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スリットバルブ
300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
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・長寿命:300万回(常温時)
・発塵量:1/5以下に低減(従来品比) ・メンテナンス性向上 容易なベローズ交換 トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド) ・安全対策 メカ式エンドロック機構採用 |
その他資料 |
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シリーズ | 使用環境圧力 Pa(abs) | 使用流体 | 開口窓寸法 (高さ×幅)mm |
作動圧力 MPa(G) |
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XGTP | 大気圧~10-6 | 不活性ガス | 50×336 | 0.45~0.6 |
300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブXGTP
シリーズ | ダウンロード |
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XGTP |
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スリットバルブ XGT
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・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバー
およびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適して います。 |
その他資料 |
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シリーズ | 使用環境圧力 Pa(abs) | 使用流体 | 開口窓寸法 (高さ×幅)mm |
作動圧力 MPa(G) |
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XGT | 大気圧~10-6 | 不活性ガス系の真空 |
32×222 46×236 50×336 |
0.45~0.6 |
スリットバルブXGT
シリーズ | ダウンロード |
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XGT |
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