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電空比例弁 VEF/VEP
モジュラF.R.L./圧力制御機器 » 比例弁圧力制御機器 » 比例弁

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・電気信号で流量や圧力を無段階制御。
・プレスダイクッション、溶接機・低圧鋳造の加圧力制御エアシリンダの多段速度制御やエアモータの回転制御。
シリーズ | 管接続口径 |
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VEF/VEP | 1/4,3/8,1/2 |
ミニチュア減圧弁 ARJ310
モジュラF.R.L./圧力制御機器 » レギュレータ圧力制御機器 » レギュレータ

シリーズ | 特 長 | 管接続口径 | 設定圧力(MPa) |
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ARJ310 | 直動式リリーフタイプ | IN:1/8(おねじ)、M5×0.8(めねじ) OUT:1/8(めねじ) | 0.2~0.7 |
真空パッド/長円形パッド ZP/ZP2
真空用機器 » 真空パッド
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・長方形ワーク、縦長・横長のワークに対応
・パッド形状:長円平形
・取付接続:おねじ、めねじ
・真空取出方向:縦、横
・真空取付出口:おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
・バッファ:なし、あり
バッファストローク(mm):[ZP] 6, 10, 15, 20, 25
バッファストローク(mm):[ZP2] 10, 20, 30, 40, 50
安全上のご注意 真空用機器/共通注意事項 真空パッド/共通注意事項 バリエーション 機種選定 ZP:取付金具Ass'y(P189-194) ZP2:取付金具Ass'y(P195-197) 特定開発品情報 グリーン対応(RoHS)
シリーズ | パッド形状 | パッド径(mm) |
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ZP | 長円平形 | 2×4, 3.5×7, 4×10 |
ZP2 | 長円平形 | 3.5×7, 4×10, 4×20, 4×30, 5×10, 5×20, 5×30, 6×10, 6×20, 6×30, 8×20, 8×30 |
ガイド付シリンダ 25A-
二次電池対応シリーズ 25A-シリーズ » アクチュエータシリーズ | 型式 | 仕様 |
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ミニガイドロッドシリンダ | 25A-MGJ | すべり軸受形 |
ガイド付薄形シリンダ | 25A-MGPM | すべり軸受形 |
ガイド付薄形シリンダ | 25A-MGPL | ボールブッシュ軸受形 |
ガイド付薄形シリンダ | 25A-MGPM | すべり軸受形 エアクッションタイプ |
ガイド付薄形シリンダ | 25A-MGPL | ボールブッシュ軸受形 エアクッションタイプ |
ガイド付薄形シリンダ | 25A-MGPK | コンパクトタイプ |
ガイド付シリンダ | 25A-MGGL | ボールブッシュ軸受形 |
スライドユニット | 25A-CXWM | すべり軸受形 |
デュアルロッドシリンダ | 25A-CXSJM | すべり軸受形 |
デュアルロッドシリンダ | 25A-CXSJL | ボールブッシュ軸受形 |
デュアルロッドシリンダ | 25A-CXSM | すべり軸受形 |
デュアルロッドシリンダ | 25A-CXSL | ボールブッシュ軸受形 |
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP
プロセスガス用機器 » プロセスガス用機器ノングリース 窒素(N2)対応機器 » プロセスガス用機器

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・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ガスの遮断弁として使用。
・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
シリーズ | 名称 | 形式 | ボディ材質 |
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AP | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
AP | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
AP | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L ダブルメルト |
AZ | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L |
AZ | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L |
AZ | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L |
AK | 一般ガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316 |
AK | 一般ガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316 |
AK | 一般ガス用 | メータリングバルブ | SUS316 |
プロセスポンプ クリーンルーム仕様 PA(P)3000
プロセスポンプ(ダイヤフラム式ポンプ) » プロセスポンプ(ダイヤフラム式ポンプ)シリーズ | 駆動方式 | 吐出量 (L/min) | 接液部材質 |
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PAP3310 | 自動運転型 | 1~13 | New PFA (フッ素樹脂) |
PAP3313 | エアオペレート型 | 0.1~9 | New PFA (フッ素樹脂) |
5ポート電空比例弁 VER
モジュラF.R.L./圧力制御機器 » 比例弁圧力制御機器 » 比例弁

シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力(MPa) |
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VER2000・4000 | 1/4,3/8,1/2 | 0.1~0.9 |
5.0MPa対応 高圧電空レギュレータ ITVX
モジュラF.R.L./圧力制御機器 » 電空レギュレータ圧力制御機器 » 電空レギュレータ
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・電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。
・最高供給圧力:5.0MPa
・設定圧力範囲:0.01~3.0MPa
・最大流量:3000L/min(ANR)
・使用流体:空気,N2,O2,Ar
・接流体部:フッ素系グリース使用。
シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力(MPa) |
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ITVX | 3/8 | 0.01~3.0 |
小型マニホールドレギュレータ ARM5S
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シリーズ | 特 長 | 適用チューブ外径 ミリサイズ | 適用チューブ外径 インチサイズ | 設定圧力(MPa) |
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ARM5S | 直動式リリーフタイプ 連動式ノンリリーフ タイプ(準標準) | φ4,φ6 | φ5/32,φ1/4 | 0.05~0.7 |