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プロセスガス用機器
減圧弁(圧力調整器) 高純度プロセスガス用 AP/SL/AP/AZ
![]() |
・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。 ・接ガス部電解研磨処理。 ・外部メタルシール構造。 |
その他資料 |
---|
シリーズ | 形式 | 用途 | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
---|---|---|---|---|---|
AP/SL | 一段式 | ライン用(小型) |
SUS316L ダブルメルト |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'',3/8'' |
AP/SL | 一段式 | ライン用 |
SUS316L ダブルメルト |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP/SL | 一段式 | バルクガス用 | SUS316L |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/2'',3/4'',1'' |
AP/SL | 一段式 | 一次側高圧用 |
SUS316L ダブルメルト |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP/SL | 一段式 | 負圧調整 |
SUS316L ダブルメルト |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP | 二段式 | 一次側高圧用 |
SUS316L ダブルメルト |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'',3/8'' |
AZ | 一段式 | ライン用 | SUS316L |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'',3/8'' 1/2'' |
AZ | 一段式 | 一次側高圧用 | SUS316L |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'',3/8'' 1/2'' |
AZ | 一段式 | 負圧調整 | SUS316L |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'',3/8'' 1/2'' |
減圧弁(圧力調整器) 高純度プロセスガス用AP/SL/AP/AZ
シリーズ | 形式 | ダウンロード |
---|---|---|
AP/SL | 一段式 |
|
AP/SL | 一段式 |
|
AP/SL | 一段式 |
|
AP/SL | 一段式 |
|
AP/SL | 一段式 |
|
AP | 二段式 |
|
AZ | 一段式 |
|
AZ | 一段式 |
|
AZ | 一段式 |
|
減圧弁(圧力調整器)/背圧弁 一般ガス用 AK/BP
![]() |
・半導体から一般産業まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。
・流体に応じボディ材質はSUS316または黄銅の選択が可能。 |
その他資料 |
---|
シリーズ | 形式 | 用途 | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
---|---|---|---|---|---|
AK | 一段式 | ライン用 |
SUS316 または黄銅 |
NPTめねじ コンプレッション 継手 |
1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 一次側高圧用 |
SUS316 または黄銅 |
NPTめねじ コンプレッション 継手 |
1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 負圧調整 |
SUS316 または黄銅 |
NPTめねじ コンプレッション 継手 |
1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 二段式 | 一次側高圧用 |
SUS316 または黄銅 |
NPTめねじ コンプレッション 継手 |
1/4'' |
BP | 背圧弁 | ― |
SUS316 または黄銅 |
NPTめねじ コンプレッション 継手 |
1/4'' |
減圧弁(圧力調整器)/背圧弁 一般ガス用AK/BP
シリーズ | 形式 | ダウンロード |
---|---|---|
AK | 一段式 |
|
AK | 一段式 |
|
AK | 一段式 |
|
AK | 二段式 |
|
BP | 背圧弁 |
|
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP
![]() |
・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ガスの遮断弁として使用。 ・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、 流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。 |
その他資料 |
---|
シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
---|---|---|---|---|
AP | エアオペレートタイプ |
SUS316L ダブルメルト |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP | マニュアルタイプ |
SUS316L ダブルメルト |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用AP
シリーズ | タイプ | ダウンロード |
---|---|---|
AP | エアオペレートタイプ |
|
AP | マニュアルタイプ |
|
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AZ
![]() |
・精密洗浄およびクリーンルーム組立
・全品ヘリウムリーク検査済 ・SEMI規格準拠 ・作業者に優しい鍛造ボディ |
その他資料 |
---|
シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
---|---|---|---|---|
AZ | エアオペレートタイプ | SUS316L |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'' 3/8'' 1/2 |
AZ | マニュアルタイプ | SUS316L |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'' 3/8'' 1/2 |
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用AZ
シリーズ | タイプ | ダウンロード |
---|---|---|
AZ | エアオペレートタイプ |
|
AZ | マニュアルタイプ |
|
チェック弁/バキュームジェネレータ/フロースイッチ AP
![]() |
[チェック弁]
・背圧による流体の逆流を防止。 ・内部可動部品はOリングのみのシンプル構造。 ・スプリングレス構造により振動、チャタリング等によるパーティクルの発生、 下流側の圧力変動を抑制。 [バキュームジェネレータ] ・真空発生機器。 ・ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。 [フロースイッチ] ・配管の破断等による過剰流量の検出。 |
その他資料 |
---|
シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
---|---|---|---|---|
AP | チェック弁 | SUS316Lダブルメルト |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'',3/8'' |
AP | バキュームジェネレータ | SUS316L |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/4'',3/8'' |
AP | フロースイッチ |
SUS316Lダブルメルト SUS316L |
フェースシール継手 チューブ溶接 |
1/2'',3/4'' |
チェック弁/バキュームジェネレータ/フロースイッチAP
シリーズ | タイプ | ダウンロード |
---|---|---|
AP | チェック弁 |
|
AP | バキュームジェネレータ |
|
AP | フロースイッチ |
|
ダイヤフラムバルブ 一般ガス用 AK
![]() |
・配管接続にRc, R, NPTをシリーズ化
・半導体から一般産業用途まで使用可能なスタンダードモデル ・精密洗浄を実施 ・アクチュエータの高さを低くして、製品の小型、軽量化を実現(AK3542, 4542) ・操作ポートM5ねじ(AK3542, 4542) ・ハンドル構造の改良により、製品の小型、軽量化を実現(AK3652, 4652) ・ツマミ付丸ハンドルの採用により操作性、視認性がアップ(AK3652, 4652) |
その他資料 |
---|
シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
---|---|---|---|---|
AK | エアオペレートタイプ | SUS316 |
コンプレッション継手 Rc, R, NPT |
1/4'',3/8'' |
AK | マニュアルタイプ | SUS316 |
コンプレッション継手 Rc, R, NPT |
1/4'',3/8'' |
ダイヤフラムバルブ 一般ガス用AK
シリーズ | タイプ | ダウンロード |
---|---|---|
AK | エアオペレートタイプ |
|
AK | マニュアルタイプ |
|
減圧弁/一般ガス用 AK1000T
![]() |
・半導体から一般産業用途まで使用可能なスタンダードモデル
・製品の小型、軽量化を実現 質量:0.52kg、高さ:97.5mm ・内部容積の小設計化でガス溜まりを低減 ・配管バリエーション コンプレッション継手、NPTめねじ、Rcねじから選択可 |
その他資料 |
---|
シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
---|---|---|---|---|
AK1000T | マニュアルタイプ | SUS316 |
コンプレッション継手 Rc, NPT |
1/4'',3/8'' |
減圧弁/一般ガス用AK1000T
シリーズ | タイプ | ダウンロード |
---|---|---|
AK1000T | マニュアルタイプ |
|
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