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真空レギュレータ IRV
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圧力制御機器 » レギュレータ
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・真空ラインの圧力制御が可能。
・一面配管仕様をシリーズ化。
・質量20%減(従来比)
・ワンタッチ管継手内蔵。
・クリップ固定式により圧力計・デジタル圧力スイッチの着脱が容易。
・圧力計・デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能(標準配管仕様のみ)
・圧力計・デジタル圧力スイッチの取付角度(60°刻み)変更が容易。
シリーズ | 接続口径 | 設定圧力範囲(kPa) |
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IRV10 | φ6,φ8,φ1/4,φ5/16 | -100~-1.3 |
IRV20 | φ6,φ8,φ10,φ1/4,φ5/16,φ3/8 | -100~-1.3 |
真空パッド/半導電性シリコーンゴム ZP3-□HS□
真空用機器 » 真空パッド-
・静電気を緩やかに放電、電子部品の損傷を防止
・表面抵抗値:106~109[Ω]
・パッド形状:平形溝付
・取付接続:おねじ、めねじ
・真空取出方向:縦、横
・真空取付出口:めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手
・バッファ:なし、あり
[バッファストローク(mm):3, 6, 10, 15, 20]
シリーズ | パッド形状 | パッド径(mm) |
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ZP3-□HS□ | 平形溝付 | φ4, φ6, φ8, φ10, φ13, φ16 |
パワーバルブ精密レギュレータ VEX
モジュラF.R.L./圧力制御機器 » レギュレータ圧力制御機器 » レギュレータ

シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力範囲(MPa) |
---|---|---|
VEX1A33,1B33 | M5,1/8 | 0.01~0.7 |
VEX1□30,1□33 | 1/8,1/4,3/8,1/2,3/4,1,1 1/4,1 1/2,2 | 0.05~0.7 |
真空パッド/オーダーメイド ZP2
真空用機器 » 真空パッド
安全上のご注意 真空用機器/共通注意事項 真空パッド/共通注意事項 バリエーション 機種選定 小型/薄形:取付金具Ass'y(P313) 高剛性:取付金具Ass'y(P255-263) 特定開発品情報 グリーン対応(RoHS)
シリーズ | パッド形状 | パッド径(mm) |
---|---|---|
ZP2 | 小形パッド | φ3, φ4, φ5, φ6, φ7, φ8 |
ZP2 | 低寸法仕様パッド | φ2, φ3, φ3.5, φ4, φ5, φ6, φ8, φ10, φ15 |
ZP2 | 薄形パッド | φ5, φ6, φ11, φ14, φ18, φ20 |
ZP2 | ベロウパッド | φ2, φ4, φ5, φ6, φ8, φ10, φ15, φ20 |
ZP/ZP2 | 高剛性パッド | φ32, φ40, φ50, φ63, φ80, φ100, φ125, φ150, φ250, φ300, φ340, 30×50 |
エジェクタ付パッド ZHP
真空用機器 » 真空パッド真空用機器 » 真空エジェクタ
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・エジェクタとパッドを一体化設置スペースと配管工数を削減!
・2段エジェクタ
吸込流量50%増加、空気消費量30%削減
・メンテナンス性向上
ロックプレートによる着脱でパッド交換時の作業工数を削減!
・パッド径:ø63、ø80
シリーズ | パッド径 | パッド形状 | ノズル呼び径 |
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ZHP | φ63、φ80 | ベロウ形溝付、平形溝付 | φ0.7, φ1.0, φ1.2, φ1.5 |
真空パッド テストセット
真空用機器 » 真空パッド
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・圧縮空気があれば、配管するだけでテストが可能※
※小径パッドセットの場合
・用途に合わせた2タイプを用意(包装用パッドセット/小径パッドセット)
・豊富なパッド形状を用意し、簡単に交換が可能
包装用パッドセット(16種) / 小径パッドセット(16種)
シリーズ | パッド径 | パッド形状 |
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ZPTS-A01 | 20, 25, 30, 32, 35, 40, 46, 50 | べロウ形(2.5段)、べロウ形(5.5段)、フィルム吸着用 べロウパッド(4.5団) |
ZPTS-B01 | 6, 8, 10, 13, 16, 20, 25, 32 | 平形/シリコーンゴム、べロウ形/シリコーンゴム |
精密クリーンレギュレータ SRP
モジュラF.R.L./圧力制御機器 » レギュレータクリーン/低発塵 » モジュラF.R./圧力制御機器
圧力制御機器 » レギュレータ

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・高精度・低消費流量のステンレスレギュレータ。
・ブリード量0.5L/min(ANR)以下(出口圧力:0.2MPa時)
・設定感度:0.3%F.S.
・繰返し性:1%F.S.
シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力(MPa) |
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SRP | M5,1/8 | 低圧タイプ:0.005~0.2 高圧タイプ:0.01~0.4 |
圧力調整弁(リリーフ弁) AP100
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シリーズ | 管接続口径 | 設定圧力(MPa) |
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AP100 | 1/8,1/4 | 0.05~0.69MPa |