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高真空バルブ
アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G
![]() |
・アルミボディ採用
均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ・ベローズ交換が可能 |
その他資料 |
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シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 |
用途 | フランジ サイズ |
---|---|---|---|---|---|
XLA-2 |
エア オペレート |
単動 (N.C.) |
ベローズシール |
ダストフリー クリーン化 |
16~80 |
XLAV-2(電磁弁付) |
エア オペレート |
単動 (N.C.) |
ベローズシール |
ダストフリー クリーン化 |
16~80 |
XLC-2 |
エア オペレート |
複動 | ベローズシール |
ダストフリー クリーン化 |
16~80 |
XLF-2 |
エア オペレート |
単動 (N.C.) |
Oリングシール |
高速作動 高作動回数 |
16~80 |
XLFV-2(電磁弁付) |
エア オペレート |
単動 (N.C.) |
Oリングシール |
高速作動 高作動回数 |
16~80 |
XLG-2 |
エア オペレート |
複動 | Oリングシール |
高速作動 高作動回数 |
16~80 |
アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G
シリーズ | ダウンロード |
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XLA-2 |
|
XLAV-2(電磁弁付) |
|
XLC-2 |
|
XLF-2 |
|
XLFV-2(電磁弁付) |
|
XLG-2 |
|
アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160(-1)-X152
![]() |
・ベローズ耐久性向上(フランジサイズ100、160)
・寿命:200万回 ・装置の省スペース化が可能 排気方向制限なし(弁体側←→ベローズ側 両方向可能) 取付姿勢の自由度アップ ・軽量・コンパクト |
その他資料 |
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シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 |
用途 | フランジ サイズ |
---|---|---|---|---|---|
XLA-100・160-X152 |
エア オペレート |
単動 (N.C.) |
ベローズシール |
ダストフリー クリーン化 |
100,160 |
XLC-100・160-1-X152 |
エア オペレート |
複動 | ベローズシール |
ダストフリー クリーン化 |
100,160 |
アルミ製高真空L型バルブXLA/C-100・160(-1)-X152
シリーズ | ダウンロード |
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XLA-100・160-X152 |
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XLC-100・160-1-X152 |
|
アルミ製高真空L型バルブ XL□
![]() |
・フッ素に強い。
・アウトガスが少ない。 ・重金属汚染が少ない。 ※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16~80は2017年9月に モデルチェンジしました。 XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。 |
その他資料 |
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シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 |
用途 | フランジ サイズ |
---|---|---|---|---|---|
XLA |
エア オペレート |
単動 (N.C.) |
ベローズシール |
ダストフリー クリーン化 |
16~160 |
XLAV(電磁弁付) |
エア オペレート |
単動 (N.C.) |
ベローズシール |
ダストフリー クリーン化 |
16~160 |
XLC |
エア オペレート |
複動 | ベローズシール |
ダストフリー クリーン化 |
16~160 |
XLCV(電磁弁付) |
エア オペレート |
複動 | ベローズシール |
ダストフリー クリーン化 |
16~80 |
XLF |
エア オペレート |
単動 (N.C.) |
Oリングシール |
高速作動 高作動回数 |
16~160 |
XLFV(電磁弁付) |
エア オペレート |
単動 (N.C.) |
Oリングシール |
高速作動 高作動回数 |
16~160 |
XLG |
エア オペレート |
複動 | Oリングシール |
高速作動 高作動回数 |
16~160 |
XLGV(電磁弁付) |
エア オペレート |
複動 | Oリングシール |
高速作動 高作動回数 |
16~80 |
XLD |
エア オペレート |
単動 (N.C.) |
ベローズシール Oリングシール |
ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負荷防止 |
25~160 |
XLDV(電磁弁付) |
エア オペレート |
単動 (N.C.) |
ベローズシール Oリングシール |
ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負荷防止 |
25~160 |
XLH | 手動 | 手動 | ベローズシール |
ダストフリー クリーン化 |
16~50 |
XLS | 電磁式 |
単動 (N.C.) |
(ベローズバランス) |
エア不要 可搬装置用 |
16,25 |
アルミ製高真空L型バルブXL□
シリーズ | ダウンロード |
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XLA |
|
XLAV(電磁弁付) |
|
XLC |
|
XLCV(電磁弁付) |
|
XLF |
|
XLFV(電磁弁付) |
|
XLG |
|
XLGV(電磁弁付) |
|
XLD |
|
XLDV(電磁弁付) |
|
XLH |
|
XLS |
|
アルミ製ワンタッチ着脱 高真空L型バルブ XLAQ・XLDQ
![]() |
・ワンタッチ着脱(工具レス)
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その他資料 |
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シリーズ | 操作方式 | 軸シール 方式 |
弁形式 | 材質 | フランジ サイズ |
---|---|---|---|---|---|
XLAQ |
エア オペレート |
ベローズシール |
単動 (N.C.) |
ボディ:アルミ ベローズ:SUS316L |
16~50 |
XLDQ |
エア オペレート |
ベローズシール Oリングシール |
単動 (N.C.) |
ボディ:アルミ ベローズ:SUS316L |
40,50 |
アルミ製ワンタッチ着脱 高真空L型バルブXLAQ・XLDQ
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
XLAQ |
|
XLDQ |
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ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ XM/XY
![]() |
・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造。
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ) 注)ストレート型にサイズ16はありません。 |
その他資料 |
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シリーズ | 操作方式 | 軸シール 方式 |
弁形式 | 材質 | フランジ サイズ |
---|---|---|---|---|---|
XMA/XYA |
エア オペレート |
ベローズシール |
単動 (N.C.) |
ボディ:SCS13(SUS304相当) ベローズ:SUS316L |
16~80 注) |
XMC/XYC |
エア オペレート |
ベローズシール | 複動 |
ボディ:SCS13(SUS304相当) ベローズ:SUS316L |
16~80 注) |
XMD/XYD |
エア オペレート |
ベローズシール Oリングシール |
単動 (N.C.) |
ボディ:SCS13(SUS304相当) ベローズ:SUS316L |
25~80 |
XMH/XYH | 手動 | ベローズシール | 手動 |
ボディ:SCS13(SUS304相当) ベローズ:SUS316L |
16~50 注) |
ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブXM/XY
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
XMA/XYA |
|
XMC/XYC |
|
XMD/XYD |
|
XMH/XYH |
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常時閉型高真空電磁弁 XSA
![]() |
・最低使用圧力:1×10-6Pa(abs)
・リーク量:内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s ・2種の継手、めねじを用意 ・消費電力:最大25%削減 ・質量:最大18%削減 0.5kg→0.41kg |
その他資料 |
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シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
---|---|---|---|---|
XSA | 常時閉 |
空気 不活性ガス |
フェースシール継手 コンプレッション継手 |
1/4, 3/8 |
XSA | 常時閉 |
空気 不活性ガス |
Rc, NPTめねじ | 1/8, 1/4, 3/8 |
常時閉型高真空電磁弁XSA
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
XSA |
|
XSA |
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スムーズベントバルブ XVD
![]() |
・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4(従来比)
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。 ・初期給気、主給気ともに流量調整可能。 |
その他資料 |
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シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
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XVD |
常時閉 (加圧開・スプリングシール) |
窒素、空気、 不活性ガス等 |
VCR® Swagelok® |
1/4B |
スムーズベントバルブXVD
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
XVD |
|
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