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5ポートソレノイドバルブ 10-SY
クリーン／低発塵 » 方向制御機器
クリーンシリーズ
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 音速コンダクタンス：C | シリンダ駆動サイズ | 消費電力 (W) |
|---|---|---|---|
| 10-SY3000 | 1.1dm3(s・bar) | φ40 | 0.35 |
| 10-SY5000 | 2.8dm3(s・bar) | φ63 | 0.35 |
| 10-SY7000 | 4.5dm3(s・bar) | φ80 | 0.35 |
| 10-SY9000 | 10dm3(s・bar) | φ100 | 0.35 |
300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
高真空機器 » スリットバルブ
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・長寿命：300万回（常温時）
・発塵量：1/5以下に低減（従来品比）
・メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
・安全対策
メカ式エンドロック機構採用
| シリーズ | 使用環境圧力 Pa（abs） | 使用流体 | 開口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大気圧～10-6 | 不活性ガス | 50×336 | 0.45～0.6 |
アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G
高真空機器 » 高真空バルブ
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・アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
・ベローズ交換が可能
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-2 | エア オペレート | 単動 （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～80 |
| XLAV-2（電磁弁付） | エア オペレート | 単動 （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～80 |
| XLC-2 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～80 |
| XLF-2 | エア オペレート | 単動 （N.C.） | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16～80 |
| XLFV-2（電磁弁付） | エア オペレート | 単動 （N.C.） | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16～80 |
| XLG-2 | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16～80 |
常時閉型高真空電磁弁 XSA
流体制御用機器 » 2･3ポートソレノイドバルブ高真空機器 » 高真空バルブ
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 高真空バルブ
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・最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
・リーク量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
・2種の継手、めねじを用意
・消費電力：最大25％削減
・質量：最大18％削減 0.5kg→0.41kg
| シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常時閉 | 空気 不活性ガス | フェースシール継手 コンプレッション継手 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常時閉 | 空気 不活性ガス | Rc, NPTめねじ | 1/8, 1/4, 3/8 |
吸着プレート SP
真空用機器 » 真空システム用関連機器
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・薄いシート・ガラス基板・柔らかいワーク等の吸着固定に適応。
吸着部表面にあいている多数の微細な空孔より吸引するため吸着時ワークの変形がありません。
・高い加工精度。
・大きな吸着力。
| シリーズ | 外形 | 吸着部サイズ | 焼結金属エレメント粒径 | 吸引ポート |
|---|---|---|---|---|
| SP | 長方形、正方形 | □50×50mm 、□100×100mｍ、□150×150mm □200×200mm、□250×250mm、□300×300mm | φ0.3（球体） | 1/8 |
真空パッド/基本形パッド ZP
真空用機器 » 真空パッド
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・12サイズ、6種類のパッド形状
用途に応じた取付金具の選択が可能
・パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形
・取付接続：おねじ、めねじ
・真空取出方向：縦、横
・真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
・バッファ：なし、あり
［バッファストローク（mm）：6, 10, 15, 20, 25, 30, 40, 50］
| シリーズ | パッド形状 | パッド径(mm) |
|---|---|---|
| ZP | 平形 | φ2, φ4, φ6, φ8, φ10, φ13, φ16, φ20, φ25, φ32, φ40, φ50 |
| ZP | 平形リブ付 | φ10, φ13, φ16, φ20, φ25, φ32, φ40, φ50 |
| ZP | 平形(首振り) | φ10, φ13, φ16, φ20, φ25, φ32, φ40, φ50 |
| ZP | ベロウ形 | φ6, φ8, φ10, φ13, φ16, φ20, φ25, φ32, φ40, φ50 |
| ZP | 薄形 | φ10, φ13, φ16 |
| ZP | 薄形リブ付 | φ10, φ13, φ16 |
| ZP | 深形 | φ10, φ16, φ25, φ40 |
電動グリッパ 2爪タイプ（Zタイプ） LEHZ
電動アクチュエータ／電動シリンダ » グリッパ
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・簡単設定：位置と推力の2項目で設定完了。
コントローラはアクチュエータ仕様を設定出荷（アクチュエータ、コントローラセット販売）
・落下防止機能付（全シリーズセルフロック機能付）
・セルフロックにより、消費電力を低減。
・把持確認機能付。
・位置・速度・力の設定（64点）
安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応（RoHS） CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
| シリーズ | ボディ サイズ | 開閉 ストローク 両側 （mm） | 把持力［N］ 基本 | 把持力［N］ コンパクト | 開閉速度 （mm/s） |
|---|---|---|---|---|---|
| LEHZ | 10 | 4 | 6～14 | 2～6 | 5～80 |
| LEHZ | 16 | 6 | 6～14 | 3～8 | 5～80 |
| LEHZ | 20 | 10 | 16～40 | 11～28 | 5～100 |
| LEHZ | 25 | 14 | 16～40 | 11～28 | 5～100 |
| LEHZ | 32 | 22 | 52～130 | ― | 5～120 |
| LEHZ | 40 | 30 | 84～210 | ― | 5～120 |
電動ロータリテーブル LER
電動アクチュエータ／電動シリンダ » ロータリテーブル
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・揺動角度：360°、320° （310°）、180°、90°
（ ）はLER10の値
・薄型：高さ寸法42mm（LER10）
・モータ内蔵により省スペース
・ショックレス・高速駆動
最大速度：420°/sec（7.33rad/sec）、
最大加減速度：3000°/sec2（52.36rad/sec2）
・速度・加/減速度・位置決め最大64点
・省エネ：テーブル停止後、電力40％自動低減
・簡単設定：位置と速度の2項目で設定完了。
コントローラはアクチュエータ仕様を設定出荷（アクチュエータ、
コントローラセット販売）
注）外部ストッパ付の値
安全上のご注意 電動アクチュエータ/共通注意事項 特長 バリエーション 簡易選定フロー 特定開発品情報 グリーン対応（RoHS） CE,UKCA/UL対応表 システム構成図 アクチュエータケーブル I/Oケーブル
| シリーズ | 回転 トルク ［N・m］ 基本 | 回転 トルク ［N・m］ 高トルク | 最大速度 ［°/s］ 基本 | 最大速度 ［°/s］ 高トルク | 繰返し 位置 決め精度 ［°］ 基本 | 繰返し 位置 決め精度 ［°］ 高トルク |
|---|---|---|---|---|---|---|
| LER10 | 0.22 | 0.32 | 420 | 280 | ±0.05 （終端：±0.01）注） | ±0.05 （終端：±0.01）注） |
| LER30 | 0.8 | 1.2 | 420 | 280 | ±0.05 （終端：±0.01）注） | ±0.05 （終端：±0.01）注） |
| LER50 | 6.6 | 10 | 420 | 280 | ±0.05 （終端：±0.01）注） | ±0.05 （終端：±0.01）注） |
