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アルミ製高真空L型バルブ XLA/C-100・160(-1)-X152
高真空機器 » 高真空バルブ-
・ベローズ耐久性向上(フランジサイズ100、160)
・寿命:200万回
・装置の省スペース化が可能
排気方向制限なし(弁体側←→ベローズ側 両方向可能)
取付姿勢の自由度アップ
・軽量・コンパクト
シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
---|---|---|---|---|---|
XLA-100・160-X152 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100,160 |
XLC-100・160-1-X152 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100,160 |
真空用フリーマウントシリンダ ZCUK
真空用機器 » 真空システム用関連機器
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・コンパクトで取付精度の高い角形小形シリンダCUシリーズに真空用通路をロッドに設け真空パッドの取付けを容易にし、省スペースを実現します。
・標準真空パッド(ø2~ø50)取付可能。
シリーズ | チューブ内径 (mm) | 真空パッド経 | ストローク (mm) |
---|---|---|---|
ZCUK | 10,16,20,25,30 | φ2~φ50 | 5~50 |
真空パッド/コンパクトタイプ ZP3
真空用機器 » 真空パッド-
・全長短縮
・パッド形状:平形、平形溝付、ベロウ形、ベロウ形リブ付
・取付接続:おねじ、めねじ
・真空取出方向:縦、横
・真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
・バッファ:なし、あり
[バッファストローク(mm):3, 6, 10, 15, 20]
シリーズ | パッド形状 | パッド径(mm) |
---|---|---|
ZP3 | 平形 | φ1.5, φ2, φ3.5 |
ZP3 | 平形溝付 | φ4, φ6, φ8, φ10, φ13, φ16 |
ZP3 | ベロウ形 | φ4, φ6, φ8 |
ZP3 | ベロウ形リブ付 | φ10, φ13, φ16 |
電動グリッパ 2爪タイプ/ダストカバー付(ZJタイプ) LEHZJ
電動アクチュエータ/電動シリンダ » グリッパ
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・簡単設定:位置と推力の2項目で設定完了。
コントローラはアクチュエータ仕様を設定出荷(アクチュエータ、コントローラセット販売)
・落下防止機能付(全シリーズセルフロック機能付)
・セルフロックにより、消費電力を低減。
・把持確認機能付。
・位置・速度・力の設定(64点)
安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応(RoHS) CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
シリーズ | ボディ サイズ | 開閉 ストローク 両側 (mm) | 把持力[N] 基本 | 把持力[N] コンパクト | 開閉速度 (mm/s) |
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LEHZJ | 10 | 4 | 6~14 | 3~6 | 5~80 |
LEHZJ | 16 | 6 | 6~14 | 4~8 | 5~80 |
LEHZJ | 20 | 10 | 16~40 | 11~28 | 5~100 |
LEHZJ | 25 | 14 | 16~40 | 11~28 | 5~100 |
電動アクチュエータ/ミニチュアスライドテーブルタイプ LEPS
電動アクチュエータ/電動シリンダ » ミニチュア
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・小型・軽量
W21mm×H41mm×L138.6mm、質量290g
・最大押当て推力:50N
・繰返し位置決め精度:±0.05mm
・位置・速度・推力の設定(64点)
・最大速度 (水平):350mm/s
安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応(RoHS) CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
仕様 | シリーズ | スト ローク (mm) | 押当て 推力 [N] 基本 | 押当て 推力 [N] コンパ クト | 最大可搬 質量 [kg] (水平) 基本 | 最大可搬 質量 [kg] (水平) コンパ クト | ねじ リード |
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ステップ モータ (サーボ DC24V) | LEPS6 | 25,50 | MAX.20 | ― | MAX.1.0 | ― | 4.8 |
ステップ モータ (サーボ DC24V) | LEPS10 | 25,50 | MAX.50 | MAX.40 | MAX.2.0 | MAX.2.0 | 5,10 |
電動スライドテーブル/高剛性タイプ LESH
電動アクチュエータ/電動シリンダ » スライドテーブル
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・簡単設定:位置と速度の2項目で設定完了。
コントローラはアクチュエータ仕様を設定出荷(アクチュエータ、
コントローラセット販売)
・ガイドレールとテーブルを一体化。
循環式リニアガイド採用で高剛性・高精度。
・タクトタイムの短縮。
最大加減速度:5,000mm/S2/最大速度:400mm/s
・最大押当て推力:180N
・繰返し位置決め精度:±0.05mm
安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応(RoHS) CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
仕様 | シリーズ | ストローク (mm) | 可搬質量 (kg) 水平 | 可搬質量 (kg) 垂直 | 速度 (mm/s) | ねじ リード (mm) |
---|---|---|---|---|---|---|
ステップモータ (サーボDC24V) | LESH8□ | 50,75 | MAX.2 | MAX.0.5 | MAX.400 | 4,8 |
ステップモータ (サーボDC24V) | LESH16□ | 50,100 | MAX.8 | MAX.2 | MAX.400 | 5,10 |
ステップモータ (サーボDC24V) | LESH25□ | 50,100,150 | MAX.12 | MAX.4 | MAX.400 | 8,16 |
サーボモータ (DC24V) | LESH8□A | 50,75 | MAX.2 | MAX.0.5 | MAX.400 | 4,8 |
サーボモータ (DC24V) | LESH16□A | 50,100 | MAX.5 | MAX.2 | MAX.400 | 5,10 |
サーボモータ (DC24V) | LESH25□A | 50,100,150 | MAX.6 | MAX.2.5 | MAX.400 | 8,16 |
電動アクチュエータ/ロッドタイプ 耐塵・防滴(IP65相当/IP67相当)
仕様 LEY-X7
電動アクチュエータ/電動シリンダ » 環境電動アクチュエータ/電動シリンダ » ロッドタイプ/ガイド付ロッドタイプ
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・保護構造:IP65相当/IP67相当
・最大ストローク500mm※まで対応可能
※サイズ32、40の場合
安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 オートスイッチ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー グリーン対応(RoHS) CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
仕様 | シリーズ | ストローク (mm) | 押当て推力 (N) | 速度 (mm/s) | ねじリード (mm) |
---|---|---|---|---|---|
ステップモータ (サーボ DC24V) | LEY25-X7 | 30~400 | MAX.452 | MAX.300 | 3,6,12 |
ステップモータ (サーボ DC24V) | LEY32-X7 | 30~500 | MAX.707 | MAX.300 | 4,8,16 |
ステップモータ (サーボ DC24V) | LEY40-X7 | 30~500 | MAX.1058 | MAX.300 | 4,8,16 |
サーボモータ (DC24V) | LEY25A-X7 | 30~400 | MAX.130 | MAX.300 | 3,6,12 |
電動アクチュエータ/ロッドタイプ モータストレート形 LEY□D
電動アクチュエータ/電動シリンダ » ロッドタイプ/ガイド付ロッドタイプ
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LEYシリーズ ステップモータ(サーボDC24V)サーボモータ(DC24V)
・ロングストローク対応:MAX.500mm
・直接取付3方向、金具取付3種類
・オートスイッチ取付可能
・速度制御・位置決め:最大64点
・押当て制御の切替可能
ワーク等にロッドを押し当てた状態での保持が可能
・繰返し位置決め精度:±0.02mm以下
LEYシリーズ ACサーボモータ
・高出力モータ(100W/200W/400W/750W)
・高速搬送能力向上
・高加減速度対応(5,000mm/S2)
・パルス入力タイプ
・アブソリュートエンコーダ搭載
・繰返し位置決め精度:±0.02mm以下
・モータレス仕様を用意 詳細は こちら
・対応ドライバ:LECSS-T,LECY□はこちら
安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 オートスイッチ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応(RoHS) CE,UKCA/UL対応表 システム構成図
仕様 | シリーズ | スト ローク (mm) | 押当て 推力 (N) | 速度 (mm/s) | ねじ リード (mm) |
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ステップモータ (サーボ DC24V) | LEY16D | 30~ 300 | MAX.141 | MAX.500 | 2.5,5,10 |
ステップモータ (サーボ DC24V) | LEY25D | 30~ 300 | MAX.452 | MAX.500 | 2.5,5,10 |
ステップモータ (サーボ DC24V) | LEY32D | 30~ 500 | MAX.707 | MAX.500 | 4,8,16 |
ステップモータ (サーボ DC24V) | LEY40D | 30~ 500 | MAX.1058 | MAX.300 | 4,8,16 |
サーボモータ (DC24V) | LEY16D | 50~ 300 | MAX.111 | MAX.500 | 2.5,5,10 |
サーボモータ (DC24V) | LEY25D | 50~ 400 | MAX.130 | MAX.500 | 3,6,12 |
ACサーボモータ | LEY25D | 30~ 400 | MAX.485 | MAX.900 | 3,6,12 |
ACサーボモータ | LEY32D | 30~ 500 | MAX.736 | MAX.1000 | 4,8,16 |
ACサーボモータ | LEY63D | 100~ 800 | MAX.1910 | MAX.1000 | 5,10,20 |
ACサーボモータ | LEY100D | 100~ 1000 | MAX.12000 | MAX.500 | 10 |
電動アクチュエータ/スライダタイプ ボールねじ駆動 LEFS
電動アクチュエータ/電動シリンダ » スライダタイプ
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LEFSシリーズ ステップモータ(サーボDC24V)サーボモータ(DC24V)
・最大可搬質量:65kg
・繰返し位置決め精度:±0.015mm(高精度タイプ)
・クリーン仕様:ISOクラス4(ISO14644-1)に対応(11-LEFS)
LEFSシリーズ ACサーボモータ
・高出力モータ(100W/200W/400W)
・高速搬送能力向上
・高加減速度(20,000mm/S2)
・パルス入力タイプ
・アブソリュートエンコーダ搭載
・繰返し位置決め精度:±0.01mm(高精度タイプ)
・クリーン仕様:ISOクラス4(ISO14644-1)に対応(11-LEFS)
・モータレス仕様を用意 詳細はこちら
・対応ドライバ:LECSS-T,LECY□はこちら
安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 オートスイッチ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応(RoHS) CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
仕様 | シリーズ | ストローク (mm) | 可搬質量 (kg) 水平 | 速度 (mm/s) | ねじリード (mm) |
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ステップモータ (サーボDC24V) | LEFS16 | 50~ 500 | MAX.15 | MAX.700 | 5,10 |
ステップモータ (サーボDC24V) | LEFS25 | 50~ 800 | MAX.30 | MAX.1100 | 6,12,20 |
ステップモータ (サーボDC24V) | LEFS32 | 50~ 1000 | MAX.50 | MAX.1200 | 8,16,24 |
ステップモータ (サーボDC24V) | LEFS40 | 150~ 1200 | MAX.65 | MAX.1200 | 10,20,30 |
サーボモータ (DC24V) | LEFS16A | 50~ 500 | MAX.10 | MAX.500 | 5,10 |
サーボモータ (DC24V) | LEFS25A | 50~ 800 | MAX.18 | MAX.800 | 6,12,20 |
ACサーボモータ | LEFS25S | 50~ 800 | MAX.20 | MAX.1500 | 6,12,20 |
ACサーボモータ | LEFS32S | 50~ 1000 | MAX.45 | MAX.1500 | 8,16,24 |
ACサーボモータ | LEFS40S | 150~ 1200 | MAX.60 | MAX.1500 | 10,20,30 |
バルブ付薄形シリンダ/ガイドロッド形 CVQM
エアシリンダ » バルブ付エアシリンダ-
・薄形シリンダCQ2シリーズにガイドロッドとバルブを一体化。
・回り止め精度±0.2°以下。
・耐横荷重2~4倍(※薄形シリンダCQシリーズとの比較。)
・負荷の直接取付が可能。
・取付寸法はCQ2シリーズと互換あり。
・省工数、省スペース、省エネルギー。
形式 | シリーズ | 作動方式 | チューブ内径 (mm) | 構成機器 シリンダ | 構成機器 バルブ |
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標準形 | CVQM | 複動 | 32,40,50,63 | CQM | SY3000相当 |