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クリーンガスフィルタ・エアフィルタ
クリーンガスフィルタ SF
|
・エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
(SFA100・200・300，SFB100) ・半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。 (SFB300，SFC100) |
| その他資料 |
|---|
| タイプ | シリーズ | 使用圧力 | ろ過度 |
|---|---|---|---|
|
カートリッジタイプ ディスク形 |
SFA100・200・300 |
Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） |
0.01μm （捕集効率99.99％） |
|
カートリッジタイプ ストレート形 |
SFB100 |
Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） |
0.01μm （捕集効率99.99％） |
|
カートリッジタイプ ストレート形 |
SFB200 |
Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） |
120μm |
|
ディスポーザブルタイプ ストレート形 |
SFB300 |
Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） |
0.01μm （捕集効率99.99％） |
|
ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 |
SFC100 |
Max.0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） |
0.01μm （捕集効率99.99％） |
クリーンガスフィルタSF
| タイプ | シリーズ | ダウンロード |
|---|---|---|
| カートリッジタイプ ディスク形 |
SFA100・200・300 |
|
| カートリッジタイプ ストレート形 |
SFB100 |
|
| カートリッジタイプ ストレート形 |
SFB200 |
|
| ディスポーザブルタイプ ストレート形 |
SFB300 |
|
| ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 |
SFC100 |
|
クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
|
・中空糸エレメント内蔵。
・圧力降下：0.03MPa（1次圧0.7MPa、最大流量時） ・環境負荷化学物質削減RoHS対応。 |
| その他資料 |
|---|
| シリーズ | 種類 | 使用圧力 | ろ過度 |
|---|---|---|---|
| SFD100 |
ディスポーザブル （エレメント交換不可） |
MAX.1.0MPa |
0.01μm （捕集効率：99.99%） |
| SFD200 |
カートリッジ型 （エレメント交換可） |
MAX.1.0MPa |
0.01μm （捕集効率：99.99%） |
クリーンエアフィルタ 中空糸エレメントSFD
| シリーズ | 種類 | ダウンロード |
|---|---|---|
| SFD100 | ディスポーザブル （エレメント交換不可） |
|
| SFD200 | カートリッジ型 （エレメント交換可） |
|
クリーンエアモジュール LLB
|
・クリーン機器をモジュール化（配管工数削減／省スペース）。
手軽にクリーンエアが得られます。 ・ろ過度：0.01μm（捕集効率99.99％）。 ・流体接触部：ノングリース、シリコーンフリー。 ・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。 ・24種類の組合せが可能。 注）入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1～1.6.1相当 |
| その他資料 |
|---|
| シリーズ | 使用流体 | 設定圧力 | 流量範囲 L/min（ANR） |
|---|---|---|---|
| LLB3 |
クリーンエア N2ガス 注） |
0.05～0.4MPa | 5～100 |
| LLB4 |
クリーンエア N2ガス 注） |
0.05～0.4MPa | 50～500 |
クリーンエアモジュールLLB
| シリーズ | ダウンロード |
|---|---|
| LLB3 |
|
| LLB4 |
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