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薄型真空ユニット ZQ□A

真空用機器 » 真空エジェクタ・真空ポンプシステム
IO-Link対応機器 » 真空マニホールド
製品特長
    ・省エネ機能付真空用圧力スイッチ
    　空気消費量：90%削減(当社測定条件による)
    　消費電力：60%削減【0.4W←1W（従来品）】
    　真空破壊圧力：0MPa～【0MPa～←0.3MPa～（従来品）】
    　コピー機能：設定工数削減・設定値の入力ミス低減
    ・エジェクタシステム／真空ポンプシステムに対応
    ・IO-Link対応
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • 薄型真空ユニット ZQ□A
    取扱説明書
    エジェクタシリーズ ノズル径
    (mm)    		 検索結果を表示
    ZQ050.5検索結果を表示
    ZQ070.7検索結果を表示
    ZQ101.0検索結果を表示
安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　機種選定　バリエーション
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
エジェクタシリーズノズル径
(mm)		最大吸込流量
［L/min(ANR)]		空気消費量
［L/min(ANR)]		適用パッド目安
(mm)		真空ポンプシステムシリーズ
ZQ050.55152～13ZQ000□
ZQ070.710252～20ZQ000□
ZQ101.022472～32ZQ000□

電動グリッパ 3爪タイプ（Sタイプ） LEHS

電動アクチュエータ／電動シリンダ » グリッパ
    ・簡単設定：位置と推力の2項目で設定完了。
    　コントローラはアクチュエータ仕様を設定出荷（アクチュエータ、コントローラセット販売）
    ・落下防止機能付（全シリーズセルフロック機能付）
    ・セルフロックにより、消費電力を低減。
    ・把持確認機能付。
    ・位置・速度・力の設定（64点）

    プログラムレスコントローラLECP1、LECP2シリーズは、2025年5月末に販売中止しました。
    置換え品として互換機能を有した単軸コントローラJXC51/61シリーズにて検討いただけますようお願いいたします。
    ※LECP1/LECP2モードを使用する際は、最新版のJXC51/61シリーズ
    　(Ver.3.60~)、ACT Controller2設定ソフトウェア(Ver.1.5.0.0)
    　が必要となります。
    　詳細はこちら
安全上のご注意　電動アクチュエータ/共通注意事項　特長　バリエーション　簡易選定フロー　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　CE,UKCA/UL対応表　システム構成図　アクチュエータケーブル　I/Oケーブル
シリーズボディ
サイズ		開閉
ストローク
両側
（mm）		把持力［N］
基本		把持力［N］
コンパクト		開閉速度
（mm/s）
LEHS1042.2～5.51.4～3.55～70
LEHS2069～227～175～80
LEHS32836～90―5～100
LEHS401252～130―5～120

電動アクチュエータ／スライダタイプ ベルト駆動  LEFB

電動アクチュエータ／電動シリンダ » スライダタイプ
    LEFBシリーズ　ステップモータ（サーボDC24V）サーボモータ（DC24V）
    ・最大ストローク：2,000mm対応
    ・最大速度：2,000mm/s
    ・繰返し位置決め精度：±0.08mm

    LEFBシリーズ　ACサーボモータ
    ・最大速度：2,000mm/s
    ・最大ストローク：3,000mm
    ・最大加減速度（20,000mm/S2）
    ・パルス入力タイプ/アブソリュートエンコーダ搭載
    ・繰返し位置決め精度：±0.06mm
    ・モータレス仕様を用意　詳細は こちら
    ・対応ドライバ：LECSS-T，LECY□はこちら

    プログラムレスコントローラLECP1、LECP2シリーズは、2025年5月末に販売中止しました。
    置換え品として互換機能を有した単軸コントローラJXC51/61シリーズにて検討いただけますようお願いいたします。
    ※LECP1/LECP2モードを使用する際は、最新版のJXC51/61シリーズ
    　(Ver.3.60~)、ACT Controller2設定ソフトウェア(Ver.1.5.0.0)
    　が必要となります。
    　詳細はこちら
安全上のご注意　電動アクチュエータ/共通注意事項　オートスイッチ/共通注意事項　特長　バリエーション　簡易選定フロー　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　CE,UKCA/UL対応表　システム構成図　アクチュエータケーブル　I/Oケーブル
仕様シリーズストローク
（mm）		可搬質量
（kg）
水平		速度
（mm/s）		ねじリード
（mm）
ステップモータ
（サーボDC24V）		LEFB16300～ 1000148～ 110048相当
ステップモータ
（サーボDC24V）		LEFB25300～ 20001048～ 140048相当
ステップモータ
（サーボDC24V）		LEFB32300～ 20001948～ 150048相当
サーボモータ
（DC24V）		LEFB16A300～ 100015～ 200048相当
サーボモータ
（DC24V）		LEFB25A300～ 200025～ 200048相当
ACサーボモータLEFB25S300～ 20005MAX. 200054相当
ACサーボモータLEFB32S300～ 250015MAX. 200054相当
ACサーボモータLEFB40S300～ 300025MAX. 200054相当

180°開閉形カム式エアチャック MHY2

ロータリアクチュエータ／エアチャック » エアチャック（支点開閉形）
    ・カム機構の採用により軽量・コンパクト。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
    CADデータダウンロード時にはキャデナス・ウェブ・ツー・キャドの PART community のユーザー登録が必要になります。

    2D CAD
    2D CADデータはこちら
  • 180°開閉形カム式エアチャック MHY2
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    MHY2検索結果を表示
安全上のご注意　エアチャック/共通注意事項
オートスイッチ/共通注意事項　エアチャックバリエーション/機種選定
エアチャックオーダーメイド　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズシリンダ内径（mm）
MHY210，16，20，25

クロスローラ平行移動 MHQ□2

ロータリアクチュエータ／エアチャック » エアチャック（平行開閉形）
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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  • クロスローラ平行移動 MHQ□2
    取扱説明書
    タイプ シリーズ 検索結果を表示
    高剛性タイプMHQG2検索結果を表示
    ダストカバー付MHQJ2検索結果を表示
安全上のご注意　エアチャック/共通注意事項
オートスイッチ/共通注意事項　エアチャックバリエーション/機種選定
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
タイプシリーズシリンダ内径（mm）
高剛性タイプMHQG232，40
ダストカバー付MHQJ210，16，20，25

ミニフリーマウントシリンダ 10-/11-CUJ

クリーン／低発塵 » エアシリンダ

    クリーンシリーズ

  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
    2D CADデータはこちら
安全上のご注意　適用オートスイッチ一覧
特長/基本仕様/クリーン共通注意事項　アクチュエータ/共通注意事項
オートスイッチ/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）
型式シリーズ作動方式チューブ内径 (mm)
標準形10-/11-CUJ複動片ロッド6，8，10

ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY

高真空機器 » 高真空バルブ
半導体業界向機器 » 排気ライン
半導体業界向機器 » N2ガス／エア供給ライン
    ・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造。
    ・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）

    注）ストレート型にサイズ16はありません。
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XMA/XYA検索結果を表示
    XMC/XYC検索結果を表示
    XMD/XYD検索結果を表示
    XMH/XYH検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式軸シール
方式		弁形式材質フランジ
サイズ
XMA/XYAエア
オペレート		ベローズシール単動
（N.C.）		ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～80 注）
XMC/XYCエア
オペレート		ベローズシール複動ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～80 注）
XMD/XYDエア
オペレート		ベローズシール
Oリングシール		単動
（N.C.）		ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		25～80
XMH/XYH手動ベローズシール手動ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～50 注）

サーモチラー／スタンダードタイプ  HRS100/150

産業用通信機器／無線システム » その他　RS232C 対応機器
産業用通信機器／無線システム » その他　RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）スタンダートタイプ ベーシックタイプ
温調ライン » サーモチラー（循環液温調装置）スタンダートタイプ ベーシックタイプ
半導体業界向機器（温調ライン） » サーモチラー（循環液温調装置）スタンダートタイプ ベーシックタイプ
製品特長
    ・ヒータ不要でも冷凍回路の排熱利用によって循環液の加熱が可能
    ・電源はEU・アジア・オセアニア・北米・中南米に対応可能
    ・静音設計70dB（A）
    ・屋外設置：IPX4
    ・小型・省スペース

    ※貸出サンプルをご用意しています。
    　最寄りの営業所へお申し付けください。
    　営業所一覧
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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    2D CAD
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  • サーモチラー／スタンダードタイプ  HRS100/150
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRS100
    HRS150    		9.5kW, 14.5kW
    （60Hzの場合）    		検索結果を表示
安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料
こんなところでも使われています　温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）
シリーズ設定温度
範囲		冷却能力温度
安定性		冷却方式循環液
HRS100
HRS150		5〜35℃9.5kW, 14.5kW
（60Hzの場合）		±1.0℃空冷冷凍式
水冷冷凍式		清水
脱イオン水（純水）
エチレングリコール水溶液（15％）

汎用流体用圧力センサ／スイッチ PSE57□

スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ分離型）
半導体業界向機器 » 冷却水ライン
製品特長
    ・PSEセンサセットアップツールPSE-ST Series追加 [New]
    ・スイッチ出力仕様
    ・IO-Link対応
    ・耐電圧：AC500V
    ・保護構造：IP65
    ・接流体部材質
    　配管ポート部：C3604＋ニッケルめっき
    　圧力センサ受圧部：Al2O3（アルミナ96%）
    　Oリング：FKM＋グリース（PSE570/573/574）
    　角リング：FKM（PSE575/576/577）
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項　圧力スイッチバリエーション/アプリケーション　用語集/技術解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ種類定格圧力範囲耐圧力
PSE570正圧0～1MPa3.0MPa
PSE573連成圧-100～100kPa600kPa
PSE574正圧0～500kPa1.5MPa
PSE575正圧0～2MPa5.0MPa
PSE576正圧0～5MPa12.5MPa
PSE577正圧0～10MPa30MPa

冷凍式エアドライヤ　東南アジア向仕様 IDFC□

圧縮空気清浄化機器 » エアドライヤ
製品特長
    ・熱帯地域の高温環境に対応！
    ・高温環境対応
    　周囲温度：最大45℃
    　入口空気温度：最大80℃
    　露点範囲：3℃～20℃
    ・処理空気流量：9.2m3/min（従来機種比 52%アップ）
    ・電源電圧：単相AC230V（50Hz）
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

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    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
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    2D CAD
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  • 冷凍式エアドライヤ　東南アジア向仕様 IDFC□
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    IDFC60検索結果を表示
    IDFC70検索結果を表示
    IDFC80検索結果を表示
    IDFC90検索結果を表示
安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項
機種選定・技術資料　グリーン対応（RoHS）
シリーズ定格入口条件処理空気量
（m3/min［ANR］）
出口空気圧力露点
3℃		処理空気量
（m3/min［ANR］）
出口空気圧力露点
10℃		処理空気量
（m3/min［ANR］）
出口空気圧力露点
20℃min		使用冷媒管接続口径
IDFC6050℃
0.7MPa		0.92.84.7R410A(HFC)
GWP：2088		R1
IDFC7050℃
0.7MPa		1.64.77.8R410A(HFC)
GWP：2088		R1 1/2
IDFC8050℃
0.7MPa		2.26.510.9R410A(HFC)
GWP：2088		R2
IDFC9050℃
0.7MPa		3.19.215.4R410A(HFC)
GWP：2088		R2

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