高真空バルブ
・アルミボディ採用
 均一なベーキング温度
 軽量・コンパクト
 アウトガスが少ない
 重金属汚染が少ない
・ベローズ交換が可能
【シリーズバリエーション】 XLA-2 XLAV-2(電磁弁付) XLC-2 XLF-2 XLFV-2(電磁弁付) XLG-2
・ベローズ耐久性向上(フランジサイズ100、160)
・寿命:200万回
・装置の省スペース化が可能
 排気方向制限なし(弁体側←→ベローズ側 両方向可能)
 取付姿勢の自由度アップ
・軽量・コンパクト
【シリーズバリエーション】 XLA-100・160-X152 XLC-100・160-1-X152
・フッ素に強い。
・アウトガスが少ない。
・重金属汚染が少ない。

※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16~80は2017年9月に
  モデルチェンジしました。

  XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。
【シリーズバリエーション】 XLA XLAV(電磁弁付) XLC XLCV(電磁弁付) XLF XLFV(電磁弁付) XLG XLGV(電磁弁付) XLD XLDV(電磁弁付) XLH XLS
・ワンタッチ着脱(工具レス)
【シリーズバリエーション】 XLAQ XLDQ
・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造。
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)

注)ストレート型にサイズ16はありません。
【シリーズバリエーション】 XMA/XYA XMC/XYC XMD/XYD XMH/XYH
・最低使用圧力:1×10-6Pa(abs)
・リーク量:内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
・2種の継手、めねじを用意
・消費電力:最大25%削減
・質量:最大18%削減 0.5kg→0.41kg
【シリーズバリエーション】 XSA XSA
・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4(従来比)
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
【シリーズバリエーション】 XVD