WEBカタログ

・アルミボディ採用
　均一なベーキング温度
　軽量・コンパクト
　アウトガスが少ない
　重金属汚染が少ない
・ベローズ交換が可能

・ベローズ耐久性向上（フランジサイズ100、160）
・寿命：200万回
・装置の省スペース化が可能
　排気方向制限なし（弁体側←→ベローズ側 両方向可能）
　取付姿勢の自由度アップ
・軽量・コンパクト

・フッ素に強い。
・アウトガスが少ない。
・重金属汚染が少ない。

※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16～80は2017年9月に
　 モデルチェンジしました。
　 XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。

・ワンタッチ着脱（工具レス）

・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造。
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）

注）ストレート型にサイズ16はありません。

・最低使用圧力：1×10^-6Pa(abs)
・リーク量：内部1.3×10^-9Pa・m³/s、外部1.3×10^-11Pa・m³/s
・2種の継手、めねじを用意
・消費電力：最大25％削減
・質量：最大18％削減　0.5kg→0.41kg

・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4（従来比）
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
・初期給気、主給気ともに流量調整可能。