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電-空変換器 IT600/601
計装用補助機器 » 電ー空変換器 
    
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    ・電流信号に比例した空気圧力を出力可能
・広い出力圧力範囲/0.02〜0.6MPa
・すぐれた応答性
・独立した電気機器部/耐圧防爆構造
・スムーズなスパン調整
| シリーズ | 接続口径 | 供給圧力 (MPa) | 入力電流 | 
|---|---|---|---|
| IT600 | Rc1/4 | 0.14~0.24 | 4~20mADC | 
| IT601 | Rc1/4 | 0.24~0.7 | 4~20mADC | 
ブースタリレー IL100/XT240
計装用補助機器 » リレー/バルブ| シリーズ | 管接続口径 | 入力・出力 | 入出力圧 | 
|---|---|---|---|
| IL100 | Rc1/4, 3/8 | 1:1 | 0.7MPa | 
| XT240 | Rc. NPT 1/4 (SIG),1 (SUP. OUT) | 1:1 | 0.7MPa | 
フィルタ付減圧弁 1301/IW
計装用補助機器 » 減圧弁| シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力 (MPa) | ろ過精度 | 
|---|---|---|---|
| IW | Rc1/4 | 0.02~0.2 0.02~0.3 0.02~0.5 | 5μm | 
| 1301 | Rc1/4 | 0.02~0.2 0.02~0.29 0.02~0.49 | 5μm | 
電-空ポジショナ/スマートポジショナ IP8□00/IP8□01
計装用補助機器 » ポジショナ 
    
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    ・保護構造:JISF8007 IP65(IEC 60529準拠)
・モニターリング機能
・防爆構造
電-空ポジショナ:
TIIS耐圧防爆構造(ExdⅡBT5)
ATEX本質安全防爆構造(Ⅱ2G Ex h ibⅡCT5/T6 Gb)
スマートポジショナ:
ATEX本質安全防爆構造(Ⅱ1G Ex h iaⅡCT4/T5/T6 Ga)
・HART通信機能(スマートポジショナ)
| 種類 | シリーズ | タイプ | 管接続口径 (Rc, NPT, G) | 供給空気圧力 (MPa) | 入力電流 | 
|---|---|---|---|---|---|
| 電-空ポジショナ | IP8000 | レバータイプ | 1/4 | 0.14~0.7 | DC4~20mA | 
| 電-空ポジショナ | IP8100 | ロータリタイプ | 1/4 | 0.14~0.7 | DC4~20mA | 
| スマートポジショナ | IP8001 | レバータイプ | 1/4 | 0.14~0.7 | DC4~20mA | 
| スマートポジショナ | IP8101 | ロータリタイプ | 1/4 | 0.3~0.7 | DC4~20mA | 
焼結金属エレメント EB/ES
工業用フィルタ/焼結金属エレメント » 焼結金属エレメント 
    
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    ・機械的強度、耐圧が大きく、腐食に強い。
・機械加工、かしめ、ろう接、溶接および同時焼結が可能。
・洗浄により繰り返し使用が可能。
| シリーズ | 材質 | 公称ろ過精度 | 
|---|---|---|
| EB | ブロンズ | (1)2,5,10,20,40,70,100,120μm ( )は準標準。 | 
| ES | ステンレス | (1)2,5,10,20,40,70,100,120μm ( )は準標準。 | 
工業フィルタ/ベッセルシリーズ FGD
工業用フィルタ/焼結金属エレメント » 工業用フィルタ 
    
| シリーズ | 接続口径 | 最高使用圧力 | 使用温度(℃) | 
|---|---|---|---|
| FGD | Rc3/8,1/2,3/4 | 0.7,1MPa | MAX.80 | 
真空ロッドレスシリンダ CYV
高真空機器 » 真空ロッドレスシリンダ半導体業界向機器 » スリットバルブ・搬送
 
    
| シリーズ | 使用環境圧力{Pa(ABS)} | チューブ内径(mm) | 
|---|---|---|
| CYV | 大気~1.3×10-4 | 15,32 | 
300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
高真空機器 » スリットバルブ半導体業界向機器 » スリットバルブ・搬送
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    ・長寿命:300万回(常温時)
・発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
・メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
・安全対策
メカ式エンドロック機構採用
| シリーズ | 使用環境圧力 Pa(abs) | 使用流体 | 開口窓寸法 (高さ×幅)mm | 作動圧力 MPa(G) | 
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大気圧~10-6 | 不活性ガス | 50×336 | 0.45~0.6 | 
アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G
高真空機器 » 高真空バルブ半導体業界向機器 » 排気ライン
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    ・アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
・ベローズ交換が可能
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ | 
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-2 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 | 
| XLAV-2(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 | 
| XLC-2 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16~80 | 
| XLF-2 | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 | 
| XLFV-2(電磁弁付) | エア オペレート | 単動 (N.C.) | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 | 
| XLG-2 | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回数 | 16~80 | 

 
     
    
 
     
     
    
