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プロセスガス用機器


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減圧弁（圧力調整器）　高純度プロセスガス用 AP/SL/AP/AZ

製品特長
    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
    ・接ガス部電解研磨処理。
    ・外部メタルシール構造。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション
推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ形式用途ボディ材質配管接続配管サイズ
AP/SL一段式ライン用（小型）SUS316L
ダブルメルト		フェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
AP/SL一段式ライン用SUS316L
ダブルメルト		フェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
AP/SL一段式バルクガス用SUS316Lフェースシール継手
チューブ溶接		1/2''，3/4''，1''
AP/SL一段式一次側高圧用SUS316L
ダブルメルト		フェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
AP/SL一段式負圧調整SUS316L
ダブルメルト		フェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
AP二段式一次側高圧用SUS316L
ダブルメルト		フェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
AZ一段式ライン用SUS316Lフェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''
AZ一段式一次側高圧用SUS316Lフェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''
AZ一段式負圧調整SUS316Lフェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''

減圧弁（圧力調整器）／背圧弁　一般ガス用 AK/BP

製品特長
    ・半導体から一般産業まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。
    ・流体に応じボディ材質はSUS316または黄銅の選択が可能。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション
推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ形式用途ボディ材質配管接続配管サイズ
AK一段式ライン用SUS316
または黄銅		NPTめねじ
コンプレッション 継手		1/4''，3/8''
1/2''
AK一段式一次側高圧用SUS316
または黄銅		NPTめねじ
コンプレッション 継手		1/4''，3/8''
1/2''
AK一段式負圧調整SUS316
または黄銅		NPTめねじ
コンプレッション 継手		1/4''，3/8''
1/2''
AK二段式一次側高圧用SUS316
または黄銅		NPTめねじ
コンプレッション 継手		1/4''
BP背圧弁―SUS316
または黄銅		NPTめねじ
コンプレッション 継手		1/4''

ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AP

製品特長
    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ガスの遮断弁として使用。
    ・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
  • ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AP
    取扱説明書
    シリーズ タイプ 検索結果を表示
    APエアオペレートタイプ検索結果を表示
    APマニュアルタイプ検索結果を表示
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション
推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプボディ材質配管接続配管サイズ
APエアオペレートタイプSUS316L
ダブルメルト		フェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
APマニュアルタイプSUS316L
ダブルメルト		フェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''

ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AZ

製品特長
    ・精密洗浄およびクリーンルーム組立
    ・全品ヘリウムリーク検査済
    ・SEMI規格準拠
    ・作業者に優しい鍛造ボディ
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

  • ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AZ
    取扱説明書
    シリーズ タイプ 検索結果を表示
    AZエアオペレートタイプ検索結果を表示
    AZマニュアルタイプ検索結果を表示
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推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプボディ材質配管接続配管サイズ
AZエアオペレートタイプSUS316Lフェースシール継手
チューブ溶接		1/4''
3/8''
1/2
AZマニュアルタイプSUS316Lフェースシール継手
チューブ溶接		1/4''
3/8''
1/2

チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP

製品特長
    ［チェック弁］
    ・背圧による流体の逆流を防止。
    ・内部可動部品はOリングのみのシンプル構造。
    ・スプリングレス構造により振動、チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。
    ［バキュームジェネレータ］
    ・真空発生機器。
    ・ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。
    ［フロースイッチ］
    ・配管の破断等による過剰流量の検出。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション
推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプボディ材質配管接続配管サイズ
APチェック弁SUS316Lダブルメルトフェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
APバキュームジェネレータSUS316Lフェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
APフロースイッチSUS316Lダブルメルト
SUS316L		フェースシール継手
チューブ溶接		1/2''，3/4''

ダイヤフラムバルブ　一般ガス用 AK

製品特長
    ・配管接続にRc, R, NPTをシリーズ化
    ・半導体から一般産業用途まで使用可能なスタンダードモデル
    ・精密洗浄を実施
    ・アクチュエータの高さを低くして、製品の小型、軽量化を実現（AK3542, 4542）
    ・操作ポートM5ねじ（AK3542, 4542）
    ・ハンドル構造の改良により、製品の小型、軽量化を実現（AK3652, 4652）
    ・ツマミ付丸ハンドルの採用により操作性、視認性がアップ（AK3652, 4652）
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • ダイヤフラムバルブ　一般ガス用 AK
    取扱説明書
    シリーズ タイプ 検索結果を表示
    AKエアオペレートタイプ検索結果を表示
    AKマニュアルタイプ検索結果を表示
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション
推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプボディ材質配管接続配管サイズ
AKエアオペレートタイプSUS316コンプレッション継手
Rc, R, NPT		1/4''，3/8''
AKマニュアルタイプSUS316コンプレッション継手
Rc, R, NPT		1/4''，3/8''

減圧弁／一般ガス用 AK1000T

製品特長
    ・半導体から一般産業用途まで使用可能なスタンダードモデル
    ・製品の小型、軽量化を実現
    　質量：0.52kg、高さ：97.5mm
    ・内部容積の小設計化でガス溜まりを低減
    ・配管バリエーション
    　コンプレッション継手、NPTめねじ、Rcねじから選択可
  • 減圧弁／一般ガス用 AK1000T
    取扱説明書
    シリーズ タイプ 検索結果を表示
    AK1000Tマニュアルタイプ検索結果を表示
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション
推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズタイプボディ材質配管接続配管サイズ
AK1000TマニュアルタイプSUS316コンプレッション継手
Rc, NPT		1/4''，3/8''

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