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3ポートソレノイドバルブ VZ100

方向制御機器 » パイロット式3ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
    ・真空使用可能 (VZ100)
    ・パイロット弁の排気対策が不要 (集合排気形：VZ300M 、500M)
    ・セレクタ弁、デバイダ弁としても使用可能 (外部パイロット形：VZ300R、500R)
    ・マニホールド型式：VV3Z1，VV4Z1
安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　リード線資料
シリーズ流量特性
2→3(A→P)
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
2→3(A→P)
b		流量特性
2→3(A→P)
Cv		消費電力（W）真空使用可能
VZ1000.190.0710.0421.8-100kPa

真空用ウォータセパレータ AMJ-D

真空用機器 » 真空システム用関連機器
製品特長
    ・真空ライン中の水滴を除去
    　真空用機器の故障を未然に防止
    ・質量：最大30%削減(AMJ40：0.42kg←AMJ4000：0.6kg)
    ・水滴除去率：99%以上
    ・2層構造で優れた耐環境性
    　透明ケースガードでケース全周をカバー
    　優れた視認性 ： 360°
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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  • 真空用ウォータセパレータ AMJ-D
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    AMJ-D検索結果を表示
安全上のご注意　真空用機器/共通注意事項　バリエーション/機種選定
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ接続口径推奨流量L/min
（ANR）		使用圧力範囲水滴除去率
AMJ-D1/4，3/8，1/2，3/4，1200，350，500−100〜0kPa99%

微差圧センサ 10-PSE550

クリーン／低発塵 » 圧力スイッチ/圧力センサ

    クリーンシリーズ


    ・微差圧センサ
安全上のご注意　特長/基本仕様/クリーン共通注意事項
圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項　グリーン対応（RoHS）
シリーズ設定圧力範囲
10-PSE5500〜2kPa

真空用圧力スイッチ／リードスイッチ式 ZSM1

スイッチ／センサ／コントローラ » 機械式圧力スイッチ
    ・エジェクタシステムZMシリーズにマウント可能。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 真空用圧力スイッチ／リードスイッチ式 ZSM1
    自己宣言書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    ZSM1真空圧検索結果を表示
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項
圧力スイッチバリエーション/アプリケーション　用語集/技術解説　特定開発品情報
グリーン対応（RoHS）
シリーズ種類設定圧力範囲
ZSM1真空圧－27～－80kPa

汎用流体用圧力センサ PSE56□

スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ分離型）
ノングリース 窒素（N2）対応機器 » 圧力スイッチ
半導体業界向機器 » 冷却水ライン
    ・接液部SUS316L
    ・IP65
    ・幅広い流体に適応。
    ・アナログ出力（電圧／電流）
    ・低リーク。フェースシール、コンプレッション継手の選択可能。
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項
圧力スイッチバリエーション/アプリケーション　用語集/技術解説　特定開発品情報
グリーン対応（RoHS）
シリーズ種類定格圧力範囲
PSE561真空圧0～－101kPa
PSE563連成圧－100～100kPa
PSE564正圧0～500kPa
PSE560正圧0～1MPa

薄形デジタル圧力スイッチ ZSE10（F）/ISE10

スイッチ／センサ／コントローラ » 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ・アンプ一体型）
半導体業界向機器 » 冷却水ライン
製品特長
    ・薄形9.8mm
    ・縦方向設置スペース約1/2
    　（ZSE/ISE30A比較）
    ・最大10台まで同時コピー可能。
    ・3ステップ設定。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 薄形デジタル圧力スイッチ ZSE10（F）/ISE10
    取扱説明書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    ZSE10F連成圧検索結果を表示
    ZSE10真空圧検索結果を表示
    ISE10正圧検索結果を表示
  • 薄形デジタル圧力スイッチ ZSE10（F）/ISE10
    自己宣言書
    シリーズ 種類 検索結果を表示
    ZSE10F連成圧検索結果を表示
    ZSE10真空圧検索結果を表示
    ISE10正圧検索結果を表示
安全上のご注意　圧力スイッチ・フロースイッチ/共通注意事項
圧力スイッチバリエーション/アプリケーション　用語集/技術解説　特定開発品情報
グリーン対応（RoHS）
シリーズ種類定格圧力範囲
ZSE10F連成圧－100.0～100kPa
ZSE10真空圧0.0～－101.0kPa
ISE10正圧－0.100～1.000MPa

クランプシリンダ CK□1

エアシリンダ » クランプシリンダ
製品特長
    ・チューブ全長7mm短縮（CKP1□40の場合）
    ・ねじ調整構造により速度調整が容易。
    ・スピードコントローラバルブはチューブ外形より出っ張りがありません。
    ・3方向から耐強磁界オートスイッチの取付可能
    　D-P3DW型、D-P4DW型対応（CKG1）
    　D-P79WSE型、D-P74L/Z型対応
    ・アーク溶接用耐スパッタシリンダ対応(-XC88/-XC89/-XC91)(CKG1のみ)

    ※CK1□-Z Seriesは2025年2月末に生産終了しました。
    　CK1□-Z1 Seriesをご選定願います。▶詳細はこちら
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • クランプシリンダ CK□1
    取扱説明書
    種類 シリーズ 作動方式 検索結果を表示
    標準形CK1複動検索結果を表示
    標準磁石内蔵形
    （耐強磁界オートスイッチ付）    		CKG1複動検索結果を表示
    強力磁石内蔵形
    （耐強磁界オートスイッチ付）    		CKP1複動検索結果を表示
  • クランプシリンダ CK□1

    オーダーメイド組合せ型式表示方法はこちらをご参照ください。

    ※製品個別オーダーメイド仕様については、各製品カタログをご参照ください。
    型 式 名 称 ダウンロード
    -XC88 オーダーメイド 耐スパッタ仕様コイルスクレーパ、ルブリテーナ、溶接用グリース ピストンロッドSUS304 PDF
    -XC89 オーダーメイド 耐スパッタ仕様コイルスクレーパ、ルブリテーナ、溶接用グリース ピストンロッドS45C PDF
    -XC91 オーダーメイド 耐スパッタ仕様コイルスクレーパ、溶接用グリース ピストンロッドS45C PDF
安全上のご注意　アクチュエータ/共通注意事項
オートスイッチ/共通注意事項　機種選定・技術資料　オーダーメイド
特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
種類シリーズ作動方式クレビス幅（mm）チューブ内径（mm）
標準形CK1複動16.5，19.540，50，63
標準磁石内蔵形
（耐強磁界オートスイッチ付）		CKG1複動16.5，19.540，50，63
強力磁石内蔵形
（耐強磁界オートスイッチ付）		CKP1複動16.5，19.540，50，63

3ポートソレノイドバルブ SY100

方向制御機器 » 直動式3·4·5ポートソレノイドバルブ（電磁弁）
    ・銅系不可仕様。
    ・マニホールド型式：SS3Y1
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 3ポートソレノイドバルブ SY100
    自己宣言書
    シリーズ タイプ 検索結果を表示
    SY100標準

    大流量    		検索結果を表示
  • 3ポートソレノイドバルブ SY100
    マニホールド仕様書
    シリーズ タイプ 検索結果を表示
    SY100標準

    大流量    		検索結果を表示
安全上のご注意　3・4・5ポート電磁弁 共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　リード線資料
シリーズタイプ有効断面積消費電力（W）真空使用可能
SY100標準

大流量		0.14mm2

0.22mm2		0.5-100kPa

圧縮空気清浄化フィルタ/ステンレスタイプ AFF□DS/AM□DS/AMD□DS

圧縮空気清浄化機器 » 圧縮空気清浄化フィルタ
製品特長
    ・外部ステンレスにより耐食性向上
    ・処理空気量：14.5m3/min（ANR）
    　※AFF90DS/AM90DS/AMD90DSの場合
    ・圧力降下：5kPa以下
    ・エレメント交換時の作業性向上
    ・圧縮空気清浄等級ISO8573に対応
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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  • 圧縮空気清浄化フィルタ/ステンレスタイプ AFF□DS/AM□DS/AMD□DS
    取扱説明書
    種類 シリーズ 検索結果を表示
    メインラインフィルタAFF□DS検索結果を表示
    ミストセパレータAM□DS検索結果を表示
    マイクロミストセパレータAMD□DS検索結果を表示
安全上のご注意　圧縮空気清浄化機器/共通注意事項
機種選定・技術資料　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）　エレメント品番一覧
種類シリーズろ過度（μm）定格流量
（m3/min［ANR］）		管接続口径
メインラインフィルタAFF□DS1μm7～14.51, 1 1/2, 2
ミストセパレータAM□DS0.1μm7～14.51, 1 1/2, 2
マイクロミストセパレータAMD□DS0.01μm7～14.51, 1 1/2, 2

ガス／エア切換弁 SS5Y7-X424-Q

アーク溶接工程向機器 » ガス／エア切換弁
    ・シールドガス用バルブとエアブロー用バルブをマニホールド化
    ・チップ高寿命化
    　アーク溶接後にエアブローすることで、チップを冷却し高寿命化が可能
    ・省スペース・コンパクト
    ・省エネ：消費電力0.5W
安全上のご注意　特定開発品情報　アーク溶接工程向機器紹介　グリーン対応（RoHS）
シリーズ使用流体使用圧力範囲流量特性（Cv値）
SY7140-5DOS-X311-Q空気0.25～0.7MPa0.63
SY5140R-5DOS-Q不活性ガス－100kPa～0.7MPa0.4

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