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写真大気開放弁付真空バルブ XLJ
-
・チャンバ内への粗引きポンプ（ロータリポンプ）の油の逆流防止
・大気開放弁一体構造による配管工数削減
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|
| XLJ | 電磁式 | 常時閉・真空パイロット | Oリングシール | 25，40 |
