WEBカタログ

・長寿命：300万回（常温時）
・発塵量：1/5以下に低減（従来品比）
・メンテナンス性向上
　容易なベローズ交換
　トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
・安全対策
　メカ式エンドロック機構採用

・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバー
　およびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適して
　います。