WEBカタログ

製品情報 » WEBカタログ » 高真空機器 » 高真空バルブ

マイリストを開くマイリストガイド製品品番確認生産終了品のご案内

製品一覧

方向制御機器
1. パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ
2. パイロット式3ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
3. 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
4. 省配線フィールドバスシステム(シリアル伝送システム)
5. エアオペレートバルブ
6. メカニカルバルブ/中継機器
7. フィンガバルブ/ハンドバルブ/残圧抜き3ポート弁
8. ブローガン
9. パワーバルブ
10. ISOバルブ
11. 防爆バルブ
エアシリンダ
1. 標準形エアシリンダ（丸形）
2. 標準形エアシリンダ（角形カバー）
3. コンパクトエアシリンダ
4. 耐環境仕様シリンダ
5. フローティングジョイント／ロッドエンド
6. エアハイドロユニット
7. メカジョイント式ロッドレスシリンダ
8. マグネット式ロッドレスシリンダ
9. テーブル付シリンダ
10. ガイド付シリンダ（MGシリーズ）
11. ガイド付シリンダ（CXシリーズ）
12. ファインロックシリンダ
13. ロック付シリンダ／エンドロック付シリンダ
14. 特殊シリンダ
15. クランプシリンダ
16. ピンシフトシリンダ
17. ストッパシリンダ
18. 計測シリンダ
19. バルブ付エアシリンダ
20. ISOシリンダ
21. ショックアブソーバ
22. オートスイッチ
23. アクチュエータ位置センサ
24. シリンダスピードチェッカー
ロータリアクチュエータ/エアチャック
1. ロータリアクチュエータベーンタイプ
2. ロータリアクチュエータラックピニオンタイプ
3. エアチャック（平行開閉形）
4. エアチャック（支点開閉形）
5. 協働ロボット用エアチャック
6. オートスイッチ
電動アクチュエータ/電動シリンダ
1. カードモータ
2. バッテリレスアブソリュートエンコーダタイプ
3. スライダタイプ
4. ロッドタイプ／ガイド付ロッドタイプ
5. スライドテーブル
6. ミニチュア
7. ロータリテーブル
8. グリッパ
9. コントローラ／ドライバ
10. 環境
11. モータレス仕様
12. 電動アクチュエータ・シリンダ
13. オーダーメイド
真空用機器
1. 真空エジェクタ・真空ポンプシステム
2. 真空エジェクタ
3. 真空破壊弁ユニット
4. エアサクションフィルタ
5. 真空パッド
6. 特殊パッド
7. 協働ロボット用グリッパユニット
8. サクションアシストバルブ
9. バキュームフロー
10. 真空レギュレータ
11. 真空システム用関連機器
圧縮空気清浄化機器
1. アフタクーラ/エアタンク
2. エアドライヤ
3. 圧縮空気清浄化フィルタ
4. オートドレン／差圧計
モジュラF.R.L./圧力制御機器
1. モジュラF.R.L.
2. レギュレータ
3. 電空レギュレータ
4. 比例弁
5. 増圧弁
潤滑機器
1. 潤滑機器
管継手＆チューブ
1. 汎用管継手
2. 汎用管継手（Sカプラー／マルチコネクタ）
3. 特殊環境用管継手
4. 特殊環境用管継手 (クリーン／フッ素樹脂)
5. チューブ
6. チューブ（特殊環境用チューブ）
7. チューブ (フッ素樹脂／クリーン)
8. 付属関連機器
駆動制御機器
1. 汎用スピードコントローラ
2. 低速制御用スピードコントローラ
3. 特殊環境用スピードコントローラ
4. 特殊機能スピードコントローラ
5. 工具操作形スピードコントローラ
6. 省エアスピードコントローラ／エアセービングバルブ
7. 駆動制御関連機器
サイレンサ/エキゾーストクリーナ/ブローガン/圧力計
1. サイレンサ
2. エキゾーストクリーナ
3. ブローガン
4. 圧力計
スイッチ/センサ/コントローラ
1. 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ一体型）
2. 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ分離型）
3. 機械式圧力スイッチ
4. 電子式フロースイッチ／センサ
5. 機械式フロースイッチ
6. コントローラ
静電気対策機器/
イオナイザー(除電機器)
1. 静電気対策機器/イオナイザー（除電機器）
流体制御用機器
1. 2・3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
2. 2･3ポートソレノイドバルブ
3. 5.0MPa対応2･3ポートソレノイドバルブ
4. 汎用流体制御用2・3ポートバルブ
5. クーラント用バルブ
6. 水性・溶剤系流体用バルブ
薬液用バルブ/管継手＆ニードルバルブ/チューブ
1. 薬液用バルブ
2. 管継手／ニードルバルブ
3. チューブ
プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
1. プロセスポンプ（ダイヤフラム式ポンプ）
温調機器
1. サーモチラー（循環液温調装置）
2. サーモコン／サーモ恒温槽（ペルチェ式温調装置）
3. 空気温調機
プロセスガス用機器
1. プロセスガス用機器
高真空機器
1. 高真空バルブ
2. その他
3. スリットバルブ
4. 真空ロッドレスシリンダ
工業用フィルタ/焼結金属エレメント
1. 工業用フィルタ
2. 焼結金属エレメント
計装用補助機器
1. ポジショナ
2. 減圧弁
3. リレー／バルブ
4. 電ー空変換器
5. アクチュエータ
6. 検出変換器
7. ソレノイドバルブ
8. 配管材
油圧機器
1. 油圧シリンダ
2. 油圧用機器

テーマ・業種別カタログ

デジタルカタログ閲覧には
Adobe Flash Player 16以上を
推奨しますので、下のボタンからダウンロードしてください。

高真空バルブ

アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G

	・アルミボディ採用　均一なベーキング温度　軽量・コンパクト　アウトガスが少ない　重金属汚染が少ない・ベローズ交換が可能

ダウンロード CAD 取扱説明書カタログPDF

その他資料	安全上のご注意　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	操作方式	弁形式	軸シール方式	用途	フランジサイズ
XLA-2	エアオペレート	単動（N.C.）	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～80
XLAV-2（電磁弁付）	エアオペレート	単動（N.C.）	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～80
XLC-2	エアオペレート	複動	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～80
XLF-2	エアオペレート	単動（N.C.）	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～80
XLFV-2（電磁弁付）	エアオペレート	単動（N.C.）	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～80
XLG-2	エアオペレート	複動	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～80

アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G

シリーズ	ダウンロード
XLA-2
XLAV-2（電磁弁付）
XLC-2
XLF-2
XLFV-2（電磁弁付）
XLG-2

アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160（-1）-X152

	・ベローズ耐久性向上（フランジサイズ100、160）・寿命：200万回・装置の省スペース化が可能　排気方向制限なし（弁体側←→ベローズ側両方向可能）　取付姿勢の自由度アップ・軽量・コンパクト

ダウンロード CAD カタログPDF

その他資料	安全上のご注意　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	操作方式	弁形式	軸シール方式	用途	フランジサイズ
XLA-100・160-X152	エアオペレート	単動（N.C.）	ベローズシール	ダストフリークリーン化	100，160
XLC-100・160-1-X152	エアオペレート	複動	ベローズシール	ダストフリークリーン化	100，160

アルミ製高真空L型バルブXLA/C-100・160（-1）-X152

シリーズ	ダウンロード
XLA-100・160-X152
XLC-100・160-1-X152

アルミ製高真空L型バルブ XL□

	・フッ素に強い。・アウトガスが少ない。・重金属汚染が少ない。 ※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16～80は2017年9月に　モデルチェンジしました。　 XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。

ダウンロード CAD 取扱説明書自己宣言書カタログPDF

その他資料	安全上のご注意　システム構成/バリエーション　特定開発品情報　オートスイッチ仕様グリーン対応（RoHS）

シリーズ	操作方式	弁形式	軸シール方式	用途	フランジサイズ
XLA	エアオペレート	単動（N.C.）	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～160
XLAV（電磁弁付）	エアオペレート	単動（N.C.）	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～160
XLC	エアオペレート	複動	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～160
XLCV（電磁弁付）	エアオペレート	複動	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～80
XLF	エアオペレート	単動（N.C.）	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～160
XLFV（電磁弁付）	エアオペレート	単動（N.C.）	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～160
XLG	エアオペレート	複動	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～160
XLGV（電磁弁付）	エアオペレート	複動	Oリングシール	高速作動高作動回数	16～80
XLD	エアオペレート	単動（N.C.）	ベローズシール Oリングシール	ダスト巻き上げ防止ポンプの過負荷防止	25～160
XLDV（電磁弁付）	エアオペレート	単動（N.C.）	ベローズシール Oリングシール	ダスト巻き上げ防止ポンプの過負荷防止	25～160
XLH	手動	手動	ベローズシール	ダストフリークリーン化	16～50
XLS	電磁式	単動（N.C.）	(ベローズバランス)	エア不要可搬装置用	16，25

アルミ製高真空L型バルブXL□

シリーズ	ダウンロード
XLA
XLAV（電磁弁付）
XLC
XLCV（電磁弁付）
XLF
XLFV（電磁弁付）
XLG
XLGV（電磁弁付）
XLD
XLDV（電磁弁付）
XLH
XLS

アルミ製ワンタッチ着脱高真空L型バルブ XLAQ・XLDQ

	・ワンタッチ着脱（工具レス）

ダウンロード CAD カタログPDF

その他資料	安全上のご注意　システム構成/バリエーション　特定開発品情報　オートスイッチ仕様グリーン対応（RoHS）

シリーズ	操作方式	軸シール方式	弁形式	材質	フランジサイズ
XLAQ	エアオペレート	ベローズシール	単動（N.C.）	ボディ：アルミベローズ：SUS316L	16～50
XLDQ	エアオペレート	ベローズシール Oリングシール	単動（N.C.）	ボディ：アルミベローズ：SUS316L	40，50

アルミ製ワンタッチ着脱高真空L型バルブXLAQ・XLDQ

シリーズ	ダウンロード
XLAQ
XLDQ

ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY

	・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造。・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）注）ストレート型にサイズ16はありません。

ダウンロード CAD 取扱説明書カタログPDF

その他資料	安全上のご注意　システム構成/バリエーション　特定開発品情報　オートスイッチ仕様グリーン対応（RoHS）

シリーズ	操作方式	軸シール方式	弁形式	材質	フランジサイズ
XMA/XYA	エアオペレート	ベローズシール	単動（N.C.）	ボディ：SCS13（SUS304相当）ベローズ：SUS316L	16～80 注）
XMC/XYC	エアオペレート	ベローズシール	複動	ボディ：SCS13（SUS304相当）ベローズ：SUS316L	16～80 注）
XMD/XYD	エアオペレート	ベローズシール Oリングシール	単動（N.C.）	ボディ：SCS13（SUS304相当）ベローズ：SUS316L	25～80
XMH/XYH	手動	ベローズシール	手動	ボディ：SCS13（SUS304相当）ベローズ：SUS316L	16～50 注）

ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブXM/XY

シリーズ	ダウンロード
XMA/XYA
XMC/XYC
XMD/XYD
XMH/XYH

常時閉型高真空電磁弁 XSA

	・最低使用圧力：1×10^-6Pa(abs) ・リーク量：内部1.3×10^-9Pa・m³/s、外部1.3×10^-11Pa・m³/s ・2種の継手、めねじを用意・消費電力：最大25％削減・質量：最大18％削減　0.5kg→0.41kg

ダウンロード CAD 取扱説明書自己宣言書カタログPDF

その他資料	安全上のご注意　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	弁形式	使用流体	配管接続方式	配管サイズ
XSA	常時閉	空気不活性ガス	フェースシール継手コンプレッション継手	1/4, 3/8
XSA	常時閉	空気不活性ガス	Rc, NPTめねじ	1/8, 1/4, 3/8

シリーズ	ダウンロード
XSA
XSA

スムーズベントバルブ XVD

	・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4（従来比）・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。・初期給気、主給気ともに流量調整可能。

ダウンロード CAD 取扱説明書カタログPDF

その他資料	安全上のご注意　システム構成/バリエーション　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）

シリーズ	弁形式	使用流体	配管接続方式	配管サイズ
XVD	常時閉（加圧開・スプリングシール）	窒素、空気、不活性ガス等	VCR^® Swagelok^®	1/4B