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4ポートソレノイドバルブ／カセットタイプマニホールド SJ1000/2000/3000/4000
方向制御機器 » パイロット式4·5ポートソレノイドバルブ半導体業界向機器 » 排気ライン
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・ベースレス構造の低背形カセットタイプ。
・ボディ幅6.5mm（SJ1000）、7.5mm（SJ2000）、
10mm（SJ3000A）、15mm（SJ4000）による省スペースタイプ。
・SJシリーズ5サイズのバルブ混載を実現
・コネクタ接続により連数の増減、バルブの交換が容易。
・ワンサイドソレノイド。
・4位置デュアル3ポート弁仕様あり。
・マニホールド型式：SS5J1, SS5J2, SS5J3, SS5J4
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規設備／装置の設計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 流量特性 4/2→3/5 （A/B→E） C［dm3/ （s・bar）］ | 流量特性 4/2→3/5 （A/B→E） b | 流量特性 4/2→3/5 （A/B→E） Cv | シリンダ駆動 サイズ 速度： 100㎜/sの時 | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| SJ1000 | 0.32 | 0.33 | 0.08 | ø32 | 0.55（標準） 0.23（節電回路付） |
| SJ2000 | 0.36 | 0.13 | 0.08 | ø40 | 0.55（標準） 0.23（節電回路付） |
| SJ3000 | 0.56 | 0.11 | 0.12 | ø50 | 0.4（標準） 0.15（節電回路付） |
| SJ3000A 大流量タイプ | 0.76 | 0.19 | 0.21 | ø63 | 0.4（標準） 0.15（節電回路付） |
| SJ4000 | 2.61 | 0.20 | 0.68 | ø80 | 0.4（標準） 0.15（節電回路付） |
ISO13849-1認証／安全排気バルブモジュラ接続形 VPX400
モジュラF.R.L. » 残圧抜き3ポート弁モジュラF.R.L. » モジュラ接続対応機器
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・ダブルコモン仕様追加 [New]
・安全規格ISO13849-1認証（カテゴリ3～4対応）
・排気流量特性 L/min（ANR）※0.6MPa時
10,500 (VPX406-A3)
13,000 (VPX406-A4)
15,000 (VPX406-A6)
・省スペース&軽量化 3つの機能を集約
デュアル残圧排気弁+ソフトスタートアップバルブ+主弁不一致検知
・モジュラ接続可能
AC30/40/50/60-D Series
※IMおよびISO13849-1認定書はこちらをご参照ください。
| シリーズ | カテゴリ | 接続 AC サイズ | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 2→3（A→R） b |
|---|---|---|---|---|
| VPX406-A3 | 3, 4 | AC30 | 25.0 | 0.20 |
| VPX406-A4 | 3, 4 | AC40 | 31.0 | 0.15 |
| VPX406-A6 | 3, 4 | AC50/60 | 35.8 | 0.10 |
寿命向上シリンダ CQS-XB24
エアシリンダ » コンパクトエアシリンダ
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・新技術により耐久性4倍以上
メンテナンス回数の削減
・既存製品（薄形シリンダ／コンパクトタイプCQS Series）と仕様、
外形寸法は同一
安全上のご注意 アクチュエータ/共通注意事項 オートスイッチ/共通注意事項 オートスイッチ取付および移動方法 機種選定・技術資料 早見選定表 簡易特注 オーダーメイド 特定開発品情報 グリーン対応（RoHS）
| 形式 | シリーズ | 作動方式 | チューブ内径（mm） |
|---|---|---|---|
| 寿命向上 | CQS-XB24 | 複動片ロッド | 12, 16, 20, 25 |
3ポート残圧排気弁 VP546E/746E
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 » モジュラ接続対応機器モジュラF.R.L. » モジュラ接続対応機器
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・流量特性 C［dm3/ （s·bar）］
VP546E：7.5
VP746E：12.6
・ソフトスタートアップ機能付の選定が可能
・消費電力：0.35W（ランプなし）
・パイロット流路にチェック弁内蔵
（一次側の圧力変動によるパイロット圧力降下に対応）
| シリーズ | 適用コンビネーション |
|---|---|
| VP546E | AC30-D |
| VP746E | AC40-D |
耐粉塵シリンダ MXQ-XC4A
エアシリンダ » 耐環境仕様シリンダ
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・セラミック粉、トナー粉、紙粉、金属粉（溶接スパッタを除く）等
の粉体粒径20～50μmが舞う環境に対応
・耐久性4倍向上（対標準品）
ガイド部、ロッドカバー部にルブリテーナを装着
粉体、異物の侵入を防止
・外形寸法、ワーク取付寸法は標準品と取付互換あり
| 形式 | シリーズ | 作動方式 | チューブ内径（mm） |
|---|---|---|---|
| 標準形 | MXQ-XC4A | 複動 | 6，8，12，16，20，25 |
| 対称形 | MXQ□L-XC4A | 複動 | 6，8，12，16，20，25 |
エルボタイプ／ユニバーサルタイプ プッシュロック式ステンレス仕様 10-AS-FG
クリーン／低発塵 » 駆動制御機器
| タイプ | シリーズ | シリンダ側 接続口径 | 適用チューブ外径 ミリサイズ | 適用チューブ外径 インチサイズ |
|---|---|---|---|---|
| エルボタイプ ステンレス仕様 | 10-AS12□1FG～42□1FG | M5×0.8 10-32UNF R, NPT, G 1/8～1/2 | φ2～φ16 | φ1/8''～φ1/2'' |
| ユニバーサルタイプ ステンレス仕様 | 10-AS13□1FG～43□1FG | M5×0.8 10-32UNF R, NPT, G 1/8～1/2 | φ3.2～φ12 | φ1/8''～φ1/2'' |
クリーンエアモジュール LLB
クリーン／低発塵 » 圧縮空気清浄化フィルタシリーズ
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・クリーン機器をモジュール化（配管工数削減／省スペース）。
手軽にクリーンエアが得られます。
・ろ過度：0.01μm（捕集効率99.99％）。
・流体接触部：ノングリース、シリコンフリー。
・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。
・24種類の組合せが可能。
注）入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1～1.6.1相当
| シリーズ | 使用流体 | 設定圧力 | 流量範囲 L/min（ANR） |
|---|---|---|---|
| LLB4 | クリーンエア N2ガス 注） | 0.05～0.4MPa | 50～500 |
| LLB3 | クリーンエア N2ガス 注） | 0.05～0.4MPa | 5～100 |
サーモチラー／ベーシックタイプ HRSE
温調機器 » サーモチラー（循環液温調装置）スタンダートタイプ ベーシックタイプ温調ライン » サーモチラー（循環液温調装置）スタンダートタイプ ベーシックタイプ
半導体業界向機器（温調ライン） » サーモチラー（循環液温調装置）スタンダートタイプ ベーシックタイプ
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・トリプルコントロールで大きな省エネ！
消費電力33%省エネ
・小型・軽量 32kg （AC100V仕様）
・メンテナンスフリー：マグネットポンプ
・静音設計：55dB（A）
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRSE | 10～30℃ | 1.2kW, 1.6kW, 2.2kW （60Hzの場合） | ±2.0℃ | 空冷冷凍式 | 清水 エチレングリコール水溶液（15％） |
小型圧力スイッチ ZSE1/ISE1
スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ一体型）
| シリーズ | 種類 | 設定圧力範囲 |
|---|---|---|
| ZSE1 | 真空圧 | 0～－101kPa |
| ISE1L | 正圧 | 0～100kPa |
| ISE1 | 正圧 | 0～1MPa |
