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クリーンガスフィルタ・エアフィルタ

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クリーンガスフィルタ SF

    ・エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
     (SFA100・200・300,SFB100)
    ・半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。
     (SFB300,SFC100)
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • クリーンガスフィルタ SF
    取扱説明書
    タイプ シリーズ 検索結果を表示
    カートリッジタイプ
    ディスク形
    SFA100・200・300検索結果を表示
    カートリッジタイプ
    ストレート形
    SFB100検索結果を表示
    カートリッジタイプ
    ストレート形
    SFB200検索結果を表示
    ディスポーザブルタイプ
    ストレート形
    SFB300検索結果を表示
    ディスポーザブルタイプ
    多段ディスク形
    SFC100検索結果を表示
タイプシリーズ使用圧力ろ過度
カートリッジタイプ
ディスク形
SFA100・200・300Max.0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕集効率99.99%)
カートリッジタイプ
ストレート形
SFB100Max.0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕集効率99.99%)
カートリッジタイプ
ストレート形
SFB200Max.0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
120μm
ディスポーザブルタイプ
ストレート形
SFB300Max.0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕集効率99.99%)
ディスポーザブルタイプ
多段ディスク形
SFC100Max.0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕集効率99.99%)

クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD

    ・中空糸エレメント内蔵。
    ・圧力降下:0.03MPa(1次圧0.7MPa、最大流量時)
    ・環境負荷化学物質削減RoHS対応。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
    取扱説明書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    SFD100ディスポーザブル
    (エレメント交換不可)
    検索結果を表示
    SFD200カートリッジ型
    (エレメント交換可)
    検索結果を表示
シリーズ種類使用圧力ろ過度
SFD100ディスポーザブル
(エレメント交換不可)
MAX.1.0MPa0.01μm
(捕集効率:99.99%)
SFD200カートリッジ型
(エレメント交換可)
MAX.1.0MPa0.01μm
(捕集効率:99.99%)

クリーンエアモジュール LLB

    ・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。
     手軽にクリーンエアが得られます。
    ・ろ過度:0.01μm(捕集効率99.99%)。
    ・流体接触部:ノングリース、シリコーンフリー。
    ・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
    ・24種類の組合せが可能。

    注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1~1.6.1相当
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

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    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • クリーンエアモジュール LLB
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    LLB3検索結果を表示
    LLB4検索結果を表示
  • クリーンエアモジュール LLB
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    LLB3検索結果を表示
    LLB4検索結果を表示
シリーズ使用流体設定圧力流量範囲 L/min(ANR)
LLB3クリーンエア
N2ガス 注)
0.05~0.4MPa5~100
LLB4クリーンエア
N2ガス 注)
0.05~0.4MPa50~500

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