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エアシリンダ 10-/11-/21-/22-CM2-Z
クリーン/低発塵 » エアシリンダ
型式 | シリーズ | 作動方式 | チューブ内径 (mm) |
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標準形 | 10-/11-/21-/22-CM2-Z | 複動片ロッド | 20,25,32,40 |
標準形 | 10-/11-/21-/22-CM2W-Z | 複動両ロッド | 20,25,32,40 |
ダイレクトマウント形 | 10-/11-/21-/22-CM2R-Z | 複動片ロッド | 20,25,32,40 |
エンドロック形 | 10-/11-/21-/22-CBM2 | 複動片ロッド | 20,25,32,40 |
スリットバルブ XGT
高真空機器 » スリットバルブ半導体業界向機器 » スリットバルブ・搬送

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・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
シリーズ | 使用環境圧力 Pa(abs) | 使用流体 | 開口窓寸法 (高さ×幅)mm | 作動圧力 MPa(G) |
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XGT | 大気圧~10-6 | 不活性ガス系の真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45~0.6 |
スムーズベントバルブ XVD
高真空機器 » 高真空バルブノングリース 窒素(N2)対応機器 » 高真空バルブ
半導体業界向機器 » N2ガス/エア供給ライン

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・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4(従来比)
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
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XVD | 常時閉 (加圧開・スプリングシール) | 窒素、空気、 不活性ガス等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |
アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160(-1)-X152
高真空機器 » 高真空バルブ半導体業界向機器 » 排気ライン
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・ベローズ耐久性向上(フランジサイズ100、160)
・寿命:200万回
・装置の省スペース化が可能
排気方向制限なし(弁体側←→ベローズ側 両方向可能)
取付姿勢の自由度アップ
・軽量・コンパクト
シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
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XLA-100・160-X152 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100,160 |
XLC-100・160-1-X152 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100,160 |
サーモチラー/インバータタイプ HRSH
産業用通信機器/無線システム » その他 RS232C 対応機器産業用通信機器/無線システム » その他 RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー(循環液温調装置)インバータタイプ
温調ライン » サーモチラー(循環液温調装置)インバータタイプ
半導体業界向機器(温調ライン) » サーモチラー(循環液温調装置)インバータタイプ
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・トリプルインバータで抜群の省エネ効果!
・屋外設置:防滴型(IPX4)
・最高使用周囲温度 45℃
・最低使用周囲温度 -20℃(空冷式の場合)
・温度安定性 ±0.1℃(負荷安定時)
・省スペース、軽量280kg(25kWタイプ)
・CEマーキング、ULに適合
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HRSH | 5~35℃ | 10kW, 15kW, 20kW 25kW, 28kW | ±0.1℃ | 空冷冷凍式 水冷冷凍式 | 清水 脱イオン水(純水) エチレングリコール水溶液(15%) |
冷凍式エアドライヤ IDF □E/F/D
圧縮空気清浄化機器 » エアドライヤ
※冷凍式エアドライヤIDF22E~IDF75Eシリーズは販売を中止いたします。
置換機種として、IDF60~90シリーズをご選定いただけるようお願いしま
す。
販売停止時期
IDF22E/IDFA22E: 販売中止済み
IDF37E/IDFA37E 2024年3月末予定
IDF55E/IDFA55E 2024年9月末予定
IDF75E/IDFA75E 2024年9月末予定
シリーズ | 定格入口条件 | 処理空気量(m3/min[ANR]) 50Hz | 処理空気量(m3/min[ANR]) 60Hz | 適用エアコンプレッサ(kW) | 使用 冷媒 | 管接続 口径 | 冷凍機 出力 |
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IDF1E | 35℃ 0.7MPa | 0.1 | 0.12 | 0.75 | R134a (HFC) | Rc3/8 | 7.5kw未満 |
IDF2E | 35℃ 0.7MPa | 0.2 | 0.235 | 1.5 | R134a (HFC) | Rc3/8 | 7.5kw未満 |
IDF3E | 35℃ 0.7MPa | 0.32 | 0.37 | 2.2 | R134a (HFC) | Rc3/8 | 7.5kw未満 |
IDF4E | 35℃ 0.7MPa | 0.52 | 0.57 | 3.7 | R134a (HFC) | Rc1/2 | 7.5kw未満 |
IDF6E | 35℃ 0.7MPa | 0.75 | 0.82 | 5.5 | R134a (HFC) | Rc3/4 | 7.5kw未満 |
IDF8E | 35℃ 0.7MPa | 1.22 | 1.32 | 7.5 | R134a (HFC) | Rc3/4 | 7.5kw未満 |
IDF11E | 35℃ 0.7MPa | 1.65 | 1.82 | 11 | R134a (HFC) | Rc3/4 | 7.5kw未満 |
IDF15E1 | 35℃ 0.7MPa | 2.8 | 3.1 | 15 | R134a (HFC) | Rc1 | 7.5kw未満 |
IDF100F | 40℃ 0.7MPa | 16.0 | 18.8 | 100 | R407C (HFC) | R2 | 7.5kw未満 |
IDF125F | 40℃ 0.7MPa | 20.1 | 23.7 | 125 | R407C (HFC) | 65(2 1/2B) フランジ | 7.5kw未満 |
IDF150F | 40℃ 0.7MPa | 25.0 | 30.0 | 150 | R407C (HFC) | 80(3B) フランジ | 7.5kw未満 |
IDF190D | 40℃ 0.7MPa | 32.0 | 38.0 | 190 | R407C (HFC) | 80(3B) フランジ | 7.5kw未満 |
IDF240D | 40℃ 0.7MPa | 43.0 | 50.0 | 240 | R407C (HFC) | 100(4B) フランジ | 7.5kw未満 |
IDF370D | 35℃ 0.7MPa | 54.0 | 65.0 | 370 | R407C (HFC) | 150(6B) フランジ | 7.5kw以上 |
真空用フリーマウントシリンダ ZCUK
真空用機器 » 真空システム用関連機器
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・コンパクトで取付精度の高い角形小形シリンダCUシリーズに真空用通路をロッドに設け真空パッドの取付けを容易にし、省スペースを実現します。
・標準真空パッド(ø2~ø50)取付可能。
シリーズ | チューブ内径 (mm) | 真空パッド経 | ストローク (mm) |
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ZCUK | 10,16,20,25,30 | φ2~φ50 | 5~50 |
バキュームフロー ステンレス仕様 ZH□-□-X341
真空用機器 » バキュームフローエアブロー用機器 » エアブロー用機器

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・圧縮空気の供給により大流量ブロー&バキュームが可能。
・供給空気量の4倍のブロー流量。
・供給空気量の3倍のバキューム流量。
・大きな通過径で切屑、ごみ等の吸込みが可能。
・メンテナンスフリー。
・取付ブラケットも用意。
・用途例
ブロー:水滴の飛散、切粉の吹飛ばし
バキューム:半田煙の吸煙、ペレット・粉体等の材料搬送
真空パッド/コンパクトタイプ ZP3
真空用機器 » 真空パッド-
・全長短縮
・パッド形状:平形、平形溝付、ベロウ形、ベロウ形リブ付
・取付接続:おねじ、めねじ
・真空取出方向:縦、横
・真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
・バッファ:なし、あり
[バッファストローク(mm):3, 6, 10, 15, 20]
シリーズ | パッド形状 | パッド径(mm) |
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ZP3 | 平形 | φ1.5, φ2, φ3.5 |
ZP3 | 平形溝付 | φ4, φ6, φ8, φ10, φ13, φ16 |
ZP3 | ベロウ形 | φ4, φ6, φ8 |
ZP3 | ベロウ形リブ付 | φ10, φ13, φ16 |
ワンタッチ管継手付エアサクションフィルタ ZFB
真空用機器 » エアサクションフィルタ
シリーズ | 適用チューブ外径 ミリ | 適用チューブ外径 インチ | 流量 L/min(ANR) | ろ過度(μm) |
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ZFB10 | φ4,φ6 | φ3/16,φ1/4 | 10~20 | 30 |
ZFB20 | φ6,φ8 | φ1/4 | 30~50 | 30 |
ZFB30 | φ8,φ10 | φ3/8 | 75 | 30 |
ZFB40 | - | φ1/2 | 100 | 30 |