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シリアル伝送システム EX260
方向制御機器 » 省配線フィールドバスシステム(シリアル伝送システム)IO-Link対応機器 » SIユニット
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 PROFINET 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 EtherNet/IP 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 IO-Link 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 EtherCAT 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 PROFIsafe 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 ETHERNET POWERLINK 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 PROFIBUS 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 DeviceNet 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 CC-Link 対応機器
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出力対応
※シリーズにより適用プロトコルは異なります。
詳細は各シリーズのカタログをご参照ください。
・CC-Link IE TSN [New]、Safety over EtherCAT® [New] 対応
・IP67
・RJ45通信コネクタに対応(X205)
▶関連製品
▶IO-Linkマスタ
安全上のご注意 3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項 フィールドバスシステム 共通注意事項 産業IoTセキュリティ対策 フィールドバス用語集 フィールドバスシステム特長 タイプ別対応製品/適用バルブシリーズ PROFlsafeによる安全通信特定開発品情報 グリーン対応(RoHS) IO-Linkマスタ
シリーズ | 保護構造 | 通信プロトコル※ | 適用バルブ |
---|---|---|---|
EX260 | IP67 | DeviceNet™、PROFIBUS DP、CC-Link、EtherCAT®、PROFINET、EtherNet/IP™、Ethernet POWERLINK、IO-Link(SY、JSY、VQCのみ対応)、CC-Link IE TSN、PROFIsafe(SY、JSY、VQCのみ対応)、Safety over EtherCAT® | SY3000/5000/7000(プラグイン)、JSY1000/3000/5000、VQC1000/2000/4000/5000、SV1000/2000/3000、S0700(IP40) |
シリアル伝送システム EX600
方向制御機器 » 省配線フィールドバスシステム(シリアル伝送システム)IO-Link対応機器 » IO-Linkマスタ
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 PROFINET 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 EtherNet/IP 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 IO-Link 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 EtherCAT 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 ETHERNET POWERLINK 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 PROFIBUS 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 DeviceNet 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 CC-Link 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 CC-Link IE Field 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 Modbus TCP 対応機器
IO-Link対応機器 » ターミナルユニット
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・入力・出力対応
・IO-Linkユニット対応ターミナルユニット追加 [New]
※シリーズにより適用プロトコルは異なります。
詳細は各シリーズのカタログをご参照ください。
▶IO-Linkデバイス機器
※EX600-SPN1/SPN2は2023年10月に生産終了します。
EX600-SPN3/SPN4ご選定願います。
安全上のご注意 3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項 フィールドバスシステム 共通注意事項 産業IoTセキュリティ対策 フィールドバス用語集 フィールドバスシステム特長 タイプ別対応製品/適用バルブシリーズ 特定開発品情報 グリーン対応(RoHS)IO-Linkデバイス機器
シリーズ | 保護構造 | 通信プロトコル※ | 適用バルブ |
---|---|---|---|
EX600 | IP67 | PROFIBUS DP DeviceNet™ CC-Link EtherNet/IP™ EtherCAT PROFINET Ethernet POWERLINK(オーダーメイド) Modbus TCP(オーダーメイド) CC-Link IE Field(オーダーメイド) | SY3000,5000,7000(プラグイン) JSY1000,3000,5000 SV1000,2000,3000 VQC1000,2000,4000,5000 S0700(IP40) |
3ポートソレノイドバルブ SYJ300/500/700
方向制御機器 » パイロット式3ポートソレノイドバルブ(電磁弁)
シリーズ | 流量特性 2→3(A→R) C[dm3/( s・bar)] | 流量特性 2→3(A→R) b | 流量特性 2→3(A→R) Cv | 消費電力(W) | 真空使用可能 |
---|---|---|---|---|---|
SYJ300 | 0.36 | 0.31 | 0.089 | 0.35(標準) 0.1(節電回路付) | -100kPa |
SYJ500 | 1.2 | 0.48 | 0.34 | 0.35(標準) 0.1(節電回路付) | -100kPa |
SYJ700 | 2.7 | 0.34 | 0.69 | 0.35(標準) 0.1(節電回路付) | -100kPa |
クリーンデザインマニホールドバルブ JSY5000-H
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブIO-Link対応機器 » マニホールドバルブ
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・液溜りを低減し、洗浄が容易
・大流量:1,600L/min(ANR)
・保護構造:IP69K
・NSF-H1グリース使用
・外表部品:FDA準拠材料採用
(金属部品は耐食性のあるSUS316を採用)
・配線方式:リード線/フィールドバスタイプ(IO-Link)
シリーズ | 流量特性 4/2→5/3(A/B→EA/EB) C[dm3/(s・bar)] | 流量特性 4/2→5/3(A/B→EA/EB) b | 消費電力(W) |
---|---|---|---|
JSY5000-H | 7.64 | 0.23 | 0.4(標準) 0.1(節電回路付) |
コンパクト5ポートソレノイドバルブ プラグインタイプ JSY1000/3000/5000
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ-
・JSY1000用スペーサ形エジェクタの高消音サイレンサ追加 [New]
・流量UPでサイズダウン可能。
省スペース・軽量化・大流量化に貢献します。
・消費電力:0.1W(節電回路付)、0.4W(標準)
・コネクタ接続マニホールド
・4位置デュアル3ポート弁を準備
・マニホールド型式:JJ5SY1,JJ5SY3,JJ5SY5
・真空ユニットZK2 Seriesとの連結が可能
シリーズ | 流量特性 4/2→3/5(A/B→E) C[dm3/(s・bar)] | 流量特性 4/2→3/5(A/B→E) b | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力(W) |
---|---|---|---|---|
JSY1000 | 0.91 | 0.48 | φ40 | 0.2(節電回路付) |
JSY3000 | 2.77 | 0.27 | φ50 | 0.4(標準) 0.1(節電回路付) |
JSY5000 | 6.59 | 0.22 | φ80 | 0.4(標準) 0.1(節電回路付) |
安全通信対応フィールドバス機器 EX600
方向制御機器 » 省配線フィールドバスシステム(シリアル伝送システム)
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・安全/汎用入出力を一つのマニホールドに集約
IEC 61508/IEC 62061 SIL3
ISO 13849 PL e 対応
・安全/汎用入出力モジュールを接続可能
・設備立上げやメンテナンス作業の効率化
・レイアウトの簡素化&省配線
安全上のご注意 3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項 フィールドバスシステム 共通注意事項 産業IoTセキュリティ対策 フィールドバス用語集 フィールドバスシステム特長 タイプ別対応製品/適用バルブシリーズ 特定開発品情報 グリーン対応(RoHS)IO-Linkデバイス機器
品番 | 安全入力点数 | 安全出力点数 | バルブ最大ソレノイド数 | 接続可能ソレノイドバルブシリーズ |
---|---|---|---|---|
EX600-FV□1 | 16点 | バルブ用:1点 外部機器用:2点 | 32点 | JSY、SY、VQC |
EX600-FV□2 | 16点 | バルブ用:1点 外部機器用:2点 | 128点 | JSY3000-L/P、IITV23 |
エジェクタシステム一体型バルブマニホールド JSY1000-E
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ真空用機器 » 真空エジェクタ・真空ポンプシステム
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 PROFINET 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 IO-Link 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 EtherCAT 対応機器
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・スペーサ形エジェクタの高消音サイレンサ追加 [New]
・破壊流量調整ユニット追加
・コンパクトなオールインワンマニホールド
アクチュエータと真空吸着を併用するアプリケーション向けに機器を一体化
・EtherCAT®、IO-Link [New]、PROFINET® [New]、EtherNet/IP™ [New] 対応
・オールインワンマニホールドによる省配線/省配管
・設置面積:64%削減
・製品質量:42%削減
・省エネ機能
CO₂排出量(空気消費量):90%削減
▶IO-Linkマスタ
シリーズ | 流量特性 4/2→3/5(A/B→E) C[dm3/(s・bar)] | 流量特性 4/2→3/5(A/B→E) b | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力(W) |
---|---|---|---|---|
JSY1000-E | 0.91 | 0.48 | φ40 | 0.2(節電回路付) |
64連対応マニホールドコンパクト5ポートソレノイドバルブ プラグインタイプ JSY3000-L
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 PROFINET 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 EtherNet/IP 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 IO-Link 対応機器
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 EtherCAT 対応機器
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・バルブ連数/出力点数:4~64連※に対応/128点
※バルブ連数は4の倍数となります。
・省スペース、SIユニット、省配線/工数に貢献
シリーズ | 流量特性 4/2→3/5(A/B→E) C[dm3/(s・bar)] | 流量特性 4/2→3/5(A/B→E) b | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力(W) |
---|---|---|---|---|
JSY3000-L | 2.77 | 0.27 | φ50 | 0.4(標準) 0.1(節電回路付) |
スリットバルブ XGT
高真空機器 » スリットバルブ
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・半導体装置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
シリーズ | 使用環境圧力 Pa(abs) | 使用流体 | 開口窓寸法 (高さ×幅)mm | 作動圧力 MPa(G) |
---|---|---|---|---|
XGT | 大気圧~10-6 | 不活性ガス系の真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45~0.6 |
スムーズベントバルブ XVD
高真空機器 » 高真空バルブノングリース 窒素(N2)対応機器 » 高真空バルブ

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・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4(従来比)
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
シリーズ | 弁形式 | 使用流体 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
---|---|---|---|---|
XVD | 常時閉 (加圧開・スプリングシール) | 窒素、空気、 不活性ガス等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |