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クリーンガスフィルタ・エアフィルタ
クリーンガスフィルタ SF
![]() |
・エレメント交換が可能なカートリッジタイプ。
(SFA100・200・300,SFB100) ・半導体プロセス用にコンパクトなディスポーザブルタイプ。 (SFB300,SFC100) |
その他資料 |
---|
タイプ | シリーズ | 使用圧力 | ろ過度 |
---|---|---|---|
カートリッジタイプ ディスク形 |
SFA100・200・300 |
Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) |
0.01μm (捕集効率99.99%) |
カートリッジタイプ ストレート形 |
SFB100 |
Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) |
0.01μm (捕集効率99.99%) |
カートリッジタイプ ストレート形 |
SFB200 |
Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) |
120μm |
ディスポーザブルタイプ ストレート形 |
SFB300 |
Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) |
0.01μm (捕集効率99.99%) |
ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 |
SFC100 |
Max.0.99MPa (真空:1.3×10-6kPa) |
0.01μm (捕集効率99.99%) |
クリーンガスフィルタSF
タイプ | シリーズ | ダウンロード |
---|---|---|
カートリッジタイプ ディスク形 |
SFA100・200・300 |
|
カートリッジタイプ ストレート形 |
SFB100 |
|
カートリッジタイプ ストレート形 |
SFB200 |
|
ディスポーザブルタイプ ストレート形 |
SFB300 |
|
ディスポーザブルタイプ 多段ディスク形 |
SFC100 |
|
クリーンエアフィルタ 中空糸エレメント SFD
![]() |
・中空糸エレメント内蔵。
・圧力降下:0.03MPa(1次圧0.7MPa、最大流量時) ・環境負荷化学物質削減RoHS対応。 |
その他資料 |
---|
シリーズ | 種類 | 使用圧力 | ろ過度 |
---|---|---|---|
SFD100 |
ディスポーザブル (エレメント交換不可) |
MAX.1.0MPa |
0.01μm (捕集効率:99.99%) |
SFD200 |
カートリッジ型 (エレメント交換可) |
MAX.1.0MPa |
0.01μm (捕集効率:99.99%) |
クリーンエアフィルタ 中空糸エレメントSFD
シリーズ | 種類 | ダウンロード |
---|---|---|
SFD100 | ディスポーザブル (エレメント交換不可) |
|
SFD200 | カートリッジ型 (エレメント交換可) |
|
クリーンエアモジュール LLB
![]() |
・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。
手軽にクリーンエアが得られます。 ・ろ過度:0.01μm(捕集効率99.99%)。 ・流体接触部:ノングリース、シリコーンフリー。 ・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。 ・24種類の組合せが可能。 注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1~1.6.1相当 |
その他資料 |
---|
シリーズ | 使用流体 | 設定圧力 | 流量範囲 L/min(ANR) |
---|---|---|---|
LLB3 |
クリーンエア N2ガス 注) |
0.05~0.4MPa | 5~100 |
LLB4 |
クリーンエア N2ガス 注) |
0.05~0.4MPa | 50~500 |
クリーンエアモジュールLLB
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
LLB3 |
|
LLB4 |
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