WEBカタログ

・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
・接ガス部電解研磨処理。
・外部メタルシール構造。

・半導体から一般産業まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。
・流体に応じボディ材質はSUS316または黄銅の選択が可能。

・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ガスの遮断弁として使用。
・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、
　流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。

・精密洗浄およびクリーンルーム組立
・全品ヘリウムリーク検査済
・SEMI規格準拠
・作業者に優しい鍛造ボディ

［チェック弁］
・背圧による流体の逆流を防止。
・内部可動部品はOリングのみのシンプル構造。
・スプリングレス構造により振動、チャタリング等によるパーティクルの発生、
　下流側の圧力変動を抑制。
［バキュームジェネレータ］
・真空発生機器。
・ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。
［フロースイッチ］
・配管の破断等による過剰流量の検出。

・配管接続にRc, R, NPTをシリーズ化
・半導体から一般産業用途まで使用可能なスタンダードモデル
・精密洗浄を実施
・アクチュエータの高さを低くして、製品の小型、軽量化を実現（AK3542, 4542）
・操作ポートM5ねじ（AK3542, 4542）
・ハンドル構造の改良により、製品の小型、軽量化を実現（AK3652, 4652）
・ツマミ付丸ハンドルの採用により操作性、視認性がアップ（AK3652, 4652）

・半導体から一般産業用途まで使用可能なスタンダードモデル
・製品の小型、軽量化を実現
　質量：0.52kg、高さ：97.5mm
・内部容積の小設計化でガス溜まりを低減
・配管バリエーション
　コンプレッション継手、NPTめねじ、Rcねじから選択可