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真空用機器 25A-

二次電池対応シリーズ 25A-シリーズ » 真空機器
    ※標準品対応：標準品で金属材質における銅（Cu）、亜鉛（Zn）を主成分と
    　する材質は使用していません。
    　詳細はホームページWEBカタログをご確認ください。
    ・真空エジェクタ/ZH□□DAはこちら
    ・直線形真空エジェクタ /ZU□□Aはこちら
    ・インラインエアフィルタ/ZFCはこちら
    ・真空パッド/ZPはこちら
    ・吸着プレート/SPシリーズはこちら
    ・真空パッドZP3□はこちら
    ・ベルヌーイグリッパ ZNCはこちら
    ・ベルヌーイグリッパ/コアンダグリップ付 ZNC-Cはこちら
  • 2D/3D CAD

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安全上のご注意　注意事項　グリーン対応（RoHS）
シリーズ型式仕様
真空ユニット25A-ZK2□Aエジェクタシステム単体
薄形真空ユニット25A-ZQ□Aエジェクタシステム単体／マニホールド
薄形真空ユニット25A-ZQ□A真空ポンプシステム単体／マニホールド
薄形真空ユニットZH□□DA直接配管形 接続ねじなし製品のみ
薄形真空ユニットZH□□BAボックス形 接続ねじなし製品のみ
直線形真空エジェクタZU□□A直線形 接続ねじなし製品のみ
インラインエアフィルタZFC※ワンタッチ管継手付
真空パッドZPパッド単体、アダプタ材質ステンレス製品のみ
真空パッドZP3□パッド単体、アダプタ材質アルミ、ステンレス製品のみ
ベルヌーイグリッパZNC□センサなし製品のみ
ベルヌーイグリッパZNC□-Cセンサなし製品のみ
真空レギュレータ25A-IRV
吸着プレートSP※

エアシリンダ 10-/11-/21-/22-CJ2-Z

クリーン／低発塵 » エアシリンダ

    クリーンシリーズ

  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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安全上のご注意　適用オートスイッチ一覧
特長/基本仕様/クリーン共通注意事項　アクチュエータ/共通注意事項
オートスイッチ/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）
型式シリーズ作動方式チューブ内径 (mm)
標準形10-/11-/21-/22-CJ2複動片ロッド6
標準形10-/11-/21-/22-CJ2-Z複動片ロッド10，16
標準形10-/11-/21-/22-CJ2W-Z複動両ロッド10，16
ダイレクトマウント形10-/11-/21-/22-CJ2RA-Z複動片ロッド10，16

真空ロッドレスシリンダ CYV

高真空機器 » 真空ロッドレスシリンダ
半導体業界向機器 » スリットバルブ・搬送
    ・真空環境内（1.3×10-4Pa）での搬送に使用可能なエアシリンダ。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 真空ロッドレスシリンダ CYV
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    CYV検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図／各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用環境圧力｛Pa（ABS）｝チューブ内径（mm）
CYV大気～1.3×10-415，32

300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP

高真空機器 » スリットバルブ
半導体業界向機器 » スリットバルブ・搬送
製品特長
    ・長寿命：300万回（常温時）
    ・発塵量：1/5以下に低減（従来品比）
    ・メンテナンス性向上
    　容易なベローズ交換
    　トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
    ・安全対策
    　メカ式エンドロック機構採用
  • 2D/3D CAD

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  • 300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XGTP検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用環境圧力 Pa（abs）使用流体開口窓寸法
（高さ×幅）mm		作動圧力
MPa（G）
XGTP大気圧～10-6不活性ガス50×3360.45～0.6

大気開放弁付真空バルブ XLJ

高真空機器 » その他
製品特長
    ・チャンバ内への粗引きポンプ（ロータリポンプ）の油の逆流防止
    ・大気開放弁一体構造による配管工数削減
  • 大気開放弁付真空バルブ XLJ
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XLJ検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		フランジ
サイズ
XLJ電磁式常時閉・真空パイロットOリングシール25，40

アルミニウム製高真空L型バルブ  XLA/C/F/G

高真空機器 » 高真空バルブ
半導体業界向機器 » 排気ライン
製品特長
    ・アルミボディ採用
    　均一なベーキング温度
    　軽量・コンパクト
    　アウトガスが少ない
    　重金属汚染が少ない
    ・ベローズ交換が可能
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式弁形式軸シール
方式		用途フランジ
サイズ
XLA-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLAV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLC-2エア
オペレート		複動ベローズシールダストフリー
クリーン化		16～80
XLF-2エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLFV-2（電磁弁付）エア
オペレート		単動
（N.C.）		Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80
XLG-2エア
オペレート		複動Oリングシール高速作動
高作動回数		16～80

常時閉型高真空電磁弁 XSA

流体制御用機器 » 小型2･3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ
高真空機器 » 高真空バルブ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 高真空バルブ
半導体業界向機器 » N2ガス／エア供給ライン
製品特長
    ・最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
    ・リーク量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
    ・2種の継手、めねじを用意
    ・消費電力：最大25％削減
    ・質量：最大18％削減　0.5kg→0.41kg
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 常時閉型高真空電磁弁 XSA
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
  • 常時閉型高真空電磁弁 XSA
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ弁形式使用流体配管接続方式配管サイズ
XSA常時閉空気
不活性ガス		フェースシール継手
コンプレッション継手		1/4, 3/8
XSA常時閉空気
不活性ガス		Rc, NPTめねじ1/8, 1/4, 3/8

サーモチラー／ラックマウントタイプ HRR

産業用通信機器／無線システム » その他　RS232C 対応機器
産業用通信機器／無線システム » その他　RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）ラックマウントタイプ
温調ライン » サーモチラー（循環液温調装置）ラックマウントタイプ
半導体業界向機器（温調ライン） » サーモチラー（循環液温調装置）ラックマウントタイプ
製品特長
    ・ラックに設置したまま作業可能
    　フロントアクセス：前面から設定、調整、メンテナンスが可能。
    ・省スペース：19インチラックに複数台搭載
    ・冷却能力：1.1/1.2/1.8/2.4/3.0/5.1kW（60Hz）
    ・温度安定性：±0.1℃
    ・グローバル電源
    　単相AC100V（50/60Hz）/単相AC115V（60Hz）
    　単相AC200～230V（50/60Hz）


    ※貸出サンプルをご用意しています。
    　最寄りの営業所へお申し付けください。
    　営業所一覧
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • サーモチラー／ラックマウントタイプ HRR
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRR1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW検索結果を表示
  • サーモチラー／ラックマウントタイプ HRR
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRR1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW検索結果を表示
安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料
温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）
シリーズ設定温度
範囲		冷却能力温度
安定性		冷却方式循環液
HRR5～35℃
15～35℃		1.1kW, 1.2kW, 1.8kW, 2.4kW, 3.0kW, 5.1kW±0.1℃空冷冷凍式
水冷冷凍式		清水
エチレングリコール水溶液（15％）

サーモチラー／レーザ用デュアルタイプ HRL

産業用通信機器／無線システム » その他　RS232C 対応機器
産業用通信機器／無線システム » その他　RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）レーザ用デュアルタイプ
製品特長
    ・1台のチラーで2系統を個別に温調可能
    ・省スペース/省配線
    　設置面積22%削減
    　電源系統：1系統でOK
    ・省エネルギー
    　省エネ 消費電力30%削減
    ・タッチパネルを採用
    ・電源：三相AC200V（50Hz）
    　　　　三相AC200～230V（60Hz）
    　　　　三相AC380〜415V（50/60Hz）
    　　　　三相AC460～480V（60Hz）
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • サーモチラー／レーザ用デュアルタイプ HRL
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRL100CH1:9kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW)検索結果を表示
    HRL200CH1:19kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW)検索結果を表示
    HRL300CH1:26kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW)検索結果を表示
    HRL400CH1:37kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW)検索結果を表示
  • サーモチラー／レーザ用デュアルタイプ HRL
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRL100CH1:9kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW)検索結果を表示
    HRL200CH1:19kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW)検索結果を表示
    HRL300CH1:26kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW)検索結果を表示
    HRL400CH1:37kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW)検索結果を表示
安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料
こんなところでも使われています　温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）
シリーズ設定温度範囲冷却能力温度安定性冷却方式循環液
HRL100CH1:5～35℃ CH2:10～40℃CH1:9kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW)CH1:±0.1, CH2:±0.5空冷冷凍式, 水冷冷凍式CH1:清水, CH2:清水, 脱イオン水（純水）
HRL200CH1:5～35℃ CH2:10～40℃CH1:19kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW)CH1:±0.1, CH2:±0.5空冷冷凍式, 水冷冷凍式CH1:清水, CH2:清水, 脱イオン水（純水）
HRL300CH1:5～35℃ CH2:10～40℃CH1:26kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW)CH1:±0.1, CH2:±0.5空冷冷凍式CH1:清水, CH2:清水, 脱イオン水（純水）
HRL400CH1:5～35℃ CH2:10～40℃CH1:37kW, CH2:1.0kW(最大5.0kW)CH1:±0.1, CH2:±0.5空冷冷凍式CH1:清水, CH2:清水, 脱イオン水（純水）

サーモチラー／インバータタイプ HRSH090

産業用通信機器／無線システム » その他　RS232C 対応機器
産業用通信機器／無線システム » その他　RS485 対応機器
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）インバータタイプ
温調ライン » サーモチラー（循環液温調装置）インバータタイプ
半導体業界向機器（温調ライン） » サーモチラー（循環液温調装置）インバータタイプ
製品特長
    ・消費電力53%削減
    　トリプルインバータで抜群の省エネ効果！
    ・冷却能力：9.5kW（空冷）、11.0kW（水冷）
    ・温度安定性：±0.1℃
    ・温度設定範囲：5℃〜40℃

    ※貸出サンプルをご用意しています。
    　最寄りの営業所へお申し付けください。
    　営業所一覧
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

    2D/3D CADデータはこちら

    ※2D/3D CADデータはキャデナス・ウェブ・ツー・キャド株式会社のシステムに移動します。
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    2D CAD
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  • サーモチラー／インバータタイプ HRSH090
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRSH0909.5kW検索結果を表示
安全上のご注意　温調機器/共通注意事項　特長/バリエーション　技術資料
こんなところでも使われています　温調機器の保証について　グリーン対応（RoHS）
シリーズ設定温度
範囲		冷却能力温度
安定性		冷却方式循環液
HRSH0905～40℃9.5kW±0.1℃空冷冷凍式
水冷冷凍式		清水
脱イオン水（純水）
エチレングリコール水溶液（15％）

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