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製品情報 » WEBカタログ » クリーン／低発塵 » クリーンガスフィルタ・エアフィルタ

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製品一覧

方向制御機器
1. パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ
2. パイロット式3ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
3. 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
4. 省配線フィールドバスシステム(シリアル伝送システム)
5. エアオペレートバルブ
6. メカニカルバルブ/中継機器
7. フィンガバルブ/ハンドバルブ/残圧抜き3ポート弁
8. ブローガン
9. パワーバルブ
10. ISOバルブ
11. 防爆バルブ
エアシリンダ
1. 標準形エアシリンダ（丸形）
2. 標準形エアシリンダ（角形カバー）
3. コンパクトエアシリンダ
4. 耐環境仕様シリンダ
5. フローティングジョイント／ロッドエンド
6. エアハイドロユニット
7. メカジョイント式ロッドレスシリンダ
8. マグネット式ロッドレスシリンダ
9. テーブル付シリンダ
10. ガイド付シリンダ（MGシリーズ）
11. ガイド付シリンダ（CXシリーズ）
12. ファインロックシリンダ
13. ロック付シリンダ／エンドロック付シリンダ
14. 特殊シリンダ
15. クランプシリンダ
16. ピンシフトシリンダ
17. ストッパシリンダ
18. 計測シリンダ
19. バルブ付エアシリンダ
20. ISOシリンダ
21. ショックアブソーバ
22. オートスイッチ
23. アクチュエータ位置センサ
24. シリンダスピードチェッカー
ロータリアクチュエータ/エアチャック
1. ロータリアクチュエータベーンタイプ
2. ロータリアクチュエータラックピニオンタイプ
3. エアチャック（平行開閉形）
4. エアチャック（支点開閉形）
5. 協働ロボット用エアチャック
6. オートスイッチ
電動アクチュエータ/電動シリンダ
1. カードモータ
2. バッテリレスアブソリュートエンコーダタイプ
3. スライダタイプ
4. ロッドタイプ／ガイド付ロッドタイプ
5. スライドテーブル
6. ミニチュア
7. ロータリテーブル
8. グリッパ
9. コントローラ／ドライバ
10. 環境
11. モータレス仕様
12. 電動アクチュエータ・シリンダ
13. オーダーメイド
真空用機器
1. 真空エジェクタ・真空ポンプシステム
2. 真空エジェクタ
3. 真空破壊弁ユニット
4. エアサクションフィルタ
5. 真空パッド
6. 特殊パッド
7. 協働ロボット用グリッパユニット
8. サクションアシストバルブ
9. バキュームフロー
10. 真空レギュレータ
11. 真空システム用関連機器
圧縮空気清浄化機器
1. アフタクーラ/エアタンク
2. エアドライヤ
3. 圧縮空気清浄化フィルタ
4. オートドレン／差圧計
モジュラF.R.L./圧力制御機器
1. モジュラF.R.L.
2. レギュレータ
3. 電空レギュレータ
4. 比例弁
5. 増圧弁
潤滑機器
1. 潤滑機器
管継手＆チューブ
1. 汎用管継手
2. 汎用管継手（Sカプラー／マルチコネクタ）
3. 特殊環境用管継手
4. 特殊環境用管継手 (クリーン／フッ素樹脂)
5. チューブ
6. チューブ（特殊環境用チューブ）
7. チューブ (フッ素樹脂／クリーン)
8. 付属関連機器
駆動制御機器
1. 汎用スピードコントローラ
2. 低速制御用スピードコントローラ
3. 特殊環境用スピードコントローラ
4. 特殊機能スピードコントローラ
5. 工具操作形スピードコントローラ
6. 省エアスピードコントローラ／エアセービングバルブ
7. 駆動制御関連機器
サイレンサ/エキゾーストクリーナ/ブローガン/圧力計
1. サイレンサ
2. エキゾーストクリーナ
3. ブローガン
4. 圧力計
スイッチ/センサ/コントローラ
1. 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ一体型）
2. 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ分離型）
3. 機械式圧力スイッチ
4. 電子式フロースイッチ／センサ
5. 機械式フロースイッチ
6. コントローラ
静電気対策機器/
イオナイザー(除電機器)
1. 静電気対策機器/イオナイザー（除電機器）
流体制御用機器
1. 2・3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
2. 2･3ポートソレノイドバルブ
3. 5.0MPa対応2･3ポートソレノイドバルブ
4. 汎用流体制御用2・3ポートバルブ
5. クーラント用バルブ
6. 水性・溶剤系流体用バルブ
薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ
1. 薬液用バルブ
2. 管継手／ニードルバルブ
3. チューブ
プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
1. プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
温調機器
1. サーモチラー（循環液温調装置）
2. サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
3. 空気温調機
プロセスガス用機器
1. プロセスガス用機器
高真空機器
1. 高真空バルブ
2. その他
3. スリットバルブ
4. 真空ロッドレスシリンダ
工業用フィルタ/焼結金属エレメント
1. 工業用フィルタ
2. 焼結金属エレメント
計装用補助機器
1. ポジショナ
2. 減圧弁
3. リレー／バルブ
4. 電ー空変換器
5. アクチュエータ
6. 検出変換器
7. ソレノイドバルブ
8. 配管材
油圧機器
1. 油圧シリンダ
2. 油圧用機器

テーマ・業種別カタログ

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クリーンガスフィルタ・エアフィルタ

クリーンガスフィルタ SF

	・エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。　(SFA100・200・300，SFB100) ・半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。　(SFB300，SFC100)

ダウンロード CAD 取扱説明書カタログPDF

その他資料	安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）

タイプ	シリーズ	使用圧力	ろ過度
カートリッジタイプディスク形	SFA100・200・300	Max.0.99MPa （真空：1.3×10^-6kPa）	0.01μm （捕集効率99.99％）
カートリッジタイプストレート形	SFB100	Max.0.99MPa （真空：1.3×10^-6kPa）	0.01μm （捕集効率99.99％）
カートリッジタイプストレート形	SFB200	Max.0.99MPa （真空：1.3×10^-6kPa）	120μm
ディスポーザブルタイプストレート形	SFB300	Max.0.99MPa （真空：1.3×10^-6kPa）	0.01μm （捕集効率99.99％）
ディスポーザブルタイプ多段ディスク形	SFC100	Max.0.99MPa （真空：1.3×10^-6kPa）	0.01μm （捕集効率99.99％）

クリーンガスフィルタSF

タイプ	シリーズ	ダウンロード
カートリッジタイプディスク形	SFA100・200・300
カートリッジタイプストレート形	SFB100
カートリッジタイプストレート形	SFB200
ディスポーザブルタイプストレート形	SFB300
ディスポーザブルタイプ多段ディスク形	SFC100

クリーンエアフィルタ　中空糸エレメント SFD

	・中空糸エレメント内蔵。・圧力降下：0.03MPa（1次圧0.7MPa、最大流量時）・環境負荷化学物質削減RoHS対応。

ダウンロード CAD 取扱説明書カタログPDF

その他資料	安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項　機種選定・技術資料　特定開発品情報グリーン対応（RoHS）

シリーズ	種類	使用圧力	ろ過度
SFD100	ディスポーザブル（エレメント交換不可）	MAX.1.0MPa	0.01μm （捕集効率：99.99%）
SFD200	カートリッジ型（エレメント交換可）	MAX.1.0MPa	0.01μm （捕集効率：99.99%）

クリーンエアフィルタ　中空糸エレメントSFD

シリーズ	種類	ダウンロード
SFD100	ディスポーザブル（エレメント交換不可）
SFD200	カートリッジ型（エレメント交換可）

クリーンエアモジュール LLB

・クリーン機器をモジュール化（配管工数削減／省スペース）。
　手軽にクリーンエアが得られます。
・ろ過度：0.01μm（捕集効率99.99％）。
・流体接触部：ノングリース、シリコーンフリー。
・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
・24種類の組合せが可能。

注）入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1～1.6.1相当

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その他資料	安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項　機種選定・技術資料　特定開発品情報グリーン対応（RoHS）

シリーズ	使用流体	設定圧力	流量範囲 L/min（ANR）
LLB3	クリーンエア N₂ガス ^注）	0.05～0.4MPa	5～100
LLB4	クリーンエア N₂ガス ^注）	0.05～0.4MPa	50～500

シリーズ	ダウンロード
LLB3
LLB4

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