・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。
手軽にクリーンエアが得られます。
・ろ過度:0.01μm(捕集効率99.99%)。
・流体接触部:ノングリース、シリコンフリー。
・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
・24種類の組合せが可能。
注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1~1.6.1相当
シリーズ | 使用流体 | 設定圧力 | 流量範囲 L/min(ANR) |
LLB4 | クリーンエア N2ガス 注) | 0.05~0.4MPa | 50~500 |
LLB3 | クリーンエア N2ガス 注) | 0.05~0.4MPa | 5~100 |
製品特長
� �isS6����?�pn��ndu�1��2ӄ.vN�rɶ���X6���[%�4ƦM��0L6P����GDV�O��c��jI�d�,r��li�9�Zk�g�9�3��忭��;�{�b�k���/�_Ow��s��}�e�I$�A��"a6��|?=�zYSo�@�g��뇾�2O���z�@�Ѐ������+��������q#=�Xd����@Wo��D��x{�o ��S�����w��D�#k2���K���I�|����Ֆ�M��͇���s�W�w��C����;ڳ���^�,>�Cw$��,��
Յ���SWd��e>㐚}���v��5����7�׳����;�wz�w�o����ҝ�k��?��{���ѽ�������5�|"Έ�{����ޘ�Z��SG���[���|\��5_��5�]�����t��������{V������?���t����v���f�����V�7�Z����q�W����|��������'rг.<Y�bZ2�Ĕ���3�ot�i��Yq 9��ۏ��O��ю�����������D���x{�;�:P���3�����6|�C$��'��b�1�Q��!�G��2��rۢ{=�=���'| ���v;q�5���C��.�[tGWoO�o+