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エアシリンダ 10-/11-/21-/22-CG1-Z

クリーン／低発塵 » エアシリンダ

    クリーンシリーズ

  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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安全上のご注意　適用オートスイッチ一覧
特長/基本仕様/クリーン共通注意事項　アクチュエータ/共通注意事項
オートスイッチ/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）
型式シリーズ作動方式チューブ内径 (mm)
標準形10-/11-/21-/22-CG1-Z複動片ロッド20，25，32，40，50，63，80，100
標準形10-/11-CG1W-Z　21-/22-CG1W複動両ロッド20，25，32，40，50，63，80，100
ダイレクトマウント形10-/11-CG1R-Z　21-/22-CG1R複動片ロッド20，25，32，40，50，63

アルミ製高真空L型バルブ XL□

高真空機器 » 高真空バルブ
半導体業界向機器 » 排気ライン
製品特長
    ・フッ素に強い。
    ・アウトガスが少ない。
    ・重金属汚染が少ない。

    ※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16～80は2017年9月に
    　 モデルチェンジしました。
    　 XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLAエア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		100・160
XLAV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		100・160
XLCエア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		100・160
XLCV（電磁弁付）エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		100・160
XLFエア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		（80）・100・160
XLFV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		（80）・100・160
XLGエア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		100・160
XLGV（電磁弁付）エア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		100・160
XLDエア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシール
Oリングシール		ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止		25～160
XLDV（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシール
Oリングシール		ダスト巻き上げ防止
ポンプの過負荷防止		25～160
XLH手動手動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～50
XLS電磁式単動
（N.C.）		(ベローズバランス)エア不要
可搬装置用		16，25

フィルタレギュレータ AW30・40-X2622

計装用補助機器 » 減圧弁
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » モジュラF.R.L.
モジュラF.R.L. » フィルタレギュレータ
    ・SUS316仕様＆特殊温度環境（－40℃）仕様
    ・外部使用部品材質：SUS316
    ・周囲および使用流体温度：－40～80℃
    ・NACE国際規格準拠
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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  • フィルタレギュレータ AW30・40-X2622
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    AW30・40-X2622検索結果を表示
安全上のご注意　F.R.L/共通注意事項　製品選定ガイド　オートメーション例
グリーン対応（RoHS）
シリーズ管接続口径設定圧力(MPa)ろ過度（μm）
AW30・40-X26221/4，3/8，1/2，3/40.05～0.855

冷凍式エアドライヤ IDU □E

圧縮空気清浄化機器 » エアドライヤ
安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項　機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　冷凍式エアドライヤ別置きのご提案
シリーズ定格入口条件処理空気量（m3/min［ANR］）50Hz処理空気量（m3/min［ANR］）60Hz適用エア
コンプレッサ（kW）		使用
冷媒		管接続口径冷凍機
出力
IDU3E55℃
0.7MPa		0.320.372.2R134a
（HFC）		Rc3/87.5kw未満
IDU4E55℃
0.7MPa		0.520.573.7R134a
（HFC）		Rc1/27.5kw未満
IDU6E55℃
0.7MPa		0.750.825.5R134a
（HFC）		Rc3/47.5kw未満
IDU8E55℃
0.7MPa		1.11.27.5R134a
（HFC）		Rc3/47.5kw未満
IDU11E55℃
0.7MPa		1.51.711R134a
（HFC）		Rc3/47.5kw未満
IDU15E155℃
0.7MPa		2.62.815R134a
（HFC）		Rc17.5kw未満
IDU22E55℃
0.7MPa		3.94.322R407C
（HFC）		R17.5kw未満
IDU37E55℃
0.7MPa		5.76.137R407C
（HFC）		R1 1/27.5kw未満
IDU55E55℃
0.7MPa		8.49.855R407C
（HFC）		R27.5kw未満
IDU75E55℃
0.7MPa		11.012.575R407C
（HFC）		R27.5kw未満

バキュームフロー ZH-X226/-X249/-X338

真空用機器 » バキュームフロー
エアブロー用機器 » エアブロー用機器
製品特長
    ・圧縮空気の供給により大流量ブロー＆バキュームが可能
    　ブロー：最大1,550L/min（ANR）
    　バキューム：最大880L/min（ANR）
    ・用途例
    　吸着搬送、クーラントブローにより切粉飛ばし、水滴の除去
  • 2D/3D CAD

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安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　機種選定
特定開発品情報　用途例　グリーン対応（RoHS）
シリーズ吸込流量
［L/min(ANR)]		吐出流量
［L/min(ANR)]		空気消費量
［L/min(ANR)]
ZH-X226405700297
ZH-X3388801,550570
ZH-X2498201,160340

非接触チャック XT661

真空用機器 » 特殊パッド
半導体業界向機器 » スリットバルブ・搬送
製品特長
    ・ワークの非接触搬送をアシスト
    ・ワーク吸引可能距離：10mm
    ・2種のタイプを用意
    　サイクロンタイプ：高リフト力：最大44Ｎ
    　ベルヌーイタイプ：把持時のワーク振幅：±0.01mm以下
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　バリエーション/機種選定
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）

真空パッド/長円形パッド ZP/ZP2

真空用機器 » 真空パッド
    ・長方形ワーク、縦長・横長のワークに対応
    ・パッド形状：長円平形
    ・取付接続：おねじ、めねじ
    ・真空取出方向：縦、横
    ・真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
    ・バッファ：なし、あり
    　バッファストローク（mm）：[ZP] 6, 10, 15, 20, 25
    　バッファストローク（mm）：[ZP2] 10, 20, 30, 40, 50
  • 2D/3D CAD

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安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　真空パッド/共通注意事項 　バリエーション 　機種選定　ZP：取付金具Ass'y（P189-194）　ZP2：取付金具Ass'y（P195-197）　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズパッド形状パッド径(mm)
ZP長円平形2×4, 3.5×7, 4×10
ZP2長円平形3.5×7,
4×10, 4×20, 4×30,
5×10, 5×20, 5×30,
6×10, 6×20, 6×30,
8×20, 8×30

直線形真空エジェクタ ZU□A

真空用機器 » 真空エジェクタ
製品特長
    ・小型・軽量
    　外形寸法：ø10.4、重さ：3.9g、全長：52mm
    ・ポート接続口径
    　ø4,ø6ワンタッチ管継手、Rc1/8めねじ、ø5/32″
    ・到達真空圧力(kPa)
    　Sタイプ：-90、-87、-85
    　Lタイプ：-48、-40
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 直線形真空エジェクタ ZU□A
    取扱説明書
    シリーズ ノズル径
    (mm)    		 検索結果を表示
    ZU03□A0.3検索結果を表示
    ZU04□A0.4検索結果を表示
    ZU05□A0.5検索結果を表示
    ZU07□A0.7検索結果を表示
安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　機種選定　バリエーション　グリーン対応（RoHS）
シリーズノズル径
(mm)		最大吸込流量
［L/min(ANR)]
Sタイプ		最大吸込流量
［L/min(ANR)]
Lタイプ		空気消費量
［L/min(ANR)]		適用パッド目安
(mm)
ZU03□A0.31.83.44.22〜8
ZU04□A0.43.25.87.72〜10
ZU05□A0.5713142〜13
ZU07□A0.71116282〜20

電動アクチュエータ／高剛性スライダタイプ　ボールねじ駆動 11-LEJS

クリーン／低発塵 » 電動アクチュエータ
電動アクチュエータ／電動シリンダ » 環境

    クリーンシリーズ


    ・薄形低重心：高さ寸法 約36％減（32mm減）
    ・最大可搬質量：85kg
    ・繰返し位置決め精度：±0.02mm
    ・最大加減速度：20000mm/S2
    ・クリーン仕様
    ・モータレス仕様を用意　詳細はこちら
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 電動アクチュエータ／高剛性スライダタイプ　ボールねじ駆動 11-LEJS
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    11-LEJS40検索結果を表示
    11-LEJS63検索結果を表示
  • 電動アクチュエータ／高剛性スライダタイプ　ボールねじ駆動 11-LEJS
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    11-LEJS40検索結果を表示
    11-LEJS63検索結果を表示
安全上のご注意　電動アクチュエータ/共通注意事項　オートスイッチ/共通注意事項　特長　バリエーション　簡易選定フロー　グリーン対応（RoHS）　CE,UKCA/UL対応表
仕様シリーズスト
ローク
（mm）		可搬
質量
（kg）
水平		速度
（mm/s）		ねじ
リード
（mm）
ACサーボモータ11-LEJS40200～
1200		MAX.
55		MAX.
1200		8，16
ACサーボモータ11-LEJS63300～
1500		MAX.
85		MAX.
1200		10，20

電動アクチュエータ/ロッドタイプ 耐塵・防滴（IP65相当）仕様 LEY-X5

電動アクチュエータ／電動シリンダ » 環境
    ・保護構造：IP65相当
    ・最大ストローク500mm※まで対応可能

    プログラムレスコントローラLECP1、LECP2シリーズは、2025年5月末に販売中止しました。
    置換え品として互換機能を有した単軸コントローラJXC51/61シリーズにて検討いただけますようお願いいたします。
    ※LECP1/LECP2モードを使用する際は、最新版のJXC51/61シリーズ
    　(Ver.3.60~)、ACT Controller2設定ソフトウェア(Ver.1.5.0.0)
    　が必要となります。
    　詳細はこちら
  • 2D/3D CAD

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安全上のご注意　電動アクチュエータ/共通注意事項　オートスイッチ/共通注意事項　特長　バリエーション　簡易選定フロー　グリーン対応（RoHS）　CE,UKCA/UL対応表　システム構成図　アクチュエータケーブル　I/Oケーブル
仕様シリーズストローク
(mm)		押当て推力
（N）		速度
（mm/s）		ねじリード
（mm）
ステップモータ
（サーボ DC24V）		LEY25-X530～400MAX.452MAX.4003，6，12
ステップモータ
（サーボ DC24V）		LEY32-X530～500MAX.707MAX.4004，8，16
サーボモータ
（DC24V）		LEY25A-X530～400MAX.130MAX.4003，6，12
ACサーボモータLEY25S-X530～400MAX.485MAX.9003，6，12
ACサーボモータLEY32S-X530～500MAX.588MAX.12005，10，20
ACサーボモータLEY63□□□-□P100～800MAX.1910MAX.10005，10，20
ACサーボモータ
(モータストレート)		LEY25DS-X530～400MAX.485MAX.9003，6，12
ACサーボモータ
(モータストレート)		LEY32DS-X530～500MAX.736MAX.10004，8，16
ACサーボモータ
(モータストレート)		LEY63D□□-□P100～800MAX.1910MAX.10005，10，20

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