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その他
大気開放弁付真空バルブ XLJ
![]() |
・チャンバ内への粗引きポンプ(ロータリポンプ)の油の逆流防止
・大気開放弁一体構造による配管工数削減 |
その他資料 |
---|
シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 |
フランジ サイズ |
---|---|---|---|---|
XLJ | 電磁式 | 常時閉・真空パイロット | Oリングシール | 25,40 |
大気開放弁付真空バルブXLJ
シリーズ | ダウンロード |
---|---|
XLJ |
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