プロセスガス用機器
・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
・接ガス部電解研磨処理。
・外部メタルシール構造。
【シリーズバリエーション】 AP/SL AP/SL AP/SL AP/SL AP/SL AP AZ AZ AZ
・半導体から一般産業まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。
・流体に応じボディ材質はSUS316または黄銅の選択が可能。
【シリーズバリエーション】 AK AK AK AK BP
・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ガスの遮断弁として使用。
・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、
 流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
【シリーズバリエーション】 AP AP
・精密洗浄およびクリーンルーム組立
・全品ヘリウムリーク検査済
・SEMI規格準拠
・作業者に優しい鍛造ボディ
【シリーズバリエーション】 AZ AZ
[チェック弁]
・背圧による流体の逆流を防止。
・内部可動部品はOリングのみのシンプル構造。
・スプリングレス構造により振動、チャタリング等によるパーティクルの発生、
 下流側の圧力変動を抑制。
[バキュームジェネレータ]
・真空発生機器。
・ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。
[フロースイッチ]
・配管の破断等による過剰流量の検出。
【シリーズバリエーション】 AP AP AP
・配管接続にRc, R, NPTをシリーズ化
・半導体から一般産業用途まで使用可能なスタンダードモデル
・精密洗浄を実施
・アクチュエータの高さを低くして、製品の小型、軽量化を実現(AK3542, 4542)
・操作ポートM5ねじ(AK3542, 4542)
・ハンドル構造の改良により、製品の小型、軽量化を実現(AK3652, 4652)
・ツマミ付丸ハンドルの採用により操作性、視認性がアップ(AK3652, 4652)
【シリーズバリエーション】 AK AK
・半導体から一般産業用途まで使用可能なスタンダードモデル
・製品の小型、軽量化を実現
 質量:0.52kg、高さ:97.5mm
・内部容積の小設計化でガス溜まりを低減
・配管バリエーション
 コンプレッション継手、NPTめねじ、Rcねじから選択可
【シリーズバリエーション】 AK1000T