0.45～0.6 |
300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブXGTP
| シリーズ | ダウンロード |
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| XGTP |
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スリットバルブ XGT
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・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバー
およびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適して います。 |
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| その他資料 |
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| シリーズ | 使用環境圧力 Pa（abs） | 使用流体 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm |
作動圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大気圧～10-6 | 不活性ガス系の真空 |
32×222 46×236 50×336 |
0.45～0.6 |
スリットバルブXGT
| シリーズ | ダウンロード |
|---|---|
| XGT |
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