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ペルチェ式ケミカルサーモコン HED
温調機器 » サーモコン/サーモ恒温槽(ペルチェ式温調装置)温調ライン » サーモコン/サーモ恒温槽(ペルチェ式温調装置)
半導体業界向機器(温調ライン) » サーモコン/サーモ恒温槽(ペルチェ式温調装置)

シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
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HED | 10~60℃ | 300W,500W,750W,900W | ±0.1℃ | ペルチェ式水冷 | 脱イオン水(純水) フッ素化液 アンモニア過酸化水素水など |
3画面デジタル表示設定器 PSE300A
スイッチ/センサ/コントローラ » 電子式圧力スイッチ/センサ(センサ・アンプ分離型)-
・5機種の圧力センサに対応
適用センサ:PSE53□、PSE54□、PSE550、PSE57□、PSE56□
・測定値を見ながら設定が可能
・NPN/PNP切替機能
・レンジ入力機能(圧力/流量に対応)
・簡単3ステップ設定
シリーズ | 設定圧力範囲 |
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PSE300A | −0.2〜2.1kPa 10〜−105kPa −105〜105kPa −10〜105kPa −50〜525kPa −0.105〜1.05MPa −0.105〜2.1MPa −0.25〜5.25MPa −0.5〜10.5MPa |
3画面多チャンネルデジタル表示設定器 PSE200A
スイッチ/センサ/コントローラ » 電子式圧力スイッチ/センサ(センサ・アンプ分離型)IO-Link対応機器 » 圧力スイッチ
産業用通信機器/無線システム » 産業用通信機器 IO-Link 対応機器
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・最大4つの圧力センサが接続可能!
集中管理による設置スペースの削減
異なる用途を1モニタで管理
・測定値を見ながら設定が可能
・IO-Link対応
▶IO-Linkマスタ
シリーズ | 設定圧力範囲 | 適用圧力センサ |
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PSE200A | −0.2~2.1kPa 10~−105kPa −105~105kPa −10~105kPa −50~525kPa −0.105~1.05MPa −0.105~2.1MPa −0.25~5.25MPa −0.5~10.5MPa | PSE550 PSE531/PSE541/PSE561 PSE533/PSE543/PSE563/PSE573 PSE532 PSE564/PSE574 PSE530/PSE540/PSE560/PSE570 PSE575 PSE576 PSE577 |
エアチェッカ電子式圧力確認スイッチ PS1000/1100/1200
スイッチ/センサ/コントローラ » 電子式圧力スイッチ/センサ(センサ・アンプ一体型)
シリーズ | 種類 | 設定圧力範囲 |
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PS1000 | 正圧 | -0.1~0.45MPa |
PS1100 | 真空・残圧用 | -0.1~0.4MPa |
PS1200 | 真空用 | -100~0kPa |
プリフィルタ付マイクロミストセパレータ AMH
圧縮空気清浄化機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ
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・AMシリーズ+AMDシリーズを一体化し、取付スペースの縮小、配管工数の削減、低コスト化を実現。
・エアロゾル状の油微粒子を分離除去し、0.01μm以上のカーボンやダストを取り除きます。
・高い清浄度の空気が要求される精密計測器やクリーンルーム用圧縮空気のプリフィルタとしてご使用ください。
シリーズ | ろ過度(μm) | 定格流量 L/min(ANR) | 管接続口径 |
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AMH | 0.01(捕集効率99.9%) | 200~12000 | 1/8~2 |
小型真空ユニット ZB
真空用機器 » 真空エジェクタ・真空ポンプシステムIO-Link対応機器 » 真空マニホールド

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・エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応。
・高速応答:弁応答5ms、真空応答時間28ms
・省エネ:空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上。
・小型・軽量:46g
・真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能。
・IO-Link対応
エジェクタシリーズ | ノズル径 (mm) | 最大吸込流量 [L/min(ANR)] | 空気消費量 [L/min(ANR)] | 適用パッド目安 (mm) | 真空ポンプシステムシリーズ |
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ZB03 | 0.3 | 2 | 3.5 | 2~8 | ZB00 |
ZB04 | 0.4 | 3.5 | 6.5 | 2~10 | ZB00 |
ZB05 | 0.5 | 4.5 | 10 | 2~13 | ZB00 |
ZB06 | 0.6 | 7 | 18 | 2~20 | ZB00 |
AHCシステム/オートハンドチェンジングシステム MA
ロータリアクチュエータ/エアチャック » エアチャック(支点開閉形)
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・ロボットハンドツールを形状の異なるワークに合わせて自動交換を行い、組立ラインのFMS(フレキシブル生産システム)を可能にしました。
シリーズ | 位置決め方式 | 操作方法 |
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MA210 | ボールカップリング | 単動 |
MA310 | ボールカップリング | 単動 |
MA311 | ボールカップリング | 複動 |
MA320 | カービックカップリング | 単動 |
MA321 | カービックカップリング | 複動 |
低速ロータリアクチュエータ CRQ2X/CDRQ2X/MSQX
ロータリアクチュエータ/エアチャック » ロータリアクチュエータ ラックピニオンタイプ
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・ワークの低速搬送が可能。(5s/90°)
・オートスイッチ付(CDRQ2Xシリーズ:CDRQ2X)
シリーズ | ラック形式 | サイズ | 揺動角度 |
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CRQ2X | ダブル | 10,15,20,30,40 | 80°~100°170°~190° |
MSQX | ダブル | 10,20,30,50 | 0°~190° |
ISO規格準拠 薄形シリンダ C55/CD55
ISO規格準拠製品 » エアシリンダエアシリンダ » ISOシリンダ ISO規格(21287)準拠

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・ISO規格(21287)準拠
・4面に小型オートスイッチ取付可能。
・オートスイッチ付(CD55シリーズ:CD55)
※標準形複動片ロッドC55は2025年6月に生産終了予定です。
C55-Zをご選定願います。▶詳細はこちら
形式 | シリーズ | 作動方式 | チューブ内径(mm) |
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標準形 | C55 | 複動片ロッド | 20,25,32,40,50,63,80,100 |