真空システム用関連機器
・薄いシート・ガラス基板・柔らかいワーク等の吸着固定に適応。
 吸着部表面にあいている多数の微細な空孔より吸引するため
 吸着時ワークの変形がありません。
・高い加工精度。
・大きな吸着力。
【シリーズバリエーション】 SP
・コンパクトで取付精度の高い角形小形シリンダCUシリーズに真空用通路を
 ロッドに設け真空パッドの取付けを容易にし、省スペースを実現します。
・標準真空パッド(ø2~ø50)取付可能。
【シリーズバリエーション】 ZCUK
・真空機器のトラブルを未然に防止!
・ろ過度:5,40,80μm
・大流量:max.660L/min(ANR)
・エレメントの洗浄による繰り返し利用が可能
・水滴除去が可能
・透明ケースガードでケース全周をカバー
【シリーズバリエーション】 AFJ
・真空機器接続ラインに取付けるだけで空気中の水滴を除去。
・真空ポンプやエジェクタ等、吸込み空気中の水滴を除去したいなどと
 いった場合に効果的です。
【シリーズバリエーション】 AMJ
・真空ポンプから排気される油煙を99.5%捕捉。
・油煙のない快適な作業環境を実現。
・小流量で高濃度の油煙でも99.5%捕捉分離。
・真空ポンプからの排気ダクトが不要。
【シリーズバリエーション】 AMV
・方向制御機器
・真空用圧力スイッチ
・真空用圧力計
・流量制御機器
・オーダーメイド仕様