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製品情報 » WEBカタログ » クリーン／低発塵 » モジュラF.R./圧力制御機器

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製品一覧

方向制御機器
1. パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ
2. パイロット式3ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
3. 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
4. 省配線フィールドバスシステム(シリアル伝送システム)
5. エアオペレートバルブ
6. メカニカルバルブ/ハンドバルブ
7. パワーバルブ
8. ISOバルブ
9. 防爆バルブ
エアシリンダ
1. 標準形エアシリンダ（丸形）
2. 標準形エアシリンダ（角形カバー）
3. コンパクトエアシリンダ
4. 耐環境仕様シリンダ
5. フローティングジョイント／ロッドエンド
6. エアハイドロユニット
7. メカジョイント式ロッドレスシリンダ
8. マグネット式ロッドレスシリンダ
9. テーブル付シリンダ
10. ガイド付シリンダ（MGシリーズ）
11. ガイド付シリンダ（CXシリーズ）
12. ファインロックシリンダ
13. ロック付シリンダ／エンドロック付シリンダ
14. 特殊シリンダ
15. クランプシリンダ
16. ピンシフトシリンダ
17. ストッパシリンダ
18. 計測シリンダ
19. バルブ付エアシリンダ
20. ISOシリンダ
21. ショックアブソーバ
22. オートスイッチ
23. アクチュエータ位置センサ
24. シリンダスピードチェッカー
ロータリアクチュエータ/エアチャック
1. ロータリアクチュエータベーンタイプ
2. ロータリアクチュエータラックピニオンタイプ
3. エアチャック（平行開閉形）
4. エアチャック（支点開閉形）
5. オートスイッチ
電動アクチュエータ/電動シリンダ
1. カードモータ
2. スライダタイプ
3. ロッドタイプ／ガイド付ロッドタイプ
4. スライドテーブル
5. ミニチュア
6. ロータリテーブル
7. グリッパ
8. コントローラ／ドライバ
9. 環境
10. モータレス仕様
11. オーダーメイド
12. 電動アクチュエータ・シリンダ
13. ムービングコイルアクチュエータ
真空用機器
1. 真空エジェクタ・真空ポンプシステム
2. 真空エジェクタ
3. 真空破壊弁ユニット
4. エアサクションフィルタ
5. 真空パッド
6. 特殊パッド
7. サクションアシストバルブ
8. バキュームフロー
9. 真空レギュレータ
10. 真空システム用関連機器
圧縮空気清浄化機器
1. アフタクーラ/エアタンク
2. エアドライヤ
3. 圧縮空気清浄化フィルタ
4. オートドレン／差圧計
モジュラF.R.L./圧力制御機器
1. モジュラF.R.L.
2. レギュレータ
3. 電空レギュレータ
4. 比例弁
5. 増圧弁
潤滑機器
1. 潤滑機器
管継手＆チューブ
1. 汎用管継手
2. 汎用管継手（Sカプラー／マルチコネクタ）
3. 特殊環境用管継手
4. 特殊環境用管継手 (クリーン／フッ素樹脂)
5. チューブ
6. チューブ（特殊環境用チューブ）
7. チューブ (フッ素樹脂／クリーン)
8. 付属関連機器
駆動制御機器
1. 汎用スピードコントローラ
2. 低速制御用スピードコントローラ
3. 特殊環境用スピードコントローラ
4. 特殊機能スピードコントローラ
5. 工具操作形スピードコントローラ
6. 省エアスピードコントローラ／エアセービングバルブ
7. 駆動制御関連機器
サイレンサ/エキゾーストクリーナ/ブローガン/圧力計
1. サイレンサ
2. エキゾーストクリーナ
3. ブローガン
4. 圧力計
スイッチ/センサ/コントローラ
1. 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ一体型）
2. 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ分離型）
3. 機械式圧力スイッチ
4. 電子式フロースイッチ／センサ
5. 機械式フロースイッチ
6. コントローラ
静電気対策機器/
イオナイザー(除電機器)
1. 静電気対策機器/イオナイザー（除電機器）
流体制御用機器
1. 2・3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
2. 2･3ポートソレノイドバルブ
3. 5.0MPa対応2･3ポートソレノイドバルブ
4. 汎用流体制御用2・3ポートバルブ
5. クーラント用バルブ
6. 水性・溶剤系流体用バルブ
薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ
1. 薬液用バルブ
2. 管継手／ニードルバルブ
3. チューブ
プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
1. プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
温調機器
1. サーモチラー（循環液温調装置）
2. サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
3. 空気温調機
プロセスガス用機器
1. プロセスガス用機器
高真空機器
1. 高真空バルブ
2. スリットバルブ
3. 真空ロッドレスシリンダ
工業用フィルタ/焼結金属エレメント
1. 工業用フィルタ
2. 焼結金属エレメント
計装用補助機器
1. ポジショナ
2. 減圧弁
3. リレー／バルブ
4. 電ー空変換器
5. アクチュエータ
6. 検出変換器
7. ソレノイドバルブ
8. 配管材
油圧機器
1. 油圧シリンダ
2. 油圧用機器

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モジュラF.R./圧力制御機器

エアフィルタ 10-/21-AF

	クリーンシリーズ

ダウンロード CAD カタログPDF(182KB)

その他資料	安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項 F.R.L/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	管接続口径	ろ過度 (μm)
10-AF20～60	1/8， 1/4， 3/8， 1/2， 3/4，1	5
21-AF20～60	1/8， 1/4， 3/8， 1/2， 3/4，1	5

シリーズ	ダウンロード
10-AF20～60
21-AF20～60

ミストセパレータ 10-/21-AFM

	クリーンシリーズ

ダウンロード CAD カタログPDF(173KB)

その他資料	安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項 F.R.L/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	管接続口径	ろ過度 (μm)
10-AFM20～40	1/8，1/4， 3/8， 1/2， 3/4	0.3
21-AFM20～40	1/8，1/4， 3/8， 1/2， 3/4	0.3

ミストセパレータ10-/21-AFM

シリーズ	ダウンロード
10-AFM20～40
21-AFM20～40

マイクロミストセパレータ 10-/21-AFD

	クリーンシリーズ

ダウンロード CAD カタログPDF(174KB)

その他資料	安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項 F.R.L/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	管接続口径	ろ過度 (μm)
10-AFD20～40	1/8，1/4，3/8，1/2，3/4	0.01
21-AFD20～40	1/8，1/4，3/8，1/2，3/4	0.01

マイクロミストセパレータ10-/21-AFD

シリーズ	ダウンロード
10-AFD20～40
21-AFD20～40

レギュレータ 10-/21-AR

	クリーンシリーズ

ダウンロード CAD カタログPDF(222KB)

その他資料	安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項 F.R.L/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	管接続口径	設定圧力 (MPa)
10-AR20～60	1/8，1/4，3/8，1/2，3/4，1	0.05～0.85
21-AR20～60	1/8，1/4，3/8，1/2，3/4，1	0.05～0.85

シリーズ	ダウンロード
10-AR20～60
21-AR20～60

逆流機能付レギュレータ 10-/21-AR

	クリーンシリーズ

ダウンロード CAD カタログPDF(222KB)

その他資料	安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項 F.R.L/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	管接続口径	設定圧力 (MPa)
10-AR20K～60K	1/8，1/4，3/8，1/2，3/4，1	0.05～0.85
21-AR20K～60K	1/8，1/4，3/8，1/2，3/4，1	0.05～0.85

逆流機能付レギュレータ10-/21-AR

シリーズ	ダウンロード
10-AR20K～60K
21-AR20K～60K

フィルタレギュレータ 10-/21-AW

	クリーンシリーズ

ダウンロード CAD カタログPDF(277KB)

その他資料	安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項 F.R.L/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	管接続口径	設定圧力 (MPa)	ろ過度 (μm)
10-AW20～40	1/8，1/4，3/8，1/2，3/4	0.05～0.85	5
21-AW20～40	1/8，1/4，3/8，1/2，3/4	0.05～0.85	5

フィルタレギュレータ10-/21-AW

シリーズ	ダウンロード
10-AW20～40
21-AW20～40

逆流機能付フィルタレギュレータ 10-/21-AW□K

	クリーンシリーズ

ダウンロード CAD カタログPDF(277KB)

その他資料	安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項 F.R.L/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	管接続口径	設定圧力 (MPa)	ろ過度 (μm)
10-AW20K～40K	1/8，1/4，3/8，1/2，3/4	0.05～0.85	5
21-AW20K～40K	1/8，1/4，3/8，1/2，3/4	0.05～0.85	5

逆流機能付フィルタレギュレータ10-/21-AW□K

シリーズ	ダウンロード
10-AW20K～40K
21-AW20K～40K

ミストセパレータレギュレータ 10-/21-AWM

	クリーンシリーズ

ダウンロード CAD カタログPDF(244KB)

その他資料	安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項 F.R.L/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	管接続口径	設定圧力 (MPa)	ろ過度 (μm)
10-AWM20～40	1/8，1/4，3/8，1/2	0.05～0.85	0.3
21-AWM20～40	1/8，1/4，3/8，1/2	0.05～0.85	0.3

ミストセパレータレギュレータ10-/21-AWM

シリーズ	ダウンロード
10-AWM20～40
21-AWM20～40

マイクロミストセパレータレギュレータ 10-/21-AWD

	クリーンシリーズ

ダウンロード CAD カタログPDF(244KB)

その他資料	安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項 F.R.L/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	管接続口径	設定圧力 (MPa)	ろ過度 (μm)
10-AWD20～40	1/8，1/4，3/8，1/2	0.05～0.85	0.01
21-AWD20～40	1/8，1/4，3/8，1/2	0.05～0.85	0.01

マイクロミストセパレータレギュレータ10-/21-AWD

シリーズ	ダウンロード
10-AWD20～40
21-AWD20～40

直動精密レギュレータ 10-/21-ARP

	クリーンシリーズ・設定感度0.2％F.S.以内。・省エネルギー空気消費量80％減 (当社比) ・繰り返し性±1％F.S.以内 (or±3kPa以内) ・逆流機能付 (ARP20K・30K・40K) ・電磁弁とシリンダ間に取付可能。

ダウンロード CAD カタログPDF(532KB)

その他資料	安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項 F.R.L/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	管接続口径	設定圧力範囲
10-/21-ARP20 (K)	1/8・1/4	0.005～0.4MPa 0.005～0.2MPa 0.005～0.6MPa
10-/21-ARP30 (K)	1/4・3/8	0.005～0.4MPa 0.005～0.2MPa 0.005～0.6MPa
10-/21-ARP40 (K)	1/4・3/8・1/2	0.005～0.4MPa 0.005～0.2MPa 0.005～0.6MPa

直動精密レギュレータ10-/21-ARP

シリーズ	ダウンロード
10-/21-ARP20 (K)
10-/21-ARP30 (K)
10-/21-ARP40 (K)

精密レギュレータ 10-IR

	クリーンシリーズ・テンションコントロール・接圧コントロール・設定感度：0.2% F.S.以内・繰返性±：0.5% F.S.以内

ダウンロード CAD カタログPDF(377KB)

その他資料	安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項 F.R.L/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	管接続口径	設定圧力 (MPa)
10-IR1000	1/8	0.005～0.2 0.005～0.4 0.005～0.8
10-IR2000	1/4	0.005～0.2 0.005～0.4 0.005～0.8
10-IR3000	1/4，3/8，1/2	0.01～0.2 0.01～0.4 0.01～0.8

精密レギュレータ10-IR

シリーズ	ダウンロード
10-IR1000
10-IR2000
10-IR3000

真空レギュレータ 10-IRV

クリーンシリーズ

・真空ラインの圧力制御が可能。
・一面配管仕様をシリーズ化。
・質量20％減（従来比）
・ワンタッチ管継手内蔵。
・クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易。
・圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能（標準配管仕様のみ）
・圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度（60°刻み）変更が容易。

ダウンロード CAD カタログPDF(968KB)

その他資料	安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項 F.R.L/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	管接続口径	設定圧力 (kPa)
10-IRV	φ6，φ8，φ1/4，φ5/16	-100～-1.3
10-IRV20	φ6，φ8，φ10，φ1/4，φ5/16，φ3/8	-100～-1.3

シリーズ	ダウンロード
10-IRV
10-IRV20

クリーンレギュレータ SRH

	・コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ。・禁油。・2種類のダイヤフラム材質：PTFE、フッ素ゴム。

ダウンロード CAD 取扱説明書カタログPDF

その他資料	安全上のご注意　 F.R.L/共通注意事項　圧力制御機器/バリエーション特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	リリーフ機構	管接続口径	設定圧力（MPa）
SRH	ノンリリーフ	Rc1/8，1/4，3/8，1/2 9/16-18UNF，7/8-14UNF	低圧タイプ：0.02～0.2 高圧タイプ：0.05～0.7
SRH	リリーフ	Rc1/8，1/4，3/8，1/2	低圧タイプ：0.02～0.2 高圧タイプ：0.05～0.7

クリーンレギュレータSRH

シリーズ	リリーフ機構	ダウンロード
SRH	ノンリリーフ
SRH	リリーフ

精密クリーンレギュレータ SRP

	・高精度・低消費流量のステンレスレギュレータ。・ブリード量0.5L/min（ANR）以下（出口圧力：0.2MPa時）・設定感度：0.3％F.S. ・繰返し性：1％F.S.

ダウンロード CAD カタログPDF

その他資料	安全上のご注意　 F.R.L/共通注意事項　圧力制御機器/バリエーション特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	管接続口径	設定圧力（MPa）
SRP	M5，1/8	低圧タイプ：0.005～0.2 高圧タイプ：0.01～0.4

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