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圧縮空気清浄化フィルタ
インラインエアフィルタ ZFC5□/7□-X05
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・使用圧力範囲:-100kPa~1.0MPa
1台で正圧・真空圧の使用が可能 ・回り止め機構採用 正圧使用の際、緩みにより部品飛散を防止 ・パッキン(FKM+禁油処理):-X05(オーダーメイド) 注)供給圧力0.1MPa、差圧30kPa |
その他資料 |
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シリーズ | 適用チューブ外径 ミリ |
適用チューブ外径 インチ |
流量 L/min(ANR)注) 正圧 |
流量 L/min(ANR)注) 真空圧 |
ろ過度(μm) |
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ZFC5□-X05 | φ4, φ6 | φ5/32'', φ1/4'' | 100/200 | 10/20 | 5 |
ZFC7□-X05 | φ6, φ8 , φ10, φ12 | φ1/4'', φ5/16'', φ3/8'' | 250/450/550/650 | 30/70/80/100 | 5 |
インラインエアフィルタZFC5□/7□-X05
シリーズ | ダウンロード |
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ZFC5□-X05 |
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ZFC7□-X05 |
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クリーンガスフィルタ SF
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・エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
(SFA100・200・300,SFB100) ・半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。 (SFB300,SFC100) |
その他資料 |
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タイプ | シリーズ | 使用圧力 | ろ過度 |
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カートリッジタイプ ディスク形 |
SFA100・200・300 |
Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) |
0.01μm (捕集効率99.99%) |
カートリッジタイプ ストレート形 |
SFB100 |
Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) |
0.01μm (捕集効率99.99%) |
カートリッジタイプ ストレート形 |
SFB200 |
Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) |
120μm |
ディスポーザブルタイプ ストレート形 |
SFB300 |
Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) |
0.01μm (捕集効率99.99%) |
ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 |
SFC100 |
Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) |
0.01μm (捕集効率99.99%) |
クリーンガスフィルタSF
タイプ | シリーズ | ダウンロード |
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カートリッジタイプ ディスク形 |
SFA100・200・300 |
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カートリッジタイプ ストレート形 |
SFB100 |
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カートリッジタイプ ストレート形 |
SFB200 |
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ディスポーザブルタイプ ストレート形 |
SFB300 |
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ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 |
SFC100 |
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クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
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・中空糸エレメント内蔵。
・圧力降下:0.03MPa(1次圧0.7MPa、最大流量時) ・環境負荷化学物質削減RoHS対応。 |
その他資料 |
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シリーズ | 種類 | 使用圧力 | ろ過度 |
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SFD100 |
ディスポーザブル (エレメント交換不可) |
MAX.1.0MPa |
0.01μm (捕集効率:99.99%) |
SFD200 |
カートリッジ型 (エレメント交換可) |
MAX.1.0MPa |
0.01μm (捕集効率:99.99%) |
クリーンエアフィルタ 中空糸エレメントSFD
シリーズ | 種類 | ダウンロード |
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SFD100 | ディスポーザブル (エレメント交換不可) |
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SFD200 | カートリッジ型 (エレメント交換可) |
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クリーンエアモジュール LLB
![]() |
・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。
手軽にクリーンエアが得られます。 ・ろ過度:0.01μm(捕集効率99.99%)。 ・流体接触部:ノングリース、シリコーンフリー。 ・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。 ・24種類の組合せが可能。 注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1~1.6.1相当 |
その他資料 |
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シリーズ | 使用流体 | 設定圧力 | 流量範囲 L/min(ANR) |
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LLB3 |
クリーンエア N2ガス 注) |
0.05~0.4MPa | 5~100 |
LLB4 |
クリーンエア N2ガス 注) |
0.05~0.4MPa | 50~500 |
クリーンエアモジュールLLB
シリーズ | ダウンロード |
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LLB3 |
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LLB4 |
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クリーンエアモジュール LLB1-X100
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・一体型ユニットにより小型&施工工数削減
・流量100L/minまでの小型ワークのクリーンエアブローに対応 |
その他資料 |
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シリーズ | 使用流体 | 流量範囲 L/min(ANR) |
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LLB1-525 |
クリーンエア N2ガス |
0.5〜25 |
LLB1-550 |
クリーンエア N2ガス |
1〜50 |
LLB1-511 |
クリーンエア N2ガス |
2〜100 |
クリーンエアモジュールLLB1-X100
シリーズ | ダウンロード |
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LLB1-525 |
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LLB1-550 |
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LLB1-511 |
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