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プロセスガス用機器


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減圧弁（圧力調整器）　高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP

    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
    ・接ガス部電解研磨処理。
    ・外部メタルシール構造。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ名称形式ボディ材質
AP高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス二段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
SL高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
AZ高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
AK一般ガス用一段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用二段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用エアオペレート式減圧弁SUS316
BP高純度用背圧弁SUS316
BP一般ガス用背圧弁SUS316

ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AP

    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ガスの遮断弁として使用。
    ・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ名称形式ボディ材質
AP高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
AK一般ガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用メータリングバルブSUS316

チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP/AZ 一般ガス用/AK

    ［チェック弁］
    ・背圧による流体の逆流を防止。
    ・内部可動部品はOリングのみのシンプル構造。
    ・スプリングレス構造により振動、チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。
    ［バキュームジェネレータ］
    ・真空発生機器。
    ・ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。
    ［フロースイッチ］
    ・配管の破断等による過剰流量の検出。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ名称ボディ材質
APチェック弁SUS316Lダブルメルト
APバキュームジェネレータSUS316Lダブルメルト
APフロースイッチSUS316Lダブルメルト

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