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製品一覧

方向制御機器
1. パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ
2. パイロット式3ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
3. 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
4. 省配線フィールドバスシステム(シリアル伝送システム)
5. エアオペレートバルブ
6. メカニカルバルブ/中継機器
7. フィンガバルブ/ハンドバルブ/残圧抜き3ポート弁
8. ブローガン
9. パワーバルブ
10. ISOバルブ
11. 防爆バルブ
エアシリンダ
1. 標準形エアシリンダ（丸形）
2. 標準形エアシリンダ（角形カバー）
3. コンパクトエアシリンダ
4. 耐環境仕様シリンダ
5. フローティングジョイント／ロッドエンド
6. エアハイドロユニット
7. メカジョイント式ロッドレスシリンダ
8. マグネット式ロッドレスシリンダ
9. テーブル付シリンダ
10. ガイド付シリンダ
11. デュアルロッドシリンダ
12. ファインロックシリンダ
13. ロック付シリンダ／エンドロック付シリンダ
14. 特殊シリンダ
15. クランプシリンダ
16. ピンシフトシリンダ
17. ストッパシリンダ
18. 計測シリンダ
19. バルブ付エアシリンダ
20. ISOシリンダ
21. ショックアブソーバ
22. オートスイッチ
23. アクチュエータ位置センサ
ロータリアクチュエータ/エアチャック
1. ロータリアクチュエータベーンタイプ
2. ロータリアクチュエータラックピニオンタイプ
3. エアチャック（平行開閉形）
4. エアチャック（支点開閉形）
5. 協働ロボット用エアグリッパ
6. オートスイッチ
電動アクチュエータ/電動シリンダ
1. カードモータ
2. バッテリレスアブソリュートエンコーダタイプ
3. スライダタイプ
4. ロッドタイプ／ガイド付ロッドタイプ
5. スライドテーブル
6. ミニチュア
7. ロータリテーブル
8. グリッパ
9. コントローラ／ドライバ
10. 環境
11. モータレス仕様
12. 電動アクチュエータ・シリンダ
13. オーダーメイド
真空用機器
1. 真空エジェクタ・真空ポンプシステム
2. 真空エジェクタ
3. 真空破壊弁ユニット
4. エアサクションフィルタ
5. 真空パッド
6. 特殊パッド
7. 協働ロボット用グリッパ
8. サクションアシストバルブ
9. バキュームフロー
10. 真空レギュレータ
11. 真空システム用関連機器
圧縮空気清浄化機器
1. アフタクーラ/エアタンク
2. エアドライヤ
3. 圧縮空気清浄化フィルタ
4. オートドレン／差圧計
モジュラF.R.L./圧力制御機器
1. モジュラF.R.L.
2. レギュレータ
3. 電空レギュレータ
4. 比例弁
5. 増圧弁
潤滑機器
1. 潤滑機器
管継手＆チューブ
1. 汎用管継手
2. 汎用管継手（Sカプラー／マルチコネクタ）
3. 特殊環境用管継手
4. 特殊環境用管継手 (クリーン／フッ素樹脂)
5. チューブ
6. チューブ（特殊環境用チューブ）
7. チューブ (フッ素樹脂／クリーン)
8. 付属関連機器
駆動制御機器
1. 汎用スピードコントローラ
2. 低速制御用スピードコントローラ
3. 特殊環境用スピードコントローラ
4. 特殊機能スピードコントローラ
5. 工具操作形スピードコントローラ
6. 省エアスピードコントローラ／エアセービングバルブ
7. 駆動制御関連機器
サイレンサ/エキゾーストクリーナ/ブローガン/圧力計
1. サイレンサ
2. エキゾーストクリーナ
3. ブローガン
4. 圧力計
スイッチ/センサ/コントローラ
1. 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ一体型）
2. 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ分離型）
3. 機械式圧力スイッチ
4. 電子式フロースイッチ／センサ
5. 機械式フロースイッチ
6. コントローラ
静電気対策機器/
イオナイザー(除電機器)
1. 静電気対策機器/イオナイザー（除電機器）
産業用通信機器/無線システム
1. 無線システム
2. 産業用通信機器
  1. PROFINET
  2. EtherNet/IP
  3. EtherCAT
  4. Modbus TCP
  5. ETHERNET POWERLINK
  6. CC-Link IE Field
  7. SSCNET III
  8. MECHATROLINK-Ⅲ
  9. PROFIsafe
  10. IO-Link
  11. PROFIBUS DP
  12. DeviceNet
  13. CC-Link
  14. AS-interface
  15. CANopen
  16. CompoNet
  17. Interbus
  18. MECHATROLINK-Ⅱ
3. その他
  1. RS232C
  2. RS485
流体制御用機器
1. 2・3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
2. 2･3ポートソレノイドバルブ
3. 5.0MPa対応2･3ポートソレノイドバルブ
4. 汎用流体制御用2・3ポートバルブ
5. クーラント用バルブ
6. 水性・溶剤系流体用バルブ
薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ
1. 薬液用バルブ
2. 管継手／ニードルバルブ
3. チューブ
プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
1. プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
温調機器
1. サーモチラー（循環液温調装置）
2. サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
3. 空気温調機
プロセスガス用機器
1. プロセスガス用機器
高真空機器
1. 高真空バルブ
2. その他
3. スリットバルブ
4. 真空ロッドレスシリンダ
工業用フィルタ/焼結金属エレメント
1. 工業用フィルタ
2. 焼結金属エレメント
計装用補助機器
1. ポジショナ
2. 減圧弁
3. リレー／バルブ
4. 電ー空変換器
5. アクチュエータ
6. 検出変換器
7. ソレノイドバルブ
8. 配管材
油圧機器
1. 油圧シリンダ
2. 油圧用機器

テーマ・業種別カタログ

スリットバルブ

300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP

	・長寿命：300万回（常温時）・発塵量：1/5以下に低減（従来品比）・メンテナンス性向上　容易なベローズ交換　トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）・安全対策　メカ式エンドロック機構採用
	品番確認

ダウンロード CAD 取扱説明書カタログPDF

その他資料	安全上のご注意　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	使用環境圧力 Pa（abs）	使用流体	開口窓寸法（高さ×幅）mm	作動圧力 MPa（G）
XGTP	大気圧～10^-6	不活性ガス	50×336	0.45～0.6

シリーズ	ダウンロード
XGTP

スリットバルブ XGT

	・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバー　およびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適して　います。
	品番確認

ダウンロード CAD 取扱説明書カタログPDF

その他資料	安全上のご注意　システム構成/バリエーション　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	使用環境圧力 Pa（abs）	使用流体	開口窓寸法（高さ×幅）mm	作動圧力 MPa（G）
XGT	大気圧～10^-6	不活性ガス系の真空	32×222 46×236 50×336	0.45～0.6