真空破壊弁ユニット
・0603チップ対応。
・応答速度:13msec(500mm時※)/18.5msec(1000mm時※)
・オーバーシュートのない滑らかなワークの離脱。
・真空・正圧の切換タイミングの調整不要。
・破壊エアの絞り回路不要。
・サクションフィルタ:ZFC050(オーダーメイド)


※ユニットからワークまでの距離。
・スプール弁を2本内蔵。
・バルブ1台で真空吸着・破壊の制御が可能。
・幅10mm(SJ3000シリーズと同等サイズ)
・破壊エアの流量調整ができる絞り弁付。
・真空側、破壊側それぞれに交換可能なフィルタを内蔵。
・4ポートソレノイドバルブSJ2000/3000との混載可能(オーダーメイド)
・バルブ1台で真空吸着・破壊の制御が可能。
・破壊エアの流量調整ができる絞り弁付。
・同一マニホールドバルブに標準バルブと混載可能。
 ※単独EXH.スペーサ使用時
【シリーズバリエーション】 SY3A□R SY5A□R