検出スイッチ
・アルゴン(Ar)、二酸化炭素(CO2)、混合ガス(Ar+CO2)対応
・シールドガスの流量管理、数値管理が可能
・設定最小単位:0.01L/min
・繰り返し精度:±1%F.S.
・ノングリース
・流量調整弁一体化(省配管、省スペース)
・応答時間:50msec・0.5sec・1sec・2secより選択可能
【シリーズバリエーション】 PFM7 PFM7-X731
・測定値を見ながら設定可能。
・シールドガスの圧力管理、数値管理が可能。
・アルゴン(Ar)、二酸化炭素(CO2)、混合ガス(Ar+CO2)に対応。
【シリーズバリエーション】 ISE20B