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5ポートソレノイドバルブ／直動タイプ VS4□10
方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
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・直動式ソレノイドバルブ。
・圧力は0MPaから使用可能。
・主弁構造はメタルシール方式。
・マニホールド型式：VVS410，VVS411
※VS4□10(ACコイル)は2024年9月に生産終了予定です。
VQ4000、SY9□40をご選定願います。
| シリーズ | 流量特性 A/B→EA/EB C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 A/B→EA/EB b | 流量特性 A/B→EA/EB Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| VS4□10 | 3.9 | 0.35 | 1.0 | φ80 | 5.5 |
バッテリレス アブソリュートエンコーダタイプ
電動グリッパ 2爪タイプ（Fタイプ） LEHF
電動アクチュエータ／電動シリンダ » バッテリレス アブソリュートエンコーダタイプ
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・停止位置からの再始動が可能
・電源復帰時の運転再開を容易に！
電源遮断時でもエンコーダが位置情報を保持しているため、電源再投入時の原点復帰は不要。
・バッテリ非搭載によりメンテナンス軽減
位置情報保持にバッテリを使用しないため、予備バッテリの管理やメンテナンス交換が不要。
・落下防止機能付（全シリーズセルフロック機能付）
・セルフロックにより、消費電力を低減。
・把持確認機能付。
注）（ ）内はロングストロークの場合。
| シリーズ | ボディサイズ | 開閉ストローク 両側 （mm） | 把持力［N］ 基本 | 把持力［N］ コンパクト | 開閉速度 （mm/s） |
|---|---|---|---|---|---|
| LEHF | 32 | 32（64）注） | 48～120 | 48～120 | 5～100 |
| LEHF | 40 | 40（80）注） | 72～180 | 72～180 | 5～100 |
4·5ポートソレノイドバルブ SYJ3000/5000/7000
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ
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・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。
・消費電力：0.1W（節電回路付）
・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7
・スペーサ形減圧弁に対応
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） b | 流量特性 4/2→5/3（A/B→EA/EB） Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| SYJ3000 | 0.46 | 0.35 | 0.12 | φ25 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SYJ5000 | 0.83 | 0.32 | 0.21 | φ40 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
| SYJ7000 | 2.9 | 0.35 | 0.74 | φ50 | 0.35（標準） 0.1（節電回路付） |
バッテリレス アブソリュートエンコーダタイプ
電動ロータリテーブル LER
電動アクチュエータ／電動シリンダ » バッテリレス アブソリュートエンコーダタイプ
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・停止位置からの再始動が可能
・電源復帰時の運転再開を容易に！
電源遮断時でもエンコーダが位置情報を保持しているため、電源再投入時の原点復帰は不要。
・バッテリ非搭載によりメンテナンス軽減
位置情報保持にバッテリを使用しないため、予備バッテリの管理やメンテナンス交換が不要。
・揺動角度：320º、180º、90º
・モータ内蔵により省スペース
・ショックレス・高速駆動
最大速度：420º/sec
最大加減速度：3000º/sec2
注）外部ストッパ付の値
| シリーズ | 回転 トルク ［N・m］ 基本 | 回転 トルク ［N・m］ 高トルク | 最大速度 ［º/s］ 基本 | 最大速度 ［º/s］ 高トルク | 繰返し 位置決め精度 ［º］ 基本 | 繰返し 位置決め精度 ［º］ 高トルク |
|---|---|---|---|---|---|---|
| LER50 | 6.6 | 10 | 420 | 280 | ±0.05 （終端：±0.01）注） | ±0.05 （終端：±0.01）注） |
真空パッド/半導電性シリコーンゴム ZP3-□HS□
真空用機器 » 真空パッド
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・静電気を緩やかに放電、電子部品の損傷を防止
・表面抵抗値：106～109［Ω］
・パッド形状：平形溝付
・取付接続：おねじ、めねじ
・真空取出方向：縦、横
・真空取付出口：めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
・バッファ：なし、あり
［バッファストローク（mm）：3, 6, 10, 15, 20]
| シリーズ | パッド形状 | パッド径(mm) |
|---|---|---|
| ZP3-□HS□ | 平形溝付 | φ4, φ6, φ8, φ10, φ13, φ16 |
4·5ポートソレノイドバルブ VZ1000
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ
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・主弁構造が弾性体シール。
※VZ3000/5000シリーズは2023年4月に生産終了しました。
SYJ5000/7000シリーズをご選定願います。
| シリーズ | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) b | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| VZ1000 | 有効断面積：0.9mm2 | 有効断面積：0.9mm2 | 有効断面積：0.9mm2 | φ20 | 1.8 |
真空パッド/オーダーメイド ZP2
真空用機器 » 真空パッド
安全上のご注意 真空用機器/共通注意事項 真空パッド/共通注意事項 バリエーション 機種選定 小型/薄形：取付金具Ass'y（P313） 高剛性：取付金具Ass'y（P255-263） 特定開発品情報 グリーン対応（RoHS）
| シリーズ | パッド形状 | パッド径(mm) |
|---|---|---|
| ZP2 | 小形パッド | φ3, φ4, φ5, φ6, φ7, φ8 |
| ZP2 | 低寸法仕様パッド | φ2, φ3, φ3.5, φ4, φ5, φ6, φ8, φ10, φ15 |
| ZP2 | 薄形パッド | φ5, φ6, φ11, φ14, φ18, φ20 |
| ZP2 | ベロウパッド | φ2, φ4, φ5, φ6, φ8, φ10, φ15, φ20 |
| ZP/ZP2 | 高剛性パッド | φ32, φ40, φ50, φ63, φ80, φ100, φ125, φ150, φ250, φ300, φ340, 30×50 |
スペーサ形減圧弁
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブモジュラF.R.L.／圧力制御機器 » レギュレータ
圧力制御機器 » レギュレータ
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・マニホールドブロック上にスペーサ形減圧弁をの せることにより
各バルブごとに減圧が可能となり ます。
・詳細は各シリーズのWEBカタログをご覧ください
5ポートソレノイドバルブ プラグインタイプ/SY3000/5000/7000 詳細はこちら
5ポートソレノイドバルブ/SY3000/5000/7000/9000 詳細はこちら
5ポートソレノイドバルブ/SV1000/2000/3000/4000 詳細はこちら
4·5ポートソレノイドバルブ /SYJ5000/7000 詳細はこちら
5ポートソレノイドバルブ/VQ4000 詳細はこちら
5ポートソレノイドバルブ/VQ5000 詳細はこちら
5ポートソレノイドバルブ/VQC4000 詳細はこちら
5ポートソレノイドバルブ/VQC5000 詳細はこちら
5ポートソレノイドバルブ/VFS3000/4000/5000 詳細はこちら
5ポートソレノイドバルブ/VFR3000/4000/5000 詳細はこちら
5ポートソレノイドバルブ ISO規格準拠/VQ7-6/7-8 詳細はこちら
| 名称 | 適用バルブ | 型式 |
|---|---|---|
| 5ポートソレノイドバルブ プラグインタイプ | SY3000 SY5000 SY7000 | SY30M-□-□-□ SY50M-□-□ SY70M-□-□ |
| 5ポートソレノイドバルブ | SY3000/5000/7000/9000 | ARB□000-□-□-2 |
| 5ポートソレノイドバルブ | SV1000 SV2000 SV3000 SV4000 | SV1□00-□-□ SV2000-□-□ SV3000-□-□ SV4000-□-□ |
| 4·5ポートソレノイドバルブ | SYJ5000 SYJ7000 | ARBYJ5000-00-P ARBYJ7000-00-P |
| 5ポートソレノイドバルブ | VQ4000 | ARBQ4000-00-□-1（プラグインタイプ） ARBQ4000-00-□-5（プラグリードタイプ） |
| 5ポートソレノイドバルブ | VQ5000 | ARBQ5000-00-□-1（プラグインタイプ） ARBQ5000-00-□-5（プラグリードタイプ） |
| 5ポートソレノイドバルブ | VQC4000 | ARBQ4000-00-□-1 |
| 5ポートソレノイドバルブ | VQC5000 | ARBQ5000-00-□-1 |
| 5ポートソレノイドバルブ | VFS2000 | ARBF2000-00-P-1（プラグインタイプ） ARBF2000-00-P-2（ノンプラグインタイプ） |
| 5ポートソレノイドバルブ | VFS3000 | ARBF30□0-00-□-1（プラグインタイプ） ARBF30□0-00-□-2（ノンプラグインタイプ） |
| 5ポートソレノイドバルブ | VFS4000 | ARBF40□0-00-□-1（プラグインタイプ） ARBF40□0-00-□-2（ノンプラグインタイプ） |
| 5ポートソレノイドバルブ | VFS5000 | ARBF50□0-00-□-1（プラグインタイプ） ARBF50□0-00-□-2（ノンプラグインタイプ） |
| 5ポートソレノイドバルブ | VFR2000 | ARBF2000-00-□-1（プラグインタイプ） ARBF2000-00-□-2（ノンプラグインタイプ） |
| 5ポートソレノイドバルブ | VFR3000 | ARBF30□0-00-□-1（プラグインタイプ） ARBF30□0-00-□-2（ノンプラグインタイプ） |
| 5ポートソレノイドバルブ | VFR4000 | ARBF40□0-00-□-1（プラグインタイプ） ARBF40□0-00-□-2（ノンプラグインタイプ） |
| 5ポートソレノイドバルブ | VFR5000 | ARBF50□0-00-□-1（プラグインタイプ） ARBF50□0-00-□-2（ノンプラグインタイプ） |
| 5ポートソレノイドバルブ／ ISO規格準拠 | VQ7-6 VQ7-8 | ARB250-00-□ ARB350-00-□ |
